GBT19956.2-2005 容积真空泵性能测量方法 第2部分：极限压力的测量.pdf

《GBT19956.2-2005 容积真空泵性能测量方法 第2部分：极限压力的测量.pdf》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在行业资料-天天文库。

1、KS23.160.r78中华人民共和国国家标准GB/T19956.2-2005/ISO1607-2:1989容积真空泵性能测量方法第2部分:极限压力的测量Positive-displacementvacuumpumps---Measurementofperformancecharacteristics-Part2sMeasurementofultimatepressure(1801607-2:1989，IDT)2005-09-19发布2006-04-01实施中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局发布中国国家标准化管理委员会GB/T19956.2

2、-2005/TSO1607-2:1989前言GB/T19956《容积真空泵性能测量方法》分为两个部分:—第1部分:体积流率(抽速)的测量;—第2部分:极限压力的测量。本部分为GB/T19956的第2部分。本部分等同采用ISO1607-2;1989《容积真空泵性能测量第2部分:极限压力的测量》(英文版)。本部分代替JB/T7266-1994《容积真空泵性能测量方法》。本部分等同翻译ISO1607-2:19890为便于使用，本部分做了下列编辑性修改:a)"ISO1607的本部分，一词改为“GB/T19956的本部分，;b)用小数点符号“.”代替作为

3、小数点的逗号“，”;c)删除了国际标准的前言;d)增加了资料性附录A，以供参考使用。本部分由中国机械工业联合会提出。本部分由全国真空技术标准化技术委员会归口。本部分起草单位:山东淄博真空设备厂有限公司，沈阳真空技术研究所。本部分主要起草人:黄毅、燕洪顺、张连庆、王学智。GB/T19956.2-2005/ISO1607-221989容积真空泵性能测里方法第2部分:极限压力的测A范围GB/T19956的本部分规定了容积真空泵极限压力测量方法，所研究的泵是直接排大气的并且单级低于100Pa"的入口极限压力。2规范性引用文件下列文件中的条款通过GB/T

4、19956的本部分的引用而成为本部分的条款。凡是注日期的引用文件，其随后所有的修改单(不包括勘误的内容)或修订版均不适用于本部分，然而，鼓励根据本部分达成协议的各方研究是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本适用子本部分。GB/丁19956.1-2005容积真空泵性能测量方法第1部分:体积流率(抽速)的测量(ISO1607-1:1993,IDT)3术语和定义下列术语和定义适用于GB/T19956的本部分，3.1极限压力ultimatepressure泵在正常工作情况下，关闭进气阀门，测试罩内趋向的最低压力。在非可凝性气体

5、极限压力和极限全压力之间必定产生一个差别。3.2测试革testdome是装在泵人口具有规定形状和尺寸的容器，被测量的气体通过它进人泵内，其上装有压力测量装置。4袭24.1测试策如图1所示，形状为圆柱体。罩的轴向尺寸为1.5D，此处，D是罩的内径。试验气体进口在罩的轴线上，并与连接法兰的距离为D，进气口的排列应使气体自背离泵口的方向进入测试罩。测量人口压力和极限压力的真空计在距离连接法兰。.5D处，其轴线垂直于罩的轴线。测试罩的轴线应垂直于泵人口法兰平面。测试罩的容积Vp至少应是泵一个压缩周期扫过容积VP的5倍。在泵人口必须连接一个异径接头，其长

6、度不应超过0.5D(见图1)。对于给定规格的泵，罩尺寸在表1中给出1)100P-100N/m'=1mbar133Pa=ltar,GB/T19956.2-2005/ISO1607-2:1989衰1V,./LVp/LD/mm0-0.261.31000.26一1.15.41601.1--4.2212504.2-178440017-6532563065--26013001000注实际上，测试罩在形式上与已经采用的容积真空泵体积流率测最(见GB/T19956.1-2005)是同步的。就极限压力测量而论，气体实际进口不需要按规定安排罩的温度应保持在20℃到

7、25℃之间4.2压力计测量的极限压力仅限于非可凝性气体，计的校准精度，对于压力高于或等于1Pa时为士500，对于更低压力，校准精度为士1000。压力计应用适当设计的冷阱与其相连以保证仅响应非可凝性气体的压力.4.3真空计测量极限压力的真空计，如薄膜计，其灵敏度与气体或蒸汽性质无关.真空计应以被测压力士10%的精度校准，对于这种测量，在罩和计的连接管路间，不应装冷阱。5试验方法5.1原理所采www.bzfxw.com用的方法是将规定型式的测试罩装到泵的人口上，在规定的温度下测量极限压力。5.2程序首先在确保罩内的内表面清洁、干燥以后，将测试罩装到

8、泵入口上。按照测量要求，压力计和真空计(见4.2和4.3)应与测试罩连接。如果罩在测量前烘烤了，冷却后，应在几分钟内充人周围干燥空气，使压力至少到10