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时间:2019-08-03
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1、半導體廠用電分析與預測逢甲大學工業工程與系統管理學系碩士在職專班碩士論文半導體廠用電預測Powerdemandforecastforsemiconductorplant指導教授:陳源樹研究生:謝緯詮中華民國九十九年六月逢甲大學e-Thesys(98學年度)半導體廠用電分析與預測逢甲大學e-Thesys(98學年度)半導體廠用電分析與預測逢甲大學e-Thesys(98學年度)半導體廠用電分析與預測摘要半導體產業的生產成本中,電費成本佔相當高的比例。因此,半導體產業的電力能源使用與管理更形重要,而其中準確的電力負載用電量預測是能源管理系統(EnergyManage
2、mentSystem:EMS)中重要的一環。本論文針對半導體廠用電需求高,負載變動幅度大的超高壓用電,建立用電量模型。首先蒐集影響用電量因素的數據,再運用逐步迴歸方法,建立用電量迴歸模型。最後經過迴歸模型的預測能力的確認分析,確認可以接受迴歸模型的預測。關鍵字:能源管理系統、逐步迴歸分析。i逢甲大學e-Thesys(98學年度)半導體廠用電分析與預測ABSTACTTheexpensesofpowerwerethemajormanufacturingcostsinsemiconductorindustry.Itresultsthathowtoproperlyma
3、nageelectricalenergyhasbeenamajorobjectiveinthisindustry.GivingsolidforecastonelectricalloadwillbeamajortopicintheEnergyManagementSystem(EMS).Thispaperconstructsthepowerconsumptionmodelforthehighpowervoltagesystemswithhighelectricitydemandandwideloadingvariationinthesemiconductorfab
4、rication.First,collectdataonthefactorsthatareaffectingpowerconsumption,andthenusestepwiseregressionproceduretoestablishthepowerconsumptionmodel.Finally,aconfirmanalysiswasmadeinthispowerconsumptionmodelandthismodelareacceptable.Keyword:EMS、StepwiseRegression.ii逢甲大學e-Thesys(98學年度)半導體
5、廠用電分析與預測目錄摘要........………………………………………………...…………………………iABSTACT………………………………………...………………….…………………ii目錄……....…………………………………...………………….………………..iii表目錄………………………………………….……………………………………..v圖目錄…………………………………………………………….………………….vi第一章前言...................................................................
6、...............................................11.1研究緣起................................................................................................................11.2研究目的............................................................................................................
7、....11.3研究流程................................................................................................................2第二章半導體產業之能源需求與管理......................................................................42.1半導體產業概要.............................................................
8、...................
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