外差测距干涉仪分束镜的制备

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1、编号本科生毕业设计外差测距干涉仪分束镜的制备PreparationofBeamSplittingPrismforRangingHeterodyneInterferometer学生姓名王妍妍专业光电信息工程学号100212611指导教师付秀华学院光电工程学院二〇一四年六月长春理工大学本科毕业设计毕业设计(论文)原创承诺书1．本人承诺：所呈交的毕业设计(论文)《外差测距干涉仪分束镜的制备》，是认真学习理解学校的《长春理工大学本科毕业设计(论文)工作条例》后，在教师的指导下，保质保量独立地完成了任务书

2、中规定的内容，不弄虚作假，不抄袭别人的工作内容。2．本人在毕业设计(论文)中引用他人的观点和研究成果，均在文中加以注释或以参考文献形式列出，对本文的研究工作做出重要贡献的个人和集体均已在文中注明。3．在毕业设计(论文)中对侵犯任何方面知识产权的行为，由本人承担相应的法律责任。4．本人完全了解学校关于保存、使用毕业设计(论文)的规定，即：按照学校要求提交论文和相关材料的印刷本和电子版本；同意学校保留毕业设计(论文)的复印件和电子版本，允许被查阅和借阅；学校可以采用影印、缩印或其他复制手段保存毕业设

3、计(论文)，可以公布其中的全部或部分内容。以上承诺的法律结果将完全由本人承担！作者签名：年月日长春理工大学本科毕业设计长春理工大学本科毕业设计摘要外差干涉仪已广泛应用于测速、测长、测角、测振等应用，外差测距是通过外差干涉仪来实现的。分束镜作为外差干涉仪中的重要组成元件，利用薄膜技术来改善干涉仪的光学性能，其研制成为一个新的研究热点[1]。本文针对干涉仪分束镜的使用要求，借助TFCalc膜系设计软件设计了45°入射600-700nm波段干涉测量所需分束镜，实现透反比8:2分光。试验在700箱式真空

4、镀膜机(TXX700)上完成，利用电子束加离子辅助沉积系统，在K9基底上采用Ta2O5和SiO2作为高低折射率材料交替沉积。经过反复试验，解决了各膜层蒸镀参数工艺差异问题，有效控制膜厚监控精度，最终研制出附着力好、光学性能稳定的分束镜。关键字：分束镜真空镀膜离子辅助沉积I长春理工大学本科毕业设计AbstractHeterodyneinterferometerhasbeenwidelyusedinspeed,lengthmeasurement,anglemeasurement,vibrationm

5、easurementapplications.Heterodynerangingisimplementedthroughheterodyneinterferometer.Asanimportantelementinheterodyneinterferometer,thebeamsplitterprismusethinfilmtechnologytoimprovetheopticalpropertiesoftheinterferometer,Itsdevelopmenthasbecomeanewr

6、esearchtopic.Inthearticle,basedontheuserequirementsofinterferometerbeamsplittingprism,withthehelpofTFCalcdesignsoftware,theratiooftransmittanceandreflectanceforthisbeamsplittingprismin600~750nmband,incidentangle45°,is8:2.Weprepareditby700box-typefull

7、automaticvacuumcoatingmachine(TXX700),withtheelectronbeamandtheionassistancesystem,selectingTa2O5andSiO2ashighandlowrefractiveindexmaterialsrespectively,anddepositingonsubstrateK9.Afterrepeatedtests,solvedthedifferenceproblemoffilmdepositionprocesspa

8、rameters,controlledthicknessmonitoringprecisioneffectivelyandfinallypreparedtheidealbeamsplittingprismwhichishighadhesionandstableopticsproperties.Keywords:beamsplittingprism;vacuumcoating;ion-assisteddepositionI长春理工大学本科毕业设计长春理工大学本科毕业设计目录摘要IAbstractI