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时间：2019-06-16
《《MEMS可靠性》PPT课件》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在教育资源-天天文库。
1、MEMS可靠性孟海洋MEMS可靠性12345可靠性研究的意义可靠性研究的现状常见失效模式和失效机理可靠性研究的展望可靠性测试系统MEMS技术的重要性可靠性制约MEMS发展保密性多变性尺度效应多样性美国喷气推进实验室（JPL）在NASA支持下对MEMS空间应用可靠性进行了广泛研究，发布了MEMS空间应用的可靠性保障指南（MEMSreliabilityassuranceguidelinesforspaceapplication）；美国桑地亚实验室（SNL）在DARPA支持下，详细研究了MEMS基本单元的可靠性测试结构、试验与失效模式报告（
2、MEMSReliability：Infrastructure，Teststructure，experiments，andFailuremodes）费用使用可靠性整体分析方法，将可靠性问题贯穿于产品开发整个过程中温度湿度灰尘断裂粘附磨损腐蚀功能退化性失效灾难性失效MEMS失效浴盆曲线温度热应力芯片翘曲塑性变形输出迟滞偏置漂移增加玻璃厚度应力释放槽释放有关粘附使用中粘附粘附悬臂梁常见粘附失效及其解决方案断裂深反应离子刻蚀工艺（Deepreactive-ionetching）延伸的止动侧壁温度粘附断裂分层湿度灰尘振动冲击磨损静电放电腐蚀失效
3、模式失效机理温度、湿度、振动综合作用可靠性测试系统展望研究失效机理与失效模型制造新型检测分析设备分析特定MEMS系统开发仿真软件设计合理结构Thankyou！
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