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1、拉晶工艺及操作规程陕西西京电子科技有限公司一、拉晶工艺流程图配料煅烧拆、清炉装料抽真空充氩气化料引晶缩颈放肩转肩等径收尾停炉库房检验晶棒说明：a)单晶制造工艺流程为方块标注环形部分，即由配料工序开始，至晶棒终止；b)配料工序的入口为库房管理部门；c)晶棒工序的出口为检验；d)在本工艺流程中，如果拉晶为连续工作时，在停炉到清炉完后,从装料重新开始，如在按要求开炉次数后或长时间没有开炉时，要从煅烧开始；e)在本工艺流程中，如果放肩、转肩、等径过程中掉苞，根据工艺要求回熔或者取出。二、具体操作规程1.拆、清炉拆清炉的目的是为了取出晶体，清除炉膛内的挥发物及
2、杂质，清除石墨件上的附着物、石英碎片等杂质。在拆清炉过程中必须穿戴好劳保防护用品（换工作服，戴好口罩、手套），认真阅读拉晶记录，了解上炉设备运转情况。取出晶体在连续生产的情况下，确定停加热5小时后，才能拆炉；拆炉时充气到正压后，打开副室门，快速提升晶体。如果晶体完全提升到副炉筒内，则闭合翻板阀,升起副炉筒，用托盘防护后，将副炉筒转出；如果晶体不能完全提升到副炉筒内，则需在喉口垫厚木板加以防护，然后才能升起副室及炉盖，连晶体一起转出；转出时注意推动的速度要均匀，以防止晶体撞到炉体。摆放好取晶框后，快速降下晶体，严禁使晶体接触到取晶框（会导致上轴钢丝绳因
3、跳槽而损坏），剪断细颈后逐步释放重锤，控制好重锤的旋转和晃动，防止钢丝绳跳槽或籽晶磕碰损伤，此过程中注意个人安全防护。将取出的晶棒放置到规定地方冷却。检查钢丝绳、籽晶、取出热系统部件检查钢丝绳是否完好可用，若有变硬、毛刺或其它损坏情况，则应请维修人员去除老化、损坏部分，或更换新钢丝绳。戴好高温隔热手套，按顺序取出导流筒、保温盖冷却；用手或钳子夹住石英埚的上端部分提起取出，将石英埚整体提出并取出炉内废石英、埚底料标记后放在指定位置，不要让残骸和碎料掉入炉内，取出的埚底料不能接触到石墨。然后将三瓣石墨埚、石墨埚托取出冷却。最后再将主室炉筒升到最高位，旋转
4、出来（垂直方向上要离开热系统）固定稳定。必要时，取出保温筒，加热器以及电极护套炉底部件等。清炉过程待取出的石墨件自然冷却后,进行彻底清理。石墨件的附着物用砂纸打磨后，用刷子和吸尘器对石墨件作整个除尘，用棉布或毛巾擦拭直至干净。清理干净的标准是：导流筒、上下保温盖、保温筒、三瓣埚、石墨埚托等，必须清理到全部露出石墨的本色，特别是不能留有黄色的挥发物。将炉子内壁、炉盖、主炉筒、小副室、副炉筒、两个抽气口、观察窗、依尔根信号孔及其防护玻璃清理干净。先用吸尘器把炉内的挥发物等吸净，再用沾有酒精的棉布或毛巾彻底擦拭，不能留有任何挥发物。拆开防爆阀上的挡板，清理
5、管道内的挥发物；打开除尘罐，清理罐内以及过滤网上的挥发物；清理完成后，安装时应检查密封圈，注意将密封处擦干净，如发现密封圈有损坏时应及时更换。在进行以上清理时，必要时可以使用细砂纸打磨（石墨器件除外）。凡是用砂纸打磨过的地方，最后必须用酒精擦拭干净，损坏严重的石墨件要及时更换。安装热系统将清理过的石墨热系统各部件按“炉底碳毡”、“炉底护盘”、“下保温筒”、“排气口护套”、“坩埚护套”、“电极护套”、“石墨电极”、“石墨加热器”、“石墨螺丝”的顺序安装。注意在“石墨电极与炉体电极、加热器与石墨电极以及加热器与石墨螺丝接触面处加一层完整无损的碳箔；然后按
6、顺序安装“中、上保温筒”、“石墨托杆”、“石墨埚托”以及“三瓣埚”。将热偶锥取光孔与保温筒上预留口对正。除上、下保温盖、导流筒以外的所有石墨件安装完毕后，互相对中（偏差在2mm之内）。埚位对平口后，检查埚位是否为“0”。若不是，设定埚位值为“0”，设定好后如无特殊情况，任何时候不允许随意设定、更改埚位。给定埚转2rpm，检查平口、埚转动是否平稳、是否晃动，要求埚摆动在2mm范围内。往回装石墨件时，进行如下检查，并调整正常。a)加热器石墨螺钉是否紧固，之间的碳箔是否完好。b)托杆与下轴连接是否稳固、对中。c)确认石墨埚托及三瓣埚是否完好可用。d)托杆与
7、石墨埚托、石墨埚托与三瓣埚托之间的接口连接必须吻合良好，作到旋转、滑动自如。连接部位的检查对于新装的热场,在开始的一段时间(约10炉以内),每炉检查以下部位的连接情况:1.电极螺丝,容易发生松动,导致打火。因此,对于已松动的,必须拧紧;对于没松动的要先拧松再拧紧,以防粘结。拧紧的尺度是:尽量的紧。2.下轴与托杆的连接螺栓,容易烧结在一起。因此,每炉都要先拧松,再拧紧,以防烧结粘死。拧紧的尺度是适可而止。3.籽晶夹头容易烧结粘死。因此每炉都要先拧松再拧紧。拧紧的尺度是：先拧紧后再退后1/3~1/2圈。4.新装加热器时,加热器与石墨电极之间垫碳箔。每次拆
8、炉都要抬起加热器，松动与石墨电极之间的连接,以防粘连。使用一月之后，以上四项检查可以降低频率到每次大清的时候
