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1、文档来源:空气过滤器www.iguolvqi.com无尘室www.iwuchen.comFFU层流罩www.jiejingfang.com空调过滤器www.songfengkou.com2009年3月洁净与空调技术CC&AC第1期高效过滤器气流速度检测方法浅析上海G-Y-大学城市建设与环境工程学院路建岭邹志军黄晨王非李浩摘要介绍了高效过滤器面风速及不均度对洁净区洁净度的影响,根据国内外的多个标准,分析比较了单向流洁净室和生物安全柜高效过滤器气流速度检测测点布置方法,并对高效过滤器气流速度检测过程中存在的问题进行了探讨,给出
2、了解决这些问题的建议。关键词高效过滤器;面风速;不均匀度;检测方法;测点布置AnalysisontheTestMethodsforAirVelocityofHEPAFilterLuJianling,ZouZhijun,HuangChen,WangFeiandLiHaoAbstractTheinfluenceofthefacevelocityandrelativestandarddeviationofHEPAfilteronthecleanlinessofthecleanzoneisintroduced.Accordingt
3、odomesticandoverseasstandards,themethodsofarrangementofmeasuringpointsintestingtheairvelocityofHEPAfilterintheunidirectionalflowcleanroomsandbiologicalsafetycabinetsaleanalyzedandcompared.Someproblemsoccurredinthetestingproceduresarediscussed.Severalsuggestionsres
4、olvingtheseproblemsaregiven.KeywordsHEPAFilter;FaceVelocity;RelativeStandardDeviation;TestMethods;ArangementofMeasuringPoints0引言随着科学技术的不断发展,现代工业产品的生品加工等行业都要求有微型化、精密化、高纯度、高产和现代化科学实验活动对室内空气洁净度的要求质量和高可靠性的室内环境,实现这一目标的主要越来越高,特别是微电子、医疗、化工、生物、食途径是在洁净空调系统中广泛使用空气过滤器⋯。表1不同国
5、家和组织对高效过滤器气流速度检测测点布置的相关标准和规范单向流洁净室的出现使空气洁净技术发生了飞路建岭,另,l983年9生,在读硕士研究生跃,使创造高端洁净的环境成为可。其中高效200093:海I杨浦区路5l6号过滤器或超高效过滤器是安装在单向流洁净室和生上海T大学城建学院414室455信箱物安全柜内的末端送风设备,它的气流速度直接影(021)55272446/13524305412E—mail:LUJL1983@l26.tom响到洁净室和生物安全柜的洁净度等级,进而影响收稿日期:2008.1O.13工艺过程和产品质量。因
6、此,对单向流洁净室和生物安全柜中高效过滤器的送风气流速度进行检测.16.洁净与空调技术cC&c2009短是施工验收必须检测的项目之一,同时也是维护洁均匀的速度场会增加速度的脉动性,促进流线间质净区洁净度的重要手段之一。而气流速度检测结果点的参混,甚至形成小的涡流区,引起局部洁净度的合理性与测点布置方法直接相关,因此合理布置下降,从而影响洁净区域的洁净度等级,因此,在测点位置是气流速度检测时的首要且重要之举。实际应用中,要避免和保证速度不均匀度满足设计为此,许多国家和组织制定和颁布了高效过滤要求。器气流速度检测测点布置的相关
7、标准和规范,如表不均匀度可用下式表示isl1所列。在这些标准和规范中,对高效过滤器气流速度检测测点布置的方法都有相关介绍。(1)=1高效过滤器面风速及不均匀度式中:JB为不均匀度,卢<0.25“为各测点的速1.1高效过滤器面风速度(m/s);n为测点数:为平均速度(m/s)。过滤器的面风速是指过滤器的断面上所通过的气流速度(m/s),反映了过滤器的通过能力和安2高效过滤器气流速度检测测点布置标准装面积的性能指标。简析高效过滤器作为单向流洁净室和生物安全柜的由于各国情况不同,因此现行主要标准中采用末端送风设备,其面风速和风量
8、直接影响单向流洁的高效过滤器气流速度检测测点布置方法也不尽相净室和生物安全柜的面风速和风量,为保证洁净室同。表3中列出各标准所采用的测点布置方法、气空气洁净度的要求,对于不同洁净度级别的单向流流速度和测试仪表。洁净室其平均风速(面风速)和送风量规定如表2所列。表2.1生物安全柜中高效过滤器下沉气流速度检
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