EE_SPY801_802

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1、晶圆片托架落座传感器相关信息技术指南（技术篇）...........·1345EE-SPY801/802薄片载体的落座检测■依靠与导槽并用，设定落座位置。■晶圆片托架的接触面使用了氟素树脂。防化学性能优越。■在独特的光学结构，几乎可稳定检测所有晶圆片托架。ᖂൟܝ⬉ᖂൟܝ⬉ᖂൟܝ⬉■采用强抗外部干扰光的变调光方式。Ӵᛳ఼Ӵᛳ఼Ӵᛳ఼■电线使用净化电线(无粉尘)。Ӵᛳ఼ᣛफ详情请参阅1028页的「请正确使用」。ߍῑൟᇍᇘൟ种类ߍῑൟ/ডᇘൟ本体㑶໪ܝ形状检测方法检测距离动作模式导线长型号ডᇘൟܝ㑸ൟEE-SPY801⫼䗨ߚ㉏反射型0̚3mm晶圆片托架时ON2m໪ೈ䆒໛EE-

2、SPY802ҟ㒡附件（另售）名称型号EE9-C01导槽EE9-C02注.不具备传感器的功能。EE-SPX613EE-SPY801/802EE-SA8011026EE-SPY801/802额定值/性能项目型号EE-SPY801/802检测距离0～5mm（反射率90%白色纸15×15mm2）(标准检测物体)0～3mm（反射率10%黑色纸15×15mm2）检测物体晶圆片拖架（透明体·不透明体）动作显示灯物体检测时灯亮（橙色）光源(发光波长)GaAs红外发光二极管(940nm)电源电压DC12～24V±10%脉动(p-p)5%以下消耗电流30mA以下ᖂൟܝ⬉ᖂൟܝ⬉NPN型：集

3、电极开路输出、DC5～24V、100mA以下Ӵᛳ఼Ӵᛳ఼控制输出残留电压：0.8V以下(负载电流100mA时)残留电压：0.4V以下(负载电流40mA时)应答时间5ms以下使用环境照度受光面照度白炽灯、太阳光：3,000lx以下Ӵᛳ఼ᣛफ环境温度动作时：－10～＋55℃、保存时：－25～＋65℃（不结冰）环境湿度动作时：5～85％RH、保存时：5～95％RH（不结露）ߍῑൟ振动(耐久)1～500Hz复振幅1.0mm或150m/s2X、Y、Z各方向3次、11min/次冲击(耐久)500m/s2X、Y、Z各方向3次ᇍᇘൟ保护结构IEC规格IP30ߍῑൟ/连接方式导线引出型(

4、标准导线长2m)ডᇘൟ质量(包装状态)本体(传感器)：约43g、附件(导槽)：约9g外壳四氟乙烯共聚合物（ETFE）ডᇘൟ材质底板聚对苯二甲酸丁二醇酯附件使用说明书ܝ㑸ൟ⫼䗨ߚ㉏输入输出段回路图໪ೈ䆒໛型号工作状态时间图输出回路᳝ࡼ԰ᰒ⼎♃ҟ㒡᱊೚⠛ᢪᶊשׁ(㻤)᮴()ࡼ԰ᰒ⼎♃♃҂OUT䋳䕑EE-SPY801()♃❘(咥)DC晶圆片拖架时ONЏಲ䏃EE-SPY802䕧ߎON12̚24V᱊ԧㅵOFFˉ(㪱)䋳䕑ࡼ԰(㒻⬉∴)໡ԡEE-SPX613EE-SPY801/802EE-SA8011027EE-SPY801/802标准使用方法本传感器是晶圆片托架专用安装传感器。晶圆

5、片托架的底部是使用时请按下图所示在4个○的角上设置传感器（或护罩）。由下图所示的碗状脚部形状形成的，本传感器就是检查脚部反射形光的产品。AD᱊೚⠛ᢪᶊᖂൟܝ⬉ᖂൟܝ⬉ᖂൟܝ⬉˄ὖ⬹೒˅Ϟ䴶Ӵᛳ఼Ӵᛳ఼Ӵᛳ఼᱊೚⠛ᢪᶊ˄ὖ⬹೒˅ջ䴶Ӵᛳ఼ᣛफӴᛳ఼Ӵᛳ఼BCߍῑൟ᱊೚⠛ᢪᶊ㛮䚼A和CEE-SPY801或、EE9-C01ᇍᇘൟB和DEE-SPY802或、EE9-C02ߍῑൟ/ডᇘൟ请正确使用ডᇘൟ详情请参见共通注意事项(→1351页)，有关订货时的须知请参见(→F-4页)。ܝ㑸ൟ警告本产品不可以作为人体保护检测使用。⫼䗨ߚ㉏໪ೈ䆒໛使用注意事项请不要在超过额定的使用范围和环

6、境下使用。ҟ㒡●布线时延长导线安装用导体截面积0.15mm2(相当于AWG26)以上的电线，总长为5m以下。超过5m的配线时，其传感器在5m以内处放入10μF左右的电容器。●安装时安装传感器时，要确切地安装在无凹凸度的安装部。紧固强度为0.30N·m以下。（为防止螺钉的松弛，推荐请加入弹簧垫EE-SPX613圈）。EE-SPY801/802●调整时EE-SA801电源投入后、动作在10ms的程度中为必要稳定状态。负载和传感器电源分别连接时，请务必首先接通传感器的电源。●使用环境请勿在有氯化氢气体等腐蚀性气体的场所使用。1028EE-SPY801/802外形尺寸（单位：m

7、m）本体EE-SPY801EE-SPY802ࡼ԰ᰒ⼎♃˄˅ࡼ԰ᰒ⼎♃˄˅222232שׁ1.332שׁ1.3ǂǂˉ0.3ǂǂˉ0.3111130שׁ1.330שׁ1.3ǂǂǂ0ǂǂǂ035°835°35°35°8ᖂൟܝ⬉ᖂൟܝ⬉Ӵᛳ఼Ӵᛳ఼23.53.52151566Ẕ⌟にẔ⌟に7.47.48558Ӵᛳ఼ᣛफ㒱㓬೚ᔶᇐ㒓㒱㓬೚ᔶᇐ㒓φ3.5ǃ3㢃(ᇐԧ៾䴶⿃˖0.15mm2ǃφ3.5ǃ3㢃㒱㓬ԧⳈᕘφ1.0mm)˄ᇐԧ៾䴶⿃0.15mm2ǃߍῑൟᷛޚ䭓2m215152㒱㓬ԧⳈᕘφ1.0mm)ᷛޚ䭓2mᇍᇘൟ2-M4˄⏅ᑺ6˅2-M4˄⏅ᑺ6˅CA