大口径离轴长条形反射镜的检测支撑机构

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1、第23卷第1O期光学精密工程Vo1．23No．1O2015年10月0pticsandPrecisionEngineering0ct．2O15文章编号1004—924X(2015)10—2835—08大口径离轴长条形反射镜的检测支撑机构杨帅，沙巍，陈长征，张星祥，任建岳¨(1_中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，吉林长春130033；2．中国科学院大学，北京100039)摘要：针对大口径离轴长条形反射镜光轴水平向检测的需要，设计了一套检测支撑结构。优化了结构参数，实现了由支撑结构引起的镜面面形误差最小化。通

2、过比较长条形反射镜光轴水平向检测支撵的级联多点支撑结构，选择了结构简单、扩展性和调整性优良的两点单层固定支撑结构。利用集成仿真与优化方法，分析计算反射镜镜面面形误差随支撑间隔的变化趋势，确定了最优支撑间隔。最后，利用干涉仪结合补偿器的检测方式，对不同支撑间隔工况下镜面面形进行检测，验证了仿真分析的可靠性。结果表明：在支撑间隔为564mm时，由检测支撑引起的镜面面形误差最小(RMS=8．26nm)，干涉检测得到的镜面面形误差随支撑间隔的变化趋势与仿真得到的趋势相符，仿真结果可靠性高。提出的方法可实施性好，可推广

3、到其他大口径离轴长条形反射镜的设计和检测中，为离轴三反(TMA)相机的设计提供技术基础。关键词：离轴长条形反射镜；检测支撑；面形误差；集成仿真与优化；离轴三反相机中图分类号：TH703；V447．3文献标识码：Adoi：10．3788／OPE．201523i0．2835Detectionsupportstructureoflarge。。apertureoff-axisrectangularmirrorYAHGShuai，SHAWei，CHENChang—zheng，ZHANGXing—xiang，RENJia

4、n-yue(1．ChangchunInstituteofOptics，FineMechanicsandPhysics，ChineseAcademyofSciences，Changchun130033，China；2．UniversityofChineseAcademyofSciences，Beijing100039，China)*C0rrp0咒gauthor，E-mail：ren3’@sohu．comAbstract：Adetectionsupportstructurewasdesignedtomeetthe

5、needofalarge—apertureoff—axisrec—tangularmirroratanopticalaxishorizontalsituation．Structureparameterswereoptimizedtomini—mizethesurfaceshapeerrorcausedbythedetectionsupportstructure．Throughcomparingdifferentcascadedmultipointleversupportstructures，atwo-poin

6、tsupportstructurewithsimplestructure，goodextensibilityandadjustmentwaschosen．Then。anintegratedsimulationandoptimizationmethodwasusedtoanalyzethetrendcurveofmirrorsurfaceshapechangedwithsupportintervalandtoob—taintheoptimizedsupportinterva1．Finally，aninterfe

7、rometercombinedwithacompensatorwasusedtomeasurethesurfaceshapescorrespondingtodifferentsupportintervalsandtoverifythereliabilityofthesimulationresult．Theresultshowsthatthesurfaceshapeerrorcausedbydetectionsupportstructurereachesminimumatthesupportintervalof

8、564mm(RMS一8．26nm)。thetrendcurveob一收稿日期：2015一Ol一25；修订日期：2015—02—20．基金项目：国家863高技术研究发展计划资助项目(No．863—2—5—1—13B)光学精密工程第23卷tainedbysimulationmethodagreeswellwiththatobtainedbytheinterferometyandshowsahigherr