二氧化硅薄膜的制备与应用分析 毕业设计

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1、常州信息职业技术学院学生毕业设计（论文）报告系别：专业：班号：学生姓名：学生学号：设计（论文）题目：二氧化硅薄膜的制备与应用分析指导教师：设计地点：起迄日期：毕业设计（论文）任务书专业班级姓名一、课题名称：二氧化硅薄膜的制备与应用分析二、主要研究内容：1、对二氧化硅的物理、化学性质进行分析和阐述。2、分析二氧化硅薄膜的的制备方法，研究物理气相沉积，化学气相淀积，热氧化法，溶胶凝胶法的制备流程。3、根据不同的需要，研究采用相对应的二氧化硅薄膜的不同测量方法。4、针对不同的用途和要求，分析相应的性质及

2、发展前景。三、主要工作内容：首先查阅相关参考文献资料对二氧化硅薄膜的物理化学性质有所认识，然后根据二氧化硅在不同领域的应用，其次研究相应二氧化硅的参数及制备方法过程，最后对二氧化硅薄膜的应用发展前景做一定的总结。四、主要参考文献：[1]张渊.半导体制造工艺—北京：机械工业出版社,2010.10.[2]许生,侯晓波,范垂祯,等.硅靶中频反应磁控溅射二氧化硅薄膜的特性研究[J]2001.[3]张红梅,尹云华.太阳能电池的研究现状与发展趋势[J].水电能源科学，2008，26(6)：193-197.[4

3、]王学华,薛亦渝,赵力,等新型光学薄膜研究及发展现状[J]2002.学生（签名）年月日指导教师（签名）年月日教研室主任（签名）年月日系主任（签名）年月日毕业设计（论文）开题报告设计（论文）题目二氧化硅薄膜的制备与应用分析一、选题的背景和意义：在微电子工艺中，二氧化硅薄膜因其优越的电绝缘性和工艺的可行性而被广泛采用。在半导体器件中，利用二氧化硅禁带宽可变的特性，可作为非晶硅太阳电池的薄膜光吸收层，以提高光吸收效率；还可以作为金属-氧化物-半导体（MNSO）存储器件中的电荷存储层，集成电路中CMOS器

4、件和SiGeMOS器件及薄膜晶体管（TFT）中的栅介质层等。20世纪80年代末期，随着光通信及集成光学研究的飞速发展，玻璃薄膜光波导被广泛应用于光无源器件及集成光路中。制备性能良好的用作光波导的薄膜显得至关重要。损耗器件方面有应用前景，在光学集成和光电集成器件方面有应用前景，可作为波导膜、减反膜和增透膜。二、课题研究的主要内容：1、分析二氧化硅的结构、物理性质、化学性质，阐述二氧化硅薄膜的制备方法。2、阐述二氧化硅薄膜的用途。3、二氧化硅薄膜的测量方法的对比。4、二氧化硅薄膜的用途。5、二氧化硅薄

5、膜在不同领域的应用及发展前景。一、主要研究（设计）方法论述：本文主要采用了文献研究法、信息研究法以及描述性研究法。充分利用丰富的网络资源以及书籍资料查找关于刻蚀技术的资料，认真阅读资料内容，筛选对自己有用的知识，然后对有用的资料进行整理归纳，将自己的理解随时记录，写论文时将搜集整理的资料与自己的理解相结合，认真的完成本篇论文。四、设计（论文）进度安排：时间（迄止日期）工作内容2013年10月25日前根据本专业确定相关论文题目2013年11月1日根据老师下达的任务书，谈些开题报告2013年11月10

6、日参考论文模板拟定提纲2013年11月15日通过网络和书籍手机相关资料，按照设想的方案初步拟定目录。2013年11月18日根据目录初步完善选择的相关资料2013年11月20日完成初稿，仔细检查论文的完整性，内容正式，严谨2013年11月25日对论文进行修改纠正。2014年5月30日对论文进行装订。2014年6月5日毕业设计材料整理、归档、保存、毕业设计工作总结，完成论文。五、指导教师意见：　　　　　　　　　　　　指导教师签名：年月日六、系部意见：　　　　　　　　　　　系主任签名：年月日二氧化硅薄膜

7、的制备与应用分析目录摘要Abstract第1章前言1第2章二氧化硅的简介22.1二氧化硅薄膜的性质22.1.1二氧化硅的物理性质22.1.2二氧化硅的化学性质3第3章二氧化硅薄膜的主要制备方法43.1热氧化法43.1.1干氧氧化43.1.2水汽氧化43.1.3湿氧氧化43.2.1化学气相淀积法53.2.2物理气相淀积法（PVD）73.3.3多腔集成CVD设备8第4章二氧化硅薄膜厚度的测量方法94.1比色法94.2双光干涉法94.3椭圆偏振光法11第5章二氧化硅薄膜的用途125.1二氧化硅的掩蔽作用

8、125.2二氧化硅薄膜的保护和钝化作用125.3二氧化硅薄膜的隔离作用125.4二氧化硅在某些器件中的重要作用125.5用于电极引线和硅器件之间的绝缘12第6章二氧化硅薄膜在不同领域的应用136.1微电子学领域的应用136.2在光学领域的应用136.3二氧化硅薄膜在单晶硅太阳能电池中的应用146.4在其他领域的应用14第7章结束语15参考文献答谢辞摘要随着微电子技术的不断发展，近年来，二氧化硅薄膜在其领域也是起着越来越至关重要的作用，二氧化硅薄膜具有良好的硬度、光学、介电性质及耐磨