热诱导型有机—无机复合材料可调谐光衰减器的研制

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1、分类号：ＴＮ２单位代码；１０１沿研巧生学号：２０１３５１４００６密级：公开戀宙林大学硕古学位论文专业学位（）热诱导型有机－无机复合材料可调谐光衰减器的硏制Ｈｅａ－ｔｉｎｄｕｃｅｄｍｕｌｔｉｍｏｄｅｉｎｔｅｒｆｅｒｅｎｃｅｖａｒｉａｂｌｅｏｐｔｉｃａｌａｔｔｅｎｕａｔｏｒｂａｓｅｄｏｎｎｏｖｅｏ－ｒａｎｉｃｎｏｒｉｃｌｇｉｇａｎｈｙｂｒｉｄｍａｔｅｒｉａｌｓ作者姓名：答云龙类别：工程硕±领域（方向）：集成电路工程指导教师：张大明教授培养单位：电子科学

2、与工程学院２０１６年６月未经本论文作者的书面授权，依法收存和保管本论文书面版本、电子版本的任何单位和个人，均不得对本论文的全部或部分内容进行任何形式的复制、修改、发行、出租、改编等有碍作者著作权的商业性使用（但纯学术性使用不在此限）。否则，应承担侵权的法律责任。吉林大学硕±学位论文原创性声明本人郑重声明，是本人在指导教师的指导下，：所呈交学位论文独立进行研巧工作所取得的成果。除文中已经注明引用的内容外，本论文不包含任何其他个人或集体已经发表或撰写过的作品成果。对木文的研究做出重要贡献

3、的个人和集体，均己在文中＾斗明确方式。。标明本人完全意识到本声明的法律结果由本人承担学位论文作者蘇名；２０１６６７日期：年月日热诱导型有机-无机复合材料可调谐光衰减器的研制Heat-inducedmultimodeinterferencevariableopticalattenuatorbasedonnovelorganic-inorganichybridmaterials作者姓名：谷云龙领域(方向）：集成电路工程指导教师：张大明教授类别：工程硕士答辩日期：2016年5月30日摘要摘要信息化蓬勃发展的今天，分立

4、光电子学器件已经不能满足人们对于信息化的要求，集成光学发展迅速。随着科技水平的不断提高，人们提出集成电路控制集成光路的构想。本文主要讨论了一种热诱导型有机-无机复合材料可调谐光衰减器。该器件基于金属电路电极的热效应和复合材料良好的热光效应，实现了集成电路对于集成光路的控制，并完成了光信号的衰减与调制。器件主要采用了实验室自主合成的有机-无机复合材料，以KH（550）和KH（560)为原材料，胶联水解而成。这种材料在有机主链上胶联了无机“硅-氧-硅”无机结构，使得材料不仅具有有机物良好的热光效应，同时又具备了无机物耐热抗腐蚀的优

5、势。最重要的是这种材料的交联水解程度会随着控制电路的热效应发生线性变化，这也为集成电路控制集成光路的想法提出了理论支撑。通过这种方法制备的多模干涉型（MMI）可调谐光衰减器不仅实现了电信号对光场的限制，还成功的对光信号进行了调谐。在入射光波长为1550nm时，当驱动功率为36mW时，可以获得-27dB的光衰减量。器件的上升时间为0.86ms，下降时间为1.37ms同时该器件工艺流程简单，避免了刻蚀等工艺，极大程度的减少了器件成本，提高了容错率，具有良好的理论应用前景。关键词：可调谐光衰减器，多模干涉结构，有机-无机复合材料IA

6、bstractAbstractWiththedevelopmentofinformatization,singledeviceofoptoelectronicscannotsatisfypeople’srequirement.Soscientistsholdtheviewthat“Usingintegratedcircuittocontroltheintegratedopticalcircuit”.SowefabricateaHeat-inducedmultimodeinterferencevariableopticalatt

7、enuatorbasedonnovelorganic-inorganichybridmaterials.ItbasedonOhmeffectandthermo-opticeffect,realizetouseintegratedcircuittocontroltheintegratedopticalcircuit.Italsocancontroltheopticalinthewaveguide.Theusingmaterialiscompoundinourlab.KH(550)andKH(560)gluecombinative

8、tobeahybridmaterialwhichhaveanorganicnetworkandSiO2network.Thehybridmaterialwiththeorganic–inorganicnetworkwasusedasawaveguidelayer.Themat