电弧离子镀CrAlSiN涂层结构与性能研究

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1、硕士学位论文MasterThesis电弧离子镀CrAlSiN涂层结构与性能研究TheStructureandPropertiesofCrAlSiNCoatingsusingtheCathodicarcionplatingDepositionTechnique刘孟奇LiuMeng-qi西北师范大学化学化工学院，中国兰州CollegeofChemistryandChemicalEngineering,NorthwestNormalUniversity,Lanzhou,People’sRepublicofChina.2

2、017年6月郑重声明西北师范大学研究生学位论文作者信息论文题目电弧离子镀CrAlSiN涂层结构与性能研究姓名刘孟奇学号201422181488专业名称化学工程答辩日期2017年6月联系电话E-mail通信地址(邮编)：备注：目录摘要...............................................................IABSTRACT........................................................II1绪论..........

3、....................................................11.1引言.........................................................11.2硬质涂层沉积技术.............................................21.3研究现状.....................................................51.3.1CrN涂层...............

4、.................................51.3.2CrSiN和CrAlN涂层.....................................61.3.3CrAlSiN涂层............................................61.4本文的主要研究内容...........................................72涂层的制备与性能检测设备介绍......................................9

5、2.1涂层的制备...................................................92.2涂层表征....................................................102.2.1扫描电子显微镜（SEM）.................................102.2.2透射电子显微镜(TEM)...................................112.2.3多晶X射线衍射仪(XRD)..............

6、..................122.2.4多功能X射线光电子能谱（XPS）.........................132.2.5纳米压痕仪和划痕仪.....................................142.2.6摩擦磨损试验机.........................................142.2.7电化学工作站...........................................152.3本章小结....................

7、................................153不同Si含量的CrAlSiN涂层微观结构与性能研究.....................163.1涂层的形貌..................................................163.2涂层的微观结构..............................................183.3涂层的力学性能..............................................22

8、3.4涂层的摩擦磨损性能..........................................233.5小结........................................................274不同偏压涂层的摩擦磨损及电化学研究...............................284.1不同偏压对涂层的形貌影响与物