多层嵌套x射线掠入射光学系统设计

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1、襄１牡爭ＳＯＯＣＨＯＷＵＮＩＶＥＲＳＩＴＹ硕±专业学位论文ｉｉｐ＾咖＾Ｉ论文题目多层嵌套Ｘ射线掠入射光学系统设计研究生姓名张丽丽指导教师姓名马搞专业名称光学工程硏究方向光学设计与仪器光学论文提交日期２０１５年５月巧州大学学位论文独创性声明本人郑重声明：所提交的学位论文是本人在导师的指导下，独立进巧研究工作所取得的成果。除文中己经注明引用的巧容外，本论文不含其他个人或集体己经发表或撰写过的研巧成果，也不含为获得巧州大学或其它教育机构的学位证书而使用过的材料。对本文的研究作出重要贡献的个人和

2、集体，均已在文中Ｗ明确方式标明？本人承担本声明的法律责巧。论文作者签名：＾曰期：ｒ．７／Ｔ苏州大学学位论义使用授权声明本人完全了解巧州大学关于收集、保存和使用学位论文的规定，即：学位论文著作权巧属苏州大学。本学位论文电子文档的巧容和纸一质论文的巧容相致？苏州大学有权向函家图书馆、中国社科除文献僖息情报中也、中国科学技术信息研巧所（含万方数据电子出版社）、中国学术期巧（光盘版）电子杂志社送交本学位论文的复印件和电子文糕，允巧论文被査闽和借阅，可化采用影印、缩印或其他复制手段保吞和汇编学位论文，可臥将学位论文的全部或部分巧容编入有关数据库进行椿索？

3、談密论文口本学位论文属在年月解密后适用本规定。非涉密论文囚＇：曰期．Ｋ论文作難名ｙｉ％％：爐Ｔ：追曰瓶ｗｒｐｒ．皆导师签名梓．多层嵌套Ｘ射线掠入射光学系统设计摘要Ｘ射线掠入射光学系统在天文观测、空间气候检测、空间定位与导航、显微成像，发挥着不可替代的作用。多、投影光刻、成像与诊断等技术方向具有独特优势层嵌套掠入射Ｘ射线光学系统可Ｗ提供更大的集光面积、更高的角分辨率及更轻的系统重量，使得研制出更高精度的Ｘ射线。随着光学检测和加工技术的日益成熟掠入射光学系统成为可能。本文主要研充了Ｘ射线掠入射光学系统的设计，并且给出了提高有效集光面积

4、的设计方法。文章首先对Ｘ射线掠入射光学系统的研究进展做了详细论述，分析了Ｘ射线成像光学系统的类型、结构形式、光学恃性。然后对掠入射光学系统的工作原理。等方面进行了深入研巧，最终选择两种结构类型的掠入射形式针对集能型的不需清Ｘ射线光学系统一，则采取次抛物面镜反射方式晰成像的。针对对成像质量有此较ｌ高要求的Ｘ射线光学系统，则采取二次反射的ＷｏｔｅｒＩ型形式，并且分析了这两种掠入射形式的优缺点。为了增大Ｘ射线光学系统的有效集光面积，采用了多层嵌套的设计方案，即将许多不同口径的反射镜面制作成套筒。有效集光面积与几何集光面积和反射率有关。最后对Ｘ射线掠入射光学系统的

5、设计过程进行了详细的理论推导，°并用ＺＥＭＡＸ软件对其模拟仿真。最终巧计出了最佳平均掠入射角戶１．２５，光学系＝Ｘ统焦距／１１５０ｗｗ的射线掠入射光学系统。一所设计的次反射抛物面镜型多层嵌套光学系统和ＷｏｌｔｅｒＩ型结构的Ｘ射线掠入射光学系统，通过计算分析可知系统的有效集光面积达到技术指标要求。通过对公差进行分析可知所设计的Ｘ射线掠入射光学系统也符合技术指标要求。：光学设计，Ｘ，，关键词，掠入射射线望远镜嵌套集光面积作者：张丽丽指导教师：马稻Ｉ摘要多层嵌查Ｘ射线掠入射光学系统设计Ａｂｓｔｒａｃｔ－Ｘｒａｒａｚｉｉｉｄｅｎｃｅｏｔｉｃａｌ

6、ｉｌｙｇｎｇｎｃｐｌｓｙｓｔｅｍｐａｙｓａｎｒｒｅｐｌａｃｅａｂｅｒｏｌｅｉｎｓｐａｃｅａｓｔｒｏｎｏｍｉｃａｌｏｂｓｅｒｖａｔｉｏｎｓａｃｅｗｅａｔｈｅｒｄｅｔｅｃｔｉｏｎｏｓｉｔｉｏｎｉｎａｎｄｎａｖｉａｔｉｏｎ，ｐ，，ｐｇｇｍｉｃｒｏｓｃｏｉｃｉｍａｉｎｒｏｅｃｔｉｏｎＩｋｈｏｒａｈｉｍａｉｎａｎｄｄｉａｎｏｓｉｓｔｅｃｈｎｏｌｏｄｉｒｅ巧ｉｏｎｓ．ｐｇｇ，，ｐｊｇｐｙｇｇｇｇｙｅｓｅｄ－ｒａｒａｚｎｎｃｅｎｃｅｔａｓｓｔｅｍｃｒｏｖｔＸｉｒｅｒｃｏｅｃｔｎａｒｅａｓＮｙｉｉｉｄｏｉｃｌａｎｄｅｌａｈｏｔｏｎｌｌｉｇ

7、ｇｐｙｐｇｐｇ，ｈｉｇｈｅｒａｎｇｕｌａｒｒｅｓｏｌｕｔｉｏｎａｎｄｌｉｇｈｔｅｒｓｙｓｔｅｍｗｅｉｇｈｔ．Ｗｉｔｈｔｈｅｉｎｃｒｅａｓｉｎｇｍａｔｕｒｉｔｏｆｏｔｉｃａｌｙｐ－ｒｏｃｅｓｓｉｎａｎｄ化ｓｔｉｎｌｏｉｔｉｓｏｓｓｉｂｌｅｔｘ）ｄｅｖｅｌｏｈｉｈｅｒａｃｃｕｒａｔｅＸｒａｒａｚ化ｃｈｎｏｉｎｐｇｇ，ｐｐｇｙｇｇｙｇｉｎｃｌｉｄｅ