单晶硅表面超精密切削的分子动力学研究

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1、单位代码：10222学号：128033010分类号：佳木斯大学工程硕士专业学位论文论文题目：单晶硅表面超精密切削的分子动力学研究研究生姓名：解佳欣领域名称：机械工程__________导师姓名、职称：史立秋副教授论文答辩日期：2015年6月9日佳木斯大学工程硕士专业学位论文论文题目：单晶硅表面超精密切削的分子动力学研究研究生：解佳欣领域：机械工程指导教师：史立秋单位：佳木斯大学协助指导教师：郭臣单位：鹤岗斯达机电设备制造有限公司学习期限：2012年9月至2015年6月学位授予单位：佳木斯大学学术诚信承诺本人郑重声明：所

2、呈交的论文是我个人在导师指导下进行的研究工作及取得研究成果。尽我所知，除了文中特别加以标注和致谢的地方外，论文中不包含其他人已经发表或撰写的研究成果，也不包含为获得佳木斯大学或其他教育机构的学位或证书所使用过的材料。与我一同工作的同志对本研究所做的任何贡献均已在论文中做了明确的说明并表示了谢意。签名：___________日期：____________关于论文使用授权的说明本人完全了解佳木斯大学有关保留、使用学位论文的规定，即：学校有权保留送交论文的复印件，允许论文被查阅和借阅；学校可以公布论文的全部或部分内容，可以采

3、用影印、缩印或其他复制手段保存论文。（保密的论文在解密后应遵循此规定）签名：___________导师签名：___________日期：____________目录摘要........................................-1-Abstract........................................-2-第1章绪论........................................41.1课题来源及研究的目的和意义................-4-1.2

4、单晶硅切削加工仿真的发展现状..............-5-1.2.1单晶硅超精密加工的国内外现状.........-5-1.2.2单晶硅切削的分子动力学仿真发展现状...-6-1.3论文研究内容..............................-9-第2章单晶硅超精密切削的分子动力学建模.......-10-2.1引言.....................................-10-2.2分子动力学仿真方法.......................-10-2.2.1分子动力学仿真的基本

5、思想和理论.......-10-2.2.2周期性边界条件.......................-12-2.2.3分子动力学系统的运动方程.............-14-2.2.4积分算法与势函数.....................-15-2.2.5系综概念.............................-18-2.2.6时间步长.............................-20-2.3分子动力学仿真步骤.......................-22-2.4仿真模型的建立..

6、.........................-24-2.5本章小结.................................-25-第3章硅表面超精密切削的分子动力学仿真与分析.-26-3.1引言.....................................-26-3.2单晶硅切削过程的仿真.....................-26-3.2.1仿真模拟参数设定.....................-26-3.2.2弛豫分析.............................-2

7、8-3.3切削物理参数分析.........................-29-3.3.1原子间势能分析.......................-29-3.3.2切削力分析...........................-30-3.4单晶硅纳米切削机理分析....................-32-3.5本章小结.................................-33-第4章加工参数对硅表面切削过程的影响.........-34-4.1引言......................

8、...............-34-4.2切削深度对仿真结果的影响..................-34-4.3切削速度对仿真结果的影响.................-36-4.4刀具前角对仿真结果的影响..................-39-4.5刀尖形状对仿真结果的影响..................-41-