（ti，ai）n涂层组成相与性能的研究

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1、分类号；ＴＧ１７４单位代码：１０１９０■密０研究生学号：２０１２０２０３００３００３００３００３００：无表本凌欠爹硕女学位论文ＴｉＡＩＮ（，）涂层组成相与性能的研究ｓｔｕｄｙｏｎＰｈａｓｅＣｏｍｐｏｓｉｔｉｏｎａｎｄＰｒｏｅｒｔｉｅｓｏｆＴｉＡＩＮＣｏａｔｉｎｓｐ（，）ｇ研究生错名－尤申申：专业：材料加工工程指导教师姓名：吴化指导教师职称：敎授＇２０１５年６月长春工业大学硕壬论文摘要利用物理气相沉积方法中的空也阴极

2、离子束辅助多弧离子锻沉积技术，在髙速钢ＷＭ〇５Ｃｉ４Ｖ表面沉积了ＴｉＡｌＮ徐层；采用Ｘ射线衍射仪（ＸＲＤ）、激光共聚焦显６２Ｃ，）微镜（ＣＬＳＭ）分别检测和观察了涂层的物相及表面形貌，通过微纳米力学测试系统－－（ＵＮＭＴ１ＣＥＴＲ）对涂层的摩擦系数、硬度、膜基结合力进行了表征：对涂层的沉积机理、徐层的相组成与其力学性能关系等进行了研究：探讨了祀材成分对（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ涂层的相组成、表面质量及力学性能的影响。－Ａ－研究结果表明，通过对ＴｉＩＮ系各物相的热力学及力学基本数据的分析及升算，非平衡相町＿ｘＡｌｘ

3、Ｎ为徐层中综合力学性能影响较大的物化Ｈ元物相中ＴｉｓＡｌＮ和ＡＨＢＮ最易生成，由于ＰＶＤ过程为非平衡状态，采用其方法在本实验条件下制取的涂层主要物相由Ａ１溶入ＴｉＮ为基而形成的Ｔｉｉ＿ｘＡｌｘＮ和ＡｌＴｉ３Ｎ构成。沉积层中Ｔｉｉ＿ｘＡｌｘＮ相的数量随着Ａ１含量的増加先增后减，５０％Ａ１时比例最窩，此时制得的徐０．３１８８０．６０７４层具有最优异的综合性能，检测到沉积层的表面粗髓度，摩擦系数，硬３４－度值．１９ＧＰａ，膜基结合力３７．５Ｎ。空必阴极离子束辅助多弧离子馈沉积巧Ａ１Ｎ，）涂层，有利于形成结晶细小致密

4、、连续的膜层；离子束轰击基体提高湿度的同时也促＂＂进了的生成从而提高了涂层－基体间结合力产生混合界面，；离子束对多弧作用＂＂的粒子有附加的轰击和碎化作用，提高了粒子离化效果，湿著减少了涂层中大颗粒现象，涂层的摩擦系数和表面形貌得到明虽改善。（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ徐层试样在大气氛围中加热至８（ｘｒｃ时涂层仍然保持良好的力学性能和表面形貌，物相没有发生改变，体现出和ＡｌＴｉｓＮ具有优异的热稳定性能。关键词：ＴｉＡｉＮ涂层离子束辅助沉积相组成大颗粒（，）Ｉ长春工业大学硕±论文Ａｂｓｔｒａｃｔ－ｍｕ－

5、（ＴｉＡ１Ｎｔｈｉｎｆｉｌｍｓｗｅ化ｄｅｏｓｉｔｅｄｏｎＷＭｏＣｒＡＶ；ｈｉｈｓｅｅｄｓｔｅｅｌｂｌｔｉａｒｃ，）ｐｓｓｇｐｙ－ｉｏｎｐｌａｔｉｎｇｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙｈｏｌｌｏｗｃａｔｈｏｄｅｅｌｅｃｔｒｏｎｂｅａｍａｓｓｉｓｔｅｄｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎｓｉｔｕａｔｉｏｎ．ＴｈｅｐｈａｓｅａｎｄｓｕｒｆａｃｅｔｏｐｏｇｒａｐｈｙｗｅｒｅｄｅｔｅｃｔｅｄｂＸＲＤａｎｄＣＬＳＭ．Ｔｈｅｆｒｉｃｔｉｏｎｃｏｅｆｉｃｉｅｎｔ＞ｙｈａｒｄｎｅｓｓａｎｄｔｈｅｆｉｌ

6、ｍａｄｈｅｓｉｏｎｗｅｒｅｃｈａｒａｃｔｅｒｉｚｅｄｂｙｕｎｉｖｅｒｓａｌｍａｔｅｒｉａｌｔｅｓｔｅｒ．Ｔｈｅｓｅｄｉｍｅｎｔａｔｉｏｎｍｅｃｈａｎｉｓｍ，ｈａｓｅｃｏｍｏｓｉｔｉｏｎｏｆｔｈｅｃｏａｔｉｎａｎｄｔｈｅｒｅｌａｔｉｏｎｓｈｉｂｅｔｗｅｅｎｐｐｇｐｍｅｃｈａｎｉｃａｌｒｏｅｒｔｉｅｓａｎｄｈａｓｅｃｏｍｐｏｓｉｔｉｏｎｗｅｒｅａｎａｌｚｅｄ．．ＴｈｅｅｆｆｅｃｔｓｏｆＴｉ／Ａｌｔａｒｅｔｐｐｐｙｇｏｎｈａｓｅｃｏｍｏｓｉｔｉｏｎ、ｓｕｒｆａｃｅｒ

7、ｏｕｈｎｅｓｓａｎｄｍｅｃｈａｎｉｃａｌｒｏｅｒｔｉｅｓｗｅｒｅｓｔｕｄｉｅｄ．ｐｐｇｐｐ－Ｔｈｅｒｅｓｕｌｔｓｓｈｏｗｔｈａｔｅｕｉｌｂｒｉｕｍｈａｓｅｉ－Ｎｓｈｏｒｅａｉｎｆｌｕｅｎｃｅｏｎ：ＮｏｎｑｉｐＴｉｘＡｌｘｗｓｇｔｃｏｍｐｒｅｈｅｎｓｉｖｅｍｅｃｈａｎｉｃａｌｒｏｅｒｔｉｅｓｗｈｏｓｅｒｅｓｕｌｔｓａｒｅｂａｓｅｄｏｎａｎａｌｙｓｉｓａｎｄｃａｌｃｕｌａｔｉｏｎｐｐ，ｔｅｈｅｒｍｏｄａｍｃｓａｎｄｄｃｓａｓｃａ－－ｈｔｉｎａｍｉｂｉｄａｔｏｆ

8、了ｉＡｌＭｓｓｔｅｍｈａｓｅ．ＴｉｓＡＩＮａｎｄＡｌＴｉｓＭｙｎｙｙｐｗｅｒｅｍｏｒｅｅａｓｉｌｙ负ｒｍｅｄｉｎｔｅｒｎａｒｈａｓｅ．Ｔｈｅｈａｓｅｏｆｃｏａｔｉｎｉｎｔｈｉｓ货ｅｒｉｍｅｎｔｍａｉｎ