可控排布碳纳米管及其分析

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1、第$8卷第8期固体电子学研究与进展,]!*$8#7]*8$%%8年))月/;’;,/)Un

2、可通过一层层的转移来控制制作多层排布结构4采用这种工艺#在具有不同电极的基片上沉积纳米材料#可制成不同的纳米器件4关键词+碳纳米管5可控排布5纳米器件中图分类号+678文献标识码+,文章编号+)%%%(&9)*"$%%8’%8(8&:(%8;<=>?<@@AB@CD??A=ECFC=>IBCA=JD=A@KLCMNOMPQRSTU,V.S2WTU,7XY0ZSP[O]2W"^_‘abcdefbgfhi_ijikblm‘_kf‘knok‘pfbqrs#mpefrpe_t_ebobfruf_vkah_is#mpefr

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44、BC5y<=>?<@@AB@CA??A=ECFC=>5=A=<2JC34yC55D;;+$67%自下而上的构筑加工工艺"8]zz]1(R}’制作纳米器件已成为一个亮点9)#$:)引言4这种工艺中#纳米材料可经不同制备方法获得#并可对其进行提纯3筛选等随着微电子技术的进一步发展#微细化成为器一系列前处理#进而充分保证了材料的质量5件的重要发展方向#纳米器件的研究成为近几年的8]]z]1(R}的构筑方式可根据设计要求实现任意热点4并出现了许多不同的纳米器件制备工艺#如纳米级尺寸的纳米器件4但目前还未出现有效3可,-.操纵原子3模板法制备纳米材料

45、3纳米材料控排布纳米材料的有关报道4选择性生长等#但还未出现材料选择性好3成本低3碳纳米管由于具有独特的结构3电学性质#已可批量生产的技术4目前#以纳米材料为模块#采用成为制备纳米器件的首要候选材料#但对碳纳米管!基金项目+国家自然科学基金"6%$7$%&*’和上海市科技发展基金"%$)621%&%’资助;(10P!+QZ+{02W=

46、>zR*S"R*#2C期刘丽月等A可控排布碳纳管及其分析C0=进行可控排布仍是一个难题!本文介绍了一种碳纳液面转移后的碳管间距和取向程度B碳纳米管多层排米管排布技术"并对排布层的性质进行了分析!这布的性质用紫

47、外’可见光到近红外吸收谱来检测!种工艺可实现#$%%$&’()的构筑方式"而且不受基底材料和大小的限制"具有成本低*可批量生产的0结果与讨论优点!+实验K-.碳管排布层的表面形貌和拉曼光谱图5为亲水性硅基底上单壁和多壁碳管单层,-.碳管和基片处理排布层的FLM照片"由于长烷基链的影响"很难得到清楚的照片"因此在用FLM观察前"先用紫碳管的提纯和溶液化按文献/01的方法进行处外光照射"使烷基链分解并从基底上蒸发"而碳管理"在每个碳管上嫁接十八烷基基团"可将其溶于由于其较高的稳定性仍留在基底上!由于单壁碳纳氯仿*甲苯*23等溶剂中!本实验中"碳

48、管溶液中+米管的直径较小"很难得到对比度好的FLM照的溶剂为氯仿"浓度分别为4-50+6&78&9:单壁片"为清晰起见"在此列出没有排布层的亲水性硅碳管;和5-4<=&78&9: