真空蒸发镀膜膜厚影响因素的实验研究

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1、真空蒸发镀膜膜厚影响因素的实验研究鞍山范学院学报真空蒸发镀膜膜厚影响因素的实验研究高红李庆绵鞍山师范学院物理系，辽宁鞍山4005行了拟合，从而最终找到了这些因素对镀膜厚度的影响规律。在真空锻膜过程中，影响镀膜质量的因素很多，而膜厚是主要因素之。本文的目的就是通过实验1实验仪器及材料介绍1.17,450型真空镀膜机70450型真空镀膜机以高真空油扩散栗为主机，可获得2爪4帕的低气压环境。其主要技术性能数据如下极限压力6.64帕；2抽气速率5007秒；3扩故泵加热功率1.5千瓦；4机饥总功率3.5千瓦。1.2办1型膜厚动态监测仪乙河趣膜厚动态监测仪适用于真

2、空镀膜中动态测量薄膜的几何厚度沉积速率和镀膜时间，其度厚监测范围为1江999.9,分辨率为1立13实验材料本实验所用基片为面平整的玻璃，选用的镀膜材料分别为铝铜镁铅锡钛锌等。2实验过程，450型真空披膜机在锻膜过程中可以调节的实验条件小要有以下儿个蒸发锻用付料的质量；2蒸发镀用材料的种类；3基片到蒸发源的距离。因此，本文主要研究上述个实验条件对镀膜厚度的影响规汴。2.1研究镀料的质量对镀膜厚度的影响镀料选择招条，基片中心到蒸发源的距离为43,改变铝条的质量，分别测量不同质量条件下蒸镀得到的镀膜厚度。2.2研究镀料的密度对镀膜厚度的影响句质，为6,8,明

3、冲心到蒸7,的距离为43叫分别以铝铜镁铅构汰锌为篇发用披料，分别测量不同种类镀料蒸发所得的镀膜厚度。2.3研究基片到蒸发源的距离对锻膜厚度的影响选择质量为0.608的铝条，改变基片中心到蒸发源的距离，分别测量不同距离条件下蒸发所得的锻膜厚议。3实验结果及讨论依据述实验，并利1科学绘厚度的影响规律的实验曲线。3.1锻料质量对锻膜厚度的影响保持不变的前提下，镀料质量与镀膜厚度基本成线性关系，即随着镀料质量的增加，镀膜厚度呈线性增长。而运用，线性拟合所得到的方程+,也1正实了这点，方程。1代横坐标即铝条的质最。代纵坐标即镀膜厚度，参数数，厂的数值越接近1说明

4、曲线拟合得越好。3.2锻料密度对镀膜厚度的影响量的蒸镀材料在与基片等距离的条件下蒸发镀膜所得薄膜的厚度会逐渐减小。运用出冲时对锻膜厚度与镀料密度的关系曲线拟合所得方程为71似+人其中，代纵坐标即镀膜厚度，代衷摇你+如3.3基片与蒸发源的距离对镀膜厚度的影响又仪，比夫糸。为了排除丛片面和对于蒸发源角度因素的影响，实验过程中仅改变基炒中心到蒸发源的距离。而保持基尸衣面相付于蒸发源的角度大致相同。实验结果3相同种类的蒸镀材料在保持质景+变的前提下。随基片心到蒸发源距离的增加。蒸发披膜所得的薄膜度逐渐减小。应用⑶阶叫咖对镀膜厚度与基片心到蒸发源代纵坐标即彼膜度

5、。代横咆标即基片中K,i,W.r,DC,3基片中心到蒸发源的距离与膜厚的关系曲线七刮黑发源的距闻，乡，=175.544920045862,的月奏近似为2,即镀膜厚度近似与基片心到蒸发源距离的平方成反比。4结论通过实验，我们对蒸发镀膜过程中的个主要实验条件镀料质量镀料密度基片中心到蒸发源的距离乂寸薄膜厚度的影响规律进行了分析和讨论，并应用邮软牛对实验曲线进行了拟合，最终得出结论在镀料种类及基片与黑发源距离保持不变的前提下，镀膜厚度随镀料质量的，加作线性增长；在与基片等距离的条件下，相同质量的蒸镀材料蒸发镀膜所得薄膜的厚度与所用锻料密度近似成反比；在保持质

6、量不变的前提下，相同种类的蒸锻材料蒸发锻膜所得薄膜的厚度近似与基片中心到蒸发源距离的甲方成反比。1华中真空技术肘上海上海科学技术出版社，1988・责任编辑陈欣