掺镓氧化锌透明导电薄膜的制备及性能研究

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1、学校代号10524学号21109006分类号密级硕士学位论文掺镓氧化锌透明导电薄膜的制备及性能研究学位申请人姓名汪浩培养单位电子信息工程学院导师姓名及职称钟志有教授学科专业等离子体物理研究方向________信息功能薄膜材料论文提交日期2014年4月16日学校代号：10524学号：21109006密级：中南民族大学硕士学位论文掺镓氧化锌透明导电薄膜的制备及性能研究学位申请人姓名：汪浩导师姓名及职称：钟志有教授培养单位：电子信息工程学院专业名称：等离子体物理论文提交日期：2014年4月16日论文答辩日期：2014年5月28日答辩委员会主席：黄

2、新堂教授PreparationandPropertiesofGa-DopedZnOTransparentConductiveThinFilmsbyWANGHaoB.E.(South-CentralUniversityforNationalities)2011AthesissubmittedinpartialsatisfactionoftheRequirementsforthedegreeofMasterofScienceinPlasmaPhysicsintheGraduateSchoolofSouth-CentralUniversityfo

3、rNationalitiesSupervisorProfessorZHONGZhiyouMay,2014中南民族大学学位论文原创性声明本人郑重声明：所呈交的论文是本人在导师的指导下独立进行研究所取得的研究成果。除了文中特别加以标注引用的内容外，本论文不包含任何其他个人或集体已经发表或撰写的成果作品。对本文的研究做出重要贡献的个人和集体，均已在文中以明确方式标明。本人完全意识到本声明的法律后果由本人承担。作者签名：日期：年月日学位论文版权使用授权书本学位论文作者完全了解学校有关保留、使用学位论文的规定，同意学校保留并向国家有关部门或机构送交论

4、文的复印件和电子版，允许论文被查阅和借阅。本人授权中南民族大学可以将本学位论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检索，可以采用影印、缩印或扫描等复制手段保存和汇编本学位论文。本学位论文属于1、保密□，在______年解密后适用本授权书。2、不保密√□。（请在以上相应方框内打“√”）作者签名：日期：年月日导师签名：日期：年月日中南民族大学硕士学位论文目录摘要..............................................................................................

5、..............................IAbstract........................................................................................................................III第1章绪论..........................................................................................................

6、......11.1ZnO薄膜的结构与性质.................................................................................11.2掺杂ZnO薄膜的性质....................................................................................21.2.1Al元素的掺杂............................................................

7、...........................21.2.2Ga元素的掺杂......................................................................................31.2.3Ti元素的掺杂.......................................................................................31.3TCO薄膜透明导电的机理...............................

8、...............................................31.3.1薄膜的透光性..............................