宽带低损耗声表面波滤波器研制

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1、分类号密级注1UDC学位论文宽带低损耗声表面波滤波器的研制（题名和副题名）陈小环（作者姓名）指导教师姓名张波教授电子科技大学成都曹亮研究员中电集团第26研究所重庆（职务、职称、学位、单位名称及地址）申请专业学位级别硕士专业学位类别工程硕士工程领域名称电子与通信工程提交论文日期2010.5.1论文答辩日期2010.5.16学位授予单位和日期电子科技大学答辩委员会主席评阅人I摘要2010年月日注1：注明《国际十进分类法UDC》的类号II独创性声明本人声明所呈交的学位论文是本人在导师指导下进行的研究工作及取得的研究成果。据我所知，除了文中特

2、别加以标注和致谢的地方外，论文中不包含其他人已经发表或撰写过的研究成果，也不包含为获得电子科技大学或其它教育机构的学位或证书而使用过的材料。与我一同工作的同志对本研究所做的任何贡献均已在论文中作了明确的说明并表示谢意。签名：日期：年月日论文使用授权本学位论文作者完全了解电子科技大学有关保留、使用学位论文的规定，有权保留并向国家有关部门或机构送交论文的复印件和磁盘，允许论文被查阅和借阅。本人授权电子科技大学可以将学位论文的全部和部分内容编入有关数据库进行检索，可以采用影印、缩印或扫描等复制手段保存、汇编学位论文。（保密的学位论文在解密后

3、应遵守此规定）签名：导师签名：日期：年月日I摘要摘要随着移动通讯的发展，通讯系统不断升级换代，系统对信号带宽和信噪比的要求越来越高，宽带通讯系统逐渐成为主流，作为信号处理关键元器件—滤波器方面，宽带低损耗滤波器的需求也越来越大。目前，国内还没有一家完全成熟掌握宽带低损耗声表面波滤波器（SAWF）技术，为摆脱对进口元器件的依赖，发展这项技术势在必行。本课题就是以美国SAWTEK的宽带低损耗声表面波滤波器LB070DS26为目标器件，通过设计和工艺制作，以制作出能完全取代该项目的器件，为发展宽带低损耗声SAWF打下基础。本课题宽带低损耗声

4、SAWF的设计中，为了获得在同样结构下更大的带宽和更低的损耗，通过倾斜指条换能器实现宽带小体积滤波器，再加入SPUDT技术，以获得更低的损耗，同时通过换能器的分节处理得到更好的矩形度和更好的带外抑制。不同的加权技术和SPUDT技术相结合实现了高性能的宽带低损耗声表面波滤波器设计。在工艺分析与选择上，为了适合于更细的线条、保证指条陡直度、减少连指、选择了剥离工艺进行制作。在曝光方式上为了实现高分辨率的图形转印，保证图形之间的一致性，采用了分步重复曝光方法。为了有利于形成剥离工艺需要的在有光刻胶图形的基片表面获得不连续金属膜和镇对膜层精度

5、要求较高，利用电子束进行镀膜，同时通过对点焊线布局的选择减小了电极电阻，以有利于损耗的降低和通带波纹的减小。对厚膜以及倾斜换能器存在的剥离困难，通过光刻胶的选择、曝光显影条件确定、获得了满足需求曝光显影等过程条件，得到了较好微细图形。对体波问题，也通过开槽方式得以解决，同时，对可靠性方面，也进行了选择和控制。综合前面内容，本课题主要解决了以下问题：设计了一款宽带低损耗滤波器；解决了厚膜剥离工艺，确定了工艺参数；确认了此类器件抑制体波的开槽设备和工艺方式，确定了参数，既抑制体波，满足性能要求，又保证了产品可靠性。最后，论文给出了实验结果

6、，通用倾斜换能器实现了宽带低损耗滤波器的设计和制作，其制作指标与SAWTEK指标相当，达到国际同等水平。关键词：声表面波，滤波器，宽带，低损耗IIABSTRACTABSTRACTWiththerapidimprovementofmobilecommunication,thesystemofthecommunicationisrequiredtobemoreadvancedespeciallyontherequirementofsignal-to-noiseratioandsignalbandwidth.Therequrementsof

7、thefilterswhicharethekeydevicesinthesignalprocesssystembecomehighersincethewidebandcommunicationsystembecamethemainstream.Andthatmakesabiggermarketforwidebandlow-lossfilter.However,there’snodomasticmanufactorwhichcanseizethetechniqueofwidebandlow-losssurfaceacousticwave

8、filter(SAWF)maturely.Inordertoshakeoffthedependenceofdevicesimported,wehavetoresearchthetechinqueandmakeitsuit