屏蔽模板随动式微细电铸技术的基础研究

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1、屏蔽模板随动式微细电铸技术的基础研究图表索引图1.1LIGA技术工艺路线.........................................................................................................3图1.2LIGA技术制造的微结构.................................................................................................3图1.3EFAB工艺路线............................

2、....................................................................................5图1.4EFAB加工实例................................................................................................................5图1.5LECD电沉积原理.........................................................................

3、...................................6图1.6LECD加工实例................................................................................................................6图1.7用电化学STM在金上加工纳米铜簇.............................................................................7图1.8国外微细电火花加工实例......................

4、.........................................................................8图1.9国内微细电火花加工实例...............................................................................................9图1.10LIGA与微细电火花组合加工实例.................................................................................9图1.11高频窄

5、脉冲电流加工的微细结构..................................................................................10图1.12Kim等人采用微细电解加工的微结构.........................................................................11图1.13国内微细电解加工实例.........................................................................................

6、........12图1.14飞秒激光加工的纳米结构.............................................................................................12图1.15微细铣削加工的自由曲面.............................................................................................12图2.1电化学反应原理.....................................................

7、........................................................18图2.2电结晶过程.....................................................................................................................19图2.3屏蔽模板随动式电铸技术原理图....................