烧结体湿敏元件的制备及性能测试

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1、摘要摘要本文简要阐述了湿敏材料和湿敏元件的研究状况以及烧结体型湿敏元件的感湿机理。详细介绍了对ZnCr204一V205．Li20一ZnO玻璃一陶瓷复合型湿敏材料的优化实验，以该材料为感湿体材料制作烧结体型湿敏元件的工艺过程。通过调节晶相与玻璃相配比和烧结制度，制备出一系列感湿体样品，在对其性能进行全面比较分析的基础上，选定了用晶相与玻璃相比为94：6和96：4两种材料制各感湿体。在元件制作方面主要解决了电极制作工艺和封装工艺，取得了比较理想的效果，制成的元件具有较好的感湿性能、美观的外形和较高的机械强度。文中给出了元件的感湿特征曲线、感湿灵

2、敏度、响应时间、选择性、稳定性等性能的测试结果。该湿敏元件的感湿特征曲线平滑，基本成线性，感湿灵敏度适中；湿滞回差小，响应时问较短。元件对丙酮、酒精等气体不敏感，但对氨气敏感，不宜在有氨气的环境中使用；在普通和干燥的环境下长时间工作后，各项参数改变较小即具较好的稳定性，但在高湿环境下长时间工作，各项参数有较大变化即稳定性差。对实验结果作了理论分析。关键词：湿敏材料湿敏元件稳定性选择性Abs仃actAbstractInthispaper，weexpatiatetheresearchhum{d{ty—sensitivecomponentandh

3、umidjty—sensitivecOmponent．abouthumidity-sensitivematerialandthemechanismofsinteringThepaperintroducestheexperimentationabouthowtooptimizethe91ass—ceramicmaterialofZnC。204一V205-Li20—ZnOinparticularandtechnicaIprocesswhichmadetheglass-ceramicmaterialofZnCr204-V205-Li20—ZnOi

4、ntosinteringhumidity-sensitivecomponent．Weproduceaseriesofhumidity．sensitivenaninthewayofadjustproportionsofZnC。204andV205一Li20—ZnO．Finally，wechooseproportionsofZnC。204andV205．Li20—ZnOare94：6and96：4sinlplestoproducehumidity—sensitiVenan．Becauseweanalyzetheperformanceofthem

5、minutely．Inthesideofhowtoproducecomponent，wedosomeworkontechnicsofelectrodeandtechnicsofencapsulationandwegetgoodeffect．Thecomponenthasgoodperformanceofhumidity-sensitiVe，goodshapeandgoodintensionAndthepapershowstheresultsabouthumjdjtycurVe，humiditydegreeofdelicacy，answert

6、ime，selectivityandstabj¨tyofthehumidity-sensitiVecomponent．ThehumiditycurVeofthishumidity‘sensitiVecomponentissmoothness．Itislinearinthemain．Andthecomponenthasamezzohumiditydegreeofdelicacy，shortanswertime．Thehumidity-sensitiVecompOnentisnotsensitivetoalcoholandacetonebutv

7、erysensitivetoammonia．Soitcannotworkintheenvironmentofammonia．Afteralongtimeworkinthedryenvironmentorordinaryenvironment，theparametersofthecomponentgetlittlechange．ButalongtimeworkinwetenVironment，theparametersgetsmanychanges．Atlast，weanalyzealltheresults．Keywords：Humidity

8、—SensitiveMaterial，Humidity-Sens“iVeComponeⅡt，stabiIization，Selectivity．2．引言湿度传感器广泛应用于各种场