中芯国际集成电路制造（深圳）有限公司

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1、中芯国际集成电路制造（深圳）有限公司自行监测方案2017年8月20日1.企业基本情况企业名称：中芯国际集成电路制造（深圳）有限公司法人代表：赵海军所属行业：半导体制造业生产周期：365天地址：深圳市坪山新区出口加工区高芯路18号联系人：李佳慧联系电话：18038178404电子邮箱：Jiahui_Li@smics.com主要生产设备：酸碱清洗机，晶片清洗机，高电能离子注入机，光阻涂布机，干式光阻去除机，光阻去除清除机，溶剂光阻清除机，显影机废水处理及排放情况：（1）含氨废水处理系统：拟采用“吹脱+硫酸吸收液吸收法”进行处理，其处理流程如下：硫酸铵氨气吸收塔收集罐NaOH

2、氨气H2SO4含氨废水至含氟废水氨水收集罐pH调节槽吹脱塔1吹脱塔2碱性废气洗涤塔排水处理系统风机（2）含氟废水处理系统：拟采用“CaCl2混凝沉淀法”进行处理，其处理流程如下：含氨处理系统排水纯水制备酸碱再生废水（含氟）高浓度高浓度废POU净化装置排水（含氟）含氟废水水调节槽酸性废气洗涤塔排水NaOH、H2SO4CaCl2NaOH、H2SO4CaCl2、PACPAM低浓度低浓度废调节池反应池1反应池2混凝池沉淀池清水池1#废水排口含氟废水水收集槽上清液污泥处理系统污泥委外处理（3）研磨废水处理系统：拟采用“混凝沉淀法”进行处理，其处理流程如下图所示：NaOH/H2SO

3、4NaOH/H2SO4、PACPAM研磨废水调节池反应池1反应池2混凝池沉淀池1#废水排口上清液污泥处理系统污泥委外处理（5）综合废水处理系统：拟采用二次中和进行处理，其处理流程如下：H2SO4NaOHH2SO4NaOH工艺酸碱废水纯水制备系统反洗水调节池中和池1中和池22#废水排口酸碱再生废水（不含氟）废气处理工艺：有机废气沸石浓缩转轮大气湿式洗涤器碱性废气湿式洗涤器废水处理酸性废气POU净化装置工艺尾气（PointOfUse装置）（不含砷）POU净化装置含砷废气工艺尾气大气（干式吸附）吸附装置（含砷）2.监测内容及监测标准：2.1监测点位布设中芯国际集成电路制造（深

4、圳）有限公司污染源监测点位、监测因子及监测频次见中芯国际监测点位示意图和表1。噪声监测点废水检测点废气检测点表1污染源点位布设污染源类型排污口编号排污口位置监测因子监测方式监测频率备注1#排污口G1废水排放口COD，pH，BOD，SS，氟手工监测每季度一次废水化物，氨氮，石油类，总磷2#排污口G1废水排放口SEX-1G1楼顶SEX-2G1楼顶HCl，氮氧化物，氟化物，硫酸雾SEX-3G1楼顶手工监测每半年一次废气SEX-4G1楼顶AEX-1G1楼顶氨AEX-2G1楼顶VEX-2G1楼顶非甲烷总烃1#厂区北面2#厂区东面噪声手工监测每季度一次厂界噪声3#厂区南面4#厂区南

5、面2.2监测分析方法、依据和仪器1.自动监测废水污染物自动监测按照《水污染源在线监测系统运行与考核技术规范》（HJ/T355-2007）和《水污染源在线监测系数数据有效性判别技术规范》（HJ/T356-2007）要求进行监测。自动监测方法及仪器设备详见表2。本企业严格按照国家环境监测技术规范和环境监测管理规定的要求开展自行监测，所采用的自动监测设备已通过环保部门验收，定期通过有效性审核，并加强运行维护管理，能够保证设备正常运行和数据正常传输。表2污染物监测方法及使用仪器表类别监测项目检测方法及依据仪器设备名称和型号备注pH离子选择电极哈希SC200+PH复合电极废水CO

6、D重铬酸钾法哈希CODMAXII氟离子电极法哈希FBM-1602.手工监测各类污染物采用国家和深圳市相关污染物排放标准、现行的环境保护部发布的国家或行业环境监测方案标准和技术规范规定的监测防范开展监测。本企业委托有资质的社会化监测机构开展监测，能够明确监测质量控制要求，确保监测数据准确。2017年我单位委托谱尼测试集团股份有限公司和华测检测认证集团股份有限公司进行手工监测。按照《深圳市人居环境委员会建设项目环境影响审查批复》及《广东省环境保护厅关于中芯国际集成电路制造（深圳）有限公司集成电路项目——超大规模集成电路芯片生产线竣工环境保护验收意见的函》，本企业废水排放执行

7、《广东省地方标准水污染物排放限值》（DB44/26-2001）第二时段三级标准，废气排放执行《广东省地方标准大气污染物排放限值》（DB44/27-2001）第二时段二级标准，企业厂界噪声执行《声环境质量标准》(GB3096-2008)3类标准，监测分析方法，依据，仪器及排放标准限值，见表3。表3监测分析方法、标准限值、依据和仪器监测因子监测分析方法方法来源检出限标准限值监测仪器PH玻璃电极法GB/T6920-860.01无单位6-9酸度计COD重铬酸盐法HJ828-20174mg/L≤500COD消解装置BOD稀释与接种法HJ505-20