HGT4509-2013-工业高纯氢氟酸.pdf

《HGT4509-2013-工业高纯氢氟酸.pdf》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在行业资料-天天文库。

1、ICS71．060．30G11备案号：41827—2013HG中华人民共和国化工行业标准HG／T4509—2013工业高纯氢氟酸Highpurityhydrofluoricacidforindustrialuse2013—10—17发布2014-03—01实施中华人民共和国工业和信息化部发布前言HG／T4509—2013本标准按照GB／T1．12009给出的规则起草。本标准的附录A为资料性附录。本标准由中国石油和化学工业联合会提出。本标准由全国化学标准化技术委员会无机化工分会(sAC／Tc63／scl)

2、归口。本标准起草单位：浙江凯恒电子材料有限公司、福建省邵武市永飞化工有限公司、鹰鹏集团／宣城亨泰化工科技有限公司、浙江蓝苏氟化有限公司、贵州省产品质量监督检验院、巨化集团技术中心、山东兴氟新材料有限公司、上海哈勃化学技术有限公司、多氟多化工股份有限公司、中海油天津化工研究设计院、国家无机盐产品质量监督检验中心。本标准主要起草人：田志扬、赵晓亚、杜宏军、林益兴、施卫寅、钟宏波、周晓红、周鹏鹏、孙宏华、刘海霞、郭风鑫。工业高纯氢氟酸HG／T45∞一20131范围本标准规定了工业高纯氢氟酸的分级，要求，试验方

3、法，检验规则，标志、标签，包装、运输和贮存及安全。本标准适用于工业高纯氢氟酸。该产品主要应用于太阳能光伏电池、液晶显示器件、集成电路和超大规模集成电路芯片的清洗、蚀刻，以及作为生产其他高纯氟化物的原料等。2规范性引用文件下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅所注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。GB190危险货物包装标志GB／T191--2008包装储运图示标志GB／T6678化工产品采样总则GB／T6680液体化工产品采

4、样通则GB／T66822008分析实验室用水规格和试验方法GB／T8170数值修约规则与极限数值的表示和判定HG／T3696．1无机化工产品化学分析用标准溶液、制剂及制品的制备第1部分：标准滴定溶液的制备HG／T3696．2无机化工产品化学分析用标准溶液、制剂及制品的制备第2部分：杂质标准溶液的制备HG／T3696．3无机化工产品化学分析用标准溶液、制剂及制品的制备第3部分：制剂及制品的制备3分子式和相对分子质量分子式；HF相对分子质量：20．01(按2011年国际相对原子质量)4分级工业高纯氢氟酸按用

5、途分为四个等级。EL级：主要用于太阳能光伏电池及液晶显示器件的制造，以及作为生产其他高纯氟化物的原料UP级：主要用于线宽为0．8pm～1．2pm集成电路的清洗与蚀刻；uPs级：主要用于线宽为0．2p-m～0．6pm集成电路的清洗与蚀刻；UP—SS级：主要用于线宽为0．09,um～0，2pm集成电路的清洗与蚀刻。5要求5．1外观：无色透明液体。5．2工业高纯氢氟酸按本标准规定的试验方法检测应符合表1技术要求。HG／T45∞一2013表1技术要求指标项目EI，级UP级UPS级UP—SS级总酸度(以HF计)w

6、／％49．0土0．549．0士0549．0土0．5氟硅酸(HzSiR)w／(mg／kg)≤5030氯化物(以cl计)”／(mg／kg)≤5O．2O05硝酸盐(以NOs计)"／(mg／kg)≤30．10．05磷酸盐(以P03计)w／(mg／kg)≤10．10．05硫酸盐(以so：计)“∥(mg／kg)≤50．20．05铝

7、钙(Ca)w／(pg／kg)≤100101O．1镉(cd)H∥(pg／kg)≤501010．1铬(Cr)w／(p．g／kg)≤201010．1铜(Cu)'w／(pg／kg)≤2010l0．1铁(Fe)w／(pg／kg)≤10010101钾(K)w／(vg／kg)≤1001010．1锂(Li)w／(p．g／kg)≤2010l01镁(Mg)w／(pg／kg)≤100101O．1锰(Mn)w／(vg／kg)≤50101O．1钠(Na)w／(gg／kg)≤100lO1O．1镍(Ni)w／(pg／kg)≤5010

8、10．1铅(Pb)w／(}‘g／kg)≤50lO1O．1钛(T1)w／(pg／kg)≤1001010．1锑(Sb)wl(pg／kg)≤501010．1锡(Sn)w／(gg／kg)≤2010l01锌(Zn)w／(pg／kg)≤501010．1(≥1．0pm)／(个／mL)≤25颗粒(≥0．5pm)／(个／mL)≤255(≥0．2pm)／(个／mL)≤206试验方法6．1警告本试验方法中所使用的部分试剂和样品具有囊蚀性，撮作者应小心谨慎，避免与