国家标准《晶片通用网格规范》.doc

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1、国家标准《晶片通用网格规范》（送审稿）编制说明注：①XX处应填写“国家”、“行业”或“协会”；②XX处填写相应“讨论”、“征求意见”、“预审”、“送审”、或“报批”。正文全文除表格外，都为小四号字，章标题、条标题用黑体、顶格，段落用宋体、首行缩进2个字符，表格中用宋体、五号字。一、工作简况1.立项目的与意义随着微电子技术的飞速发展，150mm和200mm直径硅晶片成为我国的主流产品，各种先进的工艺和测试设备已经越来越广泛的被应用，特别是和各种电脑的统计及应用的结合，对晶片表面非均匀分布的缺陷的定量分析以及在工艺过

2、程中的追溯越来越受到重视。《晶片通用网格规范》国家标准是1996年起草并发布实施的，该标准规定了可用于定量描述标称圆形半导体晶片表面缺陷的网格图形，是支撑半导体晶片表面状态特性定量测试分析的理论模型，具有非常重要的意义。原标准GB/T16595-1996修订距今已有22年之久，期间SEMI组织已发布了SEMIM17－1110《Guideforauniversalwafergrid》，而GB/T16595－1996是参照SEMIM17－1990，目前该SEMI标准已修订为SEMIM17-1110，本标准的修订将使其

3、与国际接轨，促进行业发展。2.任务来源根据《国家标准委关于下达2016年第四批国家标准制修订计划的通知》（国标委综合[2016]89号）的要求，国家标准《晶片通用网格规范》的修订任务由浙江海纳半导体有限公司负责，计划编号为20162489-T-469，计划完成时间为2018年。3.项目承担单位概况浙江海纳半导体有限公司成立于2002年9月，注册资本5800万元，是浙江众合科技股份有限公司（股票代码000925）的全资子公司，原名杭州海纳半导体有限公司，2016年5月公司搬迁至衢州后更名为浙江海纳半导体有限公司。浙

4、江海纳半导体有限公司是我国最大的半导体单晶硅材料制造商之一，是一家有着多年发展历史的半导体企业，其前身为浙江大学半导体厂，该厂创建于1970年，至今已有48年的历史。公司一直致力于半导体硅材料的研发与生产，在硅单晶体生长技术、硅材料缺陷研究、硅片切割研磨、硅晶圆抛光技术、硅片检测等各个方面都有着深入的研究和开发，现已形成一系列具有自主知识产权的技术体系和产品品牌。公司主要产品为3-8英寸半导体级硅单晶锭、研磨片及抛光片，应用于集成电路、分立器件、敏感元器件与传感器、LED、节能灯、太阳能等多个领域，远销美国、德国

5、、日本、韩国、新加坡、泰国、台湾等地，在国内外市场具有较高的知名度和影响力。1.主要工作过程（指从下达计划项目之日至完成报批稿期间所做的工作，具体包括：调研和试验工作简介、召开会议（讨论会、预审会统称工作会议，按第一次工作会议、第二次工作会议描述）的时间、地点，征求意见稿发送（包括工作会议和函送）的单位和意见反馈情况、送审稿完成日期、审定会情况等）任务计划下达后，浙江海纳半导体有限公司成立了标准编制小组，明确了工作指导思想，制定了工作原则、任务分工和实验计划。编制组通过收集、整理国内外相关技术资料，为标准修订提供

6、技术参考和支撑。同时，组织专业技术人员对晶片通用网格规范进行研究。在调研和研究工作的基础上，编制组拟定了该标准所涉及的适用范围、主要修订内容，并于2016年11月完成本标准讨论稿的编写工作。由全国半导体材料标准化分技术委员会组织，在内蒙古巴彦淖尔市召开《晶片通用网格规范》标准第一次工作会议（讨论会），共有有研半导体材料有限公司、浙江省硅材料质量检验中心、上海合晶硅材料有限公司、浙江金瑞泓科技股份有限公司等25个单位32位专家参加了本次会议。与会专家对标准资料从标准技术内容和文本质量等方面进行了充分的讨论，并提出了

7、修改意见。会后标准编制组根据专家意见进行修改后，形成了征求意见稿，并广泛发函征求意见，具体见意见汇总处理表。2017年12月7日，由全国半导体材料标准化分技术委员会组织，在云南省昆明市召开《晶片通用网格规范》标准第二次工作会议（预审会），共有有研半导体材料有限公司、浙江省硅材料质量检验中心、上海合晶硅材料有限公司、浙江金瑞泓科技股份有限公司等25个单位50位专家参加了本次会议。与会专家对标准资料从标准技术内容和文本质量等方面进行了充分的讨论。会上对编制组提交的预审稿达成修改意见，具体见意见汇总表（提出单位为预审会

8、）。会后，标准编制组根据预审会的要求对标准进行修改，形成了送审稿。一、标准编制原则和确定标准主要内容的依据1、标准编制原则1.1适用性原则：国内外半导体材料厂家对晶片表面状态要求越来越高，本标准规定了可用于定量描述标称圆形半导体晶片表面缺陷的网格图形，是支撑半导体晶片表面状态特性定量测试分析的理论模型，对材料厂家以及检测设备厂家都有非常重要的意义。1.2规范性原则：标准在