6.化学管路二次配管施工规范.doc

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1、六、化学管路二次配管施工规范1.工程范围2.材料及施工标准3.施工时间4.施工规范5.PVC配管6.PFA管施工要领7.SUS配管施工要领8.信号测试一工程范围：化学管路由已安装完成之阀箱中阀的出口端将管路及讯号线安装至使用机台的入口端，以此范围之二次配管工程为主。二材料及施工标准：1.管材：A.ModelI¨化学品种类：溶剂类(IPA、EBR)¨管路材质：SUS316LBA管。¨配管方式：单层管。¨弯管方式：Elbow¨管径：3/4”¨接管方式：阀箱出口端：以VCR或相同之其它方式接管。¨机台入口端：只预留在机台内，不接管，由设备自行衔接机台。B.ModelII¨化学品种类：DHF,

2、BHF,ITO-Etch1,ITO-Etch2,AL-Etch,Cr-Etch,TMAH¨管路材质：PFA管/40AC-PVC管。¨配管方式：双层管。¨弯管方式：直接弯管(不用Elbow)。¨管径：内管为1”AND3/4”PFA管。外管为40AC-PVC管。¨接管方式：内管：阀箱出口端：扩管式。机台入口端：只预留在机台内，不接管，由设备自行衔接机台。外管：阀箱出口端：使用40AC-PVCSOCKET固定。机台入口端：使用40AC-PVCSOCKET固定。C.ModelIII¨化学品种类：Corrosivesolvent(Stripper-1,Stripper-2)¨管路材质：SUS31

3、6LEP管。¨配管方式：單层管。¨弯管方式：直接弯管(不用Elbow)。¨管径：SUS316LEP管。¨接管方式：外管：阀箱出口端：使用Clamp固定。机台入口端：使用40AJIS10KFlange固定。1.讯号：l使用机台提供之讯号：需求讯号。l供酸系统提供之讯号：系统供酸正常讯号。l讯号线材质：PVC绝缘线。l外加导线管做保护。2.施工之标准程序：lGSMC厂务在三天前发Informsheet给UIS。lUIS在接到Informsheet后一天内通知下包，二天内安排下包至现场确认施工范围及施工现场，并列出所需之PARTS。l在LocationCheck的同时，Informsheet

4、检查出POUValveBox及讯号是否已拔除。l进场施工当天早上09:00先与下包确认工作内容。l管材及工具在现场前，应先以IPA擦拭干净。lAM09:30至现场施，先通知GSMC厂务人员，请其陪同施工，同时确认施工所需之电力、CDA、N2、吸尘器等之接头位置，并经GSMC人员认可。l再次确认POUValveBox之位置及讯号线是否拆除。l请陪同之厂务人员通知设备人员及化学房值班人员要开始接管工作，请其配合注意施工期间是否有任何异状。l开始配管工作：lPFA配管：l先配40AC-PVC外管，配管时三人一组(一人在C/R，一人在管架上，一人在地面上整理管子及支持)，施工时需戴手套、安全帽

5、、安全带、制服等。l配管先出ValveBox(以Borethrough固定)后，垂直向上后沿地板下之Support至机台→沿线以绑线带固定，但需注意勿挡住”人孔”，入机台时一样以Borethrough固定。l入机台前需在外管上标示Chemical之种类。l穿入3/4”PFA内管，一边插入并一边擦拭内管，在机台内留1M长之Tube，而Valve端则扩管后接上。l将讯号线沿PFA管拉至机台后方，并确认其编号。lSST配管：l配管时三人一组(一人在C/R，二人在Plenum做焊接及组装)，施工时需戴手套、安全帽、安全带、制服等→以VCR做标准连接。l先试烧SAMPLE，经在场UIS监工人员及

6、GSMCHoookupteam确认后，记录其数值，再开始焊接。l配管时，先垂直向上，至地板下再沿SUPPORT固定，(以固定夹固定)注意需避开”人孔”。l在焊接处及入机台处需标明Chemical种类。l接至机台之pointsize需与厂务确认。l将讯号线拉至机台后方，(沿管线拉线，并以绑线带固定)，并确认其编号。l做保压测试(7Kg/cm2,24hrs)l将卷标挂上。l整理环境，并收集废弃物。l完成自主检查表之各项检查，并签名。lCM会议中，确认讯号测试及供酸日期。l讯号测试：lGSMC厂务在二~三天前通知UIS人员讯号测试。l测试人员至现场LOCALPANEL准备并CHECKSIGN

7、ALNO.LIST，同时通知GSMCHookupteam及UISSE到场一同测试，(由GSMCFAC与GSMC之E.E人员联络，UIS人员负责讯号之检测)同时并通知值班人员。lUIS负责将测完之讯号线作连接。l开POU阀：l先确认已做完讯号测试。l确认各接点已锁紧。l确认SST管已做完保压测试并锁紧。l穿戴防护用具。l经厂务工程师确认设备工程师已准备好之后，始可开阀。l由设备工程师CHECKREQUESTSIGNAL及CHEMICAL是否有供应