SM5651压阻式压力传感器.doc

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1、SM5651压阻式压力传感器概述SM5651为OEM压力传感器，完全校准和温度补偿微差压双列直插高性能压力传感器。SM5651系列为陶瓷基底贴装高稳定压阻式压力传感器芯片，利用陶瓷基板上的薄膜电阻进行零度校正、零点温度补偿和灵敏度温度补偿。SM5651只能用恒流驱动，一个额外的电阻修剪正常化的外部差分放大器的输出提供了跨度校准。SM5651芯片有额外的增益电阻，采用恒流激励特点：微压0.15psi、0.30psi、0.80psi、1.50psi、和3.0psi恒流或恒压激励温度补偿范围宽（0-60℃）跨度校准正高达±2%零点校准及温度补偿高性能、稳定的硅芯片封装表压和差压配置应用：

2、医疗设备呼吸机、麻醉机和监护仪HVAC（空调）水平监测流量测量工业控制微差压变送器性能参数：测试的条件是：SM5651激励电流源为1.5mA,室温为25℃；SM5652激励电压源为10.00VDC,室温为25℃；除非别有规定。激励电压源DC（SM5652）>010.0020.00V激励电流源DC（SM5651）>01.503.00mA满量程输出SM5651满量程输出25.045.075.0mVSM5652满量程输出24.525.025.5mV零点输出-2.00+0.202.00mV温度系数满量程温度系数-0.65+0.200.65%FS零点温度系数-1.00+0.201.00%FS

3、温度迟滞性-0.30+0.050.30%FS准确度线性度（非线性误差）-0.30+0.05+0.30%FS重复性-0.30+0.05+0.30%FS压力迟滞性-0.30+0.05+0.30%FS灵敏度匹配性-2.0-0.2+2.0%FS阻抗（SM5651）输入阻抗1.803.003.80kΩ输出阻抗2.703.303.80kΩ阻抗（SM5652）输入阻抗4.508.0025.00kΩ输出阻抗2.002.503.80kΩ温度范围补偿温度+0+60℃工作温度-40+125℃存储温度-40+125℃动力特性耐压10ⅹRatedFS爆破压力15ⅹRatedFS备注：1、正压指的是从晶圆底部

4、进入；增益，在工厂校准使用的是负压2、对于SM5652，量程为0.15psi的量程输出是23.75mV（最小）至26.25（最大）3、测量温度超过22-58℃对于量程为0.15psi，满量程温度系数为±2%FS；零点温度系数为±2%FS；对于量程为0.3psi，满量程温度系数为±0.75%FS；4、对于量程为0.3psi，迟滞性为±0.45%FS；对于量程为0.15psi，迟滞性为±0.65%FS；5、最佳直线拟合，是从晶圆顶部测量的，对于量程为0.3psi，线性度为±0.5%FS；对于量程为0.15psi，线性度为±2.5%FS；6、灵敏度匹配指的是部分与部分匹配的程度，对于量程

5、为0.15psi，灵敏度匹配性为±5.0%FS；电气连接SM5651管脚输出1-SingnalOut8NC2-In7NC3+SingnalOut6GainsetResistor4+In5GainsetResistorSM5651有表压、差压类型，产品外形尺寸以说明书上标注为准，产品升级或其他改动我们会另行通知选型指南SM5651压阻式压力传感器SM5651—003—D—3—L型号测量压力范围压力类型引脚配置长短接管SM5651/SM5652001D3LSM5651/SM5652003G1SSM5651/SM5652008D3LSM5651/SM5652015G1S测量压力范围压力类

6、型引脚配置长短接管PSISM5651/SM5652A—绝压D—差压G—表压3：引脚与接气管相反的方向1：表面贴装引脚与接气管对面方向L：长接气管S：短接气管0.150010.30030.80081.50153.0030