隔墙系统规范

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1、C.1.3洁净室墙 C.1.3.1描述及地点洁净室的墙壁将围绕第一阶段过程区域的周长在TFT110级装，TFT2水平40，CF60级洁净室和1阶段支撑区域（10级，20，40，60）在这些地区的部分洁净室隔板应为回风竖井创造空间。洁净室的墙壁应进一步分离的地区，不同的洁净室类。洁净室的分区将是整个高度，气密模块化的墙壁。壁会附着在底部的活动地板和天花板更新系统在顶部。它们应包括跟在该固体和玻璃面板的安装水平和垂直分布的框架。分区应提供灵活的连接，以避免天花板网格，分区之间振动。洁净室里面的隔板应容易拆卸和多变通过其模块化结构。所有这些面板应为可拆装不损坏建筑或材料。在

2、外围分区应从系统的直板墙与铝蜂窝充填或单面洁净室钉墙系统来构建。隔板应是稳定的和刚性的，而不受穿透。当拆卸面板，其余的分区的稳定性将不会受到影响。每个分区应适合为600mm的网格，或整数倍，以配合天花板和高架地板网格系统。墙板将由涂层钢板RAL色（颜色RAL9010，须经批准）制成，具有导电表面和或导电窗口面板。整个洁净室隔墙系统应接地。墙壁和窗户的电阻值≥1×10Ω和≤1×10Ω，所有表面的静电为500V。产品规格，设计数据和元件的描述将投标包的一部分。对于perimerter洁净室墙壁允许制造商：TOPLINE/TENRYO/RITTERWAND对于内饰洁净室墙

3、壁允许制造商：TOPLINE/TENRYO/RITTERWANDC.1.3.2组件说明C.1.3.2.1组成部分周边洁净室墙壁的说明C.1.3.2.1.1实心板详细描述：1，钣金材料厚度：0.6-0.8毫米2，由铝蜂窝充填3，表面处理粉末喷涂（RAL9010色，待批准）上的导电涂层洁净室的一面。4，表面处理必须平整，清洁的，不易燃，免维护，无颗粒产生。5，面板宽度必须900毫米或者静态允许1200毫米。6，面板厚度必须50毫米7，间隙填充由无硅进行密封，并应在两侧墙上安装。8，提供灵活的连接，以避免天花板网格，分区之间振动。9，隔板应是稳定的和刚性的，而不受穿透。当拆

4、卸板，其余的分区的稳定性将不会受到影响。10，每个分区应适合为600mm的网格，或整数倍，以配合天花板，并提出地板网格系统。11，整个洁净室的隔断系统应接地。12，墙壁电阻值≥1×10Ω和≤1×10Ω，静电500V的所有表面。13，规格，设计数据和元件的描述将投标包的一部分。对于perimerter洁净室墙壁允许制造商：TOPLINE/TENRYO/RITTERWANDC.1.3.2.1.2洁净室墙类型：隔壁的类型，可分为以下几种类型：单面导电只能在洁净室侧，实心板C.1.3.2.1.3周边洁净室墙施工细节：周边洁净室墙壁安装在混凝土或建筑墙体门和百叶窗的连接：提供“

5、管道”做干净的房间周边分区靠近门安装在混凝土或建筑墙体。设计管道不超过门间隙小于净间隙。停止与管道不超过安装在混凝土或建筑墙体门100毫米以内。从洁净室外围分区隧道四面提供间隙盖安装在混凝土或建筑墙体门框。使用SUS钣金缝隙覆盖。表面光洁度必须刷。提供SUS金属板材合适的材料厚度，但不低于1.0mm以上使用硅酮密封胶自由关闭SUS薄板金属板之间的间隙和外围洁净室分区和门的门框安装在混凝土或建筑墙体。围绕柱外围隔墙晶圆厂，并在所有洁净室技术支持建设的洁净室内级别：没有划分的要在无尘室中绕柱安装。提供由橡胶或不锈钢薄板从地面至2000mm高度的边缘保护。切高架地板面板的列

6、匹配。插入特殊天花板格栅相思收天花板网格和列之间的差距小于10mm。使用硅密封胶自由密封在绕柱轮廓天花板10mm的间隙。集成消火栓箱、火灾报警面板,火警推按电气插头或空气格栅变成周边隔断墙:提供切出为相关厂商做了分区标记。由于切出由所有切割和当前洁净室施工阶段的工作规则。安装u型铝合金型材加强开放在开放。之后，相关的项目或应用程序安装密封用硅密封胶自由的差距。安装洁净室周边与无高架地板或建立天花板区域分区：提供高度可调节调平装置在地板上，如果无尘室的围墙是无高架地板安装的地区。提供高度可调节调平装置在天花板上，如果无尘室的围墙是不洁净室吊顶安装领域。密封洁净室周边壁以

7、及建筑物的地板或天花板与墙壁的两侧无硅密封胶之间的差距。利用回风格栅：洁净室地区无高架地板都需要使用回风格栅。回风格栅不大于3米/秒表面速度。提供格栅充足数量。格栅1100x500毫米的最大尺寸。为每个网格以及可调快门（缓冲器）快门（缓冲器必须安装在格栅的背面侧，但必须从该前侧操作。钢制格栅，所有表面必须涂上。C.1.3.2.2洁净室墙壁的组成部分内饰说明C.1.3.2.2.1实心板 详细描述：1，钣金材料厚度：1-1.5mm的2，表面处理粉末喷涂或盘绕涂层（颜色RAL9010，待批准）与该分区上的两侧导电涂层。3，表面处理必须平整，清洁的，不易燃，