洁净空调系统讲解实例分析_课件

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1、洁净空调系统讲解实例分析空調潔淨二課1WaterSystemAIRSystem值班工作心得與建議THEENDAGENDA2CoolingTowerSystemChillerSystemPCWSystemWarmWaterSystemHotWaterSystemWaterSystem3WaterSystem4COOLINGTOWER廢熱的最終散發點。即除去冰機運轉時產生之熱能及FAB內所產生之熱能。利用液體薄膜表面蒸發汽化，吸收底層液體熱量，降低冷卻水溫度。回水溫度(約35℃)會因工廠負載而有所改變，因此風扇轉速會依據出冷卻水出口溫度(28℃)為

2、設定點，利用變頻器加、減風扇速度。二廠共10座，位於CUB樓頂。1~8(A/B)風扇為40HP，9~10(A/B)風扇為60HP。5COOLINGTOWER水份散發後，補水水源係利用RO回收水及MUA冷凝回收水。若不足加入自來水。補水啟動液位:42cm，停止液位:52cm。由CUB地下室300T*2地下室冷卻水槽。電導度大於1500μs/cm，由回水管(7A旁)進行排水。排水同時進行補水，電導度降至1350μs/cm停止排水。加藥。因水塔是對大氣開放，因陽光照射及接觸大氣中細菌，易生長藻類及細菌。加藥控制是利用定時器，自動啟動加藥Pump，並設

3、定Pump每分鐘輸出量，達到藥量控制。藥品種類:TKC-3603(水垢腐蝕抑制劑)、TKC-640(殺菌劑)、漂白水(滅藻劑)。6WaterSystem7CHILLERSYSTEM利用冷媒由蒸發器，汽化(吸熱)、經壓縮機，壓縮(放熱)提供5℃冰水。熱力學第一定律當有熱能（ΔQ）由於溫差的原因，由外界傳入一物體，通常會有溫度升高（粒子平均動能增加）且體積膨脹（對外界做功ΔW）的情形。我們把物體內所有粒子的總機械能稱為該物體的內能（U），則由能量守恒可得：ΔQ＝ΔU＋ΔW即系統吸收的熱能＝系統內能增加量＋系統對外做功值。8CHILLERSYSTEM

4、冰水供給:MUA冰水管排、RCA溫控水排、PCW熱交換器及CDASystem。溫水供給:MUA熱水管排。冰水系統共1~10號冰機，其中3、6、9為熱回收冰機，可提供約35℃溫水。ChillerWaterPump(CHP)1~10號，50HP。供應5Kg/cm2冰水進入冰機。SecondChillerWaterPump(SCHP)1~10號，250HP。供應5Kg/cm2冰水至MUA、RCA、CDA及PCW熱交換器及CDASystem。9CHILLERSYSTEM冰機啟動a.與電力課確定用電狀況。b.確定閥件是否開啟。c.啟動冷卻水pump，確定

5、壓力(約4Kg)是否建立。d.啟動冰水pump，確定壓力(約5Kg)是否建立。e.檢查油槽液位(視窗一半以下)及溫度(140~145℉)。f.啟動冰機。調整SCHP(手動部分)頻率使平衡運轉。冰機啟動時機a.運轉冰機負載皆大於90%。b.二次冰水pump接近60Hz運轉(冰水主管路流量增加時)。c.預計外氣溫度將持續升高。10CHILLERSYSTEM．冰機關閉a.與電力課確定用電狀況。b.按下冰機停止鍵(紅色)，注意不可連續壓二次(緊急停止)。c.等候關機後冷媒循環時間結束。d.關閉冷卻水pump。e.關閉冰水pump。f.調整SCHP(手動

6、部分)頻率使平衡運轉。．冰機關閉時機a.運轉冰機負載總和%/冰機運轉數目小於65%。b.二次冰水pump接近25Hz運轉(冰水主管路流量降低時)。c.預計外界氣溫將持續下降。11WaterSystem12PCWSystem提供15℃,輸送壓力(5.0~5.5kg)低溫水供應FAB內生產機台所需的冷卻水。利用冰機提供5℃冰水及板式熱交換器降溫。隨時注意出口5.0~5.5Kg，確定管線輸送正常。電導度:>20μs/cm,<40μs/cm。PH:6.0~8.0。補水以DIWater為主，若有大量失水則補足自來水。13PCWSystem開機:a.檢查P

7、ump、HeatExchanger、Filter前後各手閥是否開啟(Open)。b.檢查回水閥後方手動閥是否打開。c.由值班室啟動(ON)系統。關機:a.由值班室關閉(STOP)系統。b.將回水氣動閥後方手動閥關閉，以防止大量回水，造成Tank水位過高。．失水a.DIWater停止供應時需注意Tank水位是否正常，低於95cm時打開CityWater手動閥做緊急補水至100cm。b.持續監控水位，至DIWater恢復供應。14WaterSystem15WarmWaterSystemWarmWaterSystema.利用冰機(3,6,9熱回收冰機

8、)運轉產生之熱源。b.提供35℃熱水，5Kg壓力。c.供給MUA熱盤管，加熱除濕後之低溫外氣使用。WarmWaterPump(WWP)1~3號，50H