真空维护和维修

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1、word资料下载可编辑真空区域的划分为了研究真空和实际应用方便，常把真空划分为粗真空、低真空、高真空和超高真空四个等级。随着真空度的提高，真空的性质将逐渐变化，并经历由气体分子数的量变到真空质变的过程。1.粗真空(1×105－l×102Pa)在粗真空状态下，气态空间的特性和大气差异不大，气体分子数目多，并仍以热运动为主，分子之间碰撞十分频繁。气体分子的平均自由程很短。通常，在此真空区域，使用真空技术的主要目的是为了获得压力差，而不要求改变空间的性质。电容器生产中所采用的真空浸渍工艺所需的真空度就在

2、此区域。2．低真空(1×102－1×10-1Pa)此时每立方厘米内的气体分子数为1016－1013个。气体分子密度与大气相比有很大差别。气体中的带电粒子在电场作用下，会产生气体导电现象。这时。气体的流动也逐渐从粘稠滞流状态过渡到分子状态，这时气体分子的动力学性质明显，气体的对流现象完全消失。因此，如果在这种情况下加热金属，可基本上避免与气体的化合作用，真空热处理—般都在低真空区域进行。此外，随着容器中压强的降低，液体的沸点也大为降低，由此而引起剧烈的蒸发，而实现所谓“真空冷冻脱水”。在此真空区域，

3、由于气体分子数减少，分子的平均自由程可以与容器尺寸相比拟。并且分子之间的碰撞次数减少，而分子与容器壁的碰撞次数大大增加。3．高真空(1×10-1－1×10-6Pa)此时气体分子密度更加降低，容器中分子数很少。因此，分子在运动过程个相互间的碰撞很少，气体分子的平均自由程已大于一般真空容器的线度，绝大多数的分子与器壁相碰撞。因而在高真空状态蒸发的材料，其分子(或微粒)将按直线方向飞行。另外，由于容器中的真空度很高，容器空间的任何物体与残余气体分子的化学作用也十分微弱。在这种状态下，气体的热传导和内摩擦

4、已变得与压强无关。4．超高真空(＜1×10-6Pa)此时每立方厘米的气体分子数在1010个以下。分子间的碰撞极少，分子主要与容器壁相碰撞。超高真空的用途之一是得到纯净的气体，其二是获得纯净的固体表面。此时气体分子在固体表面上是以吸附停留为主。利用真空技术可获得与大气情况不同的真空状态。由于真空状态的特性，真空技术已广泛用于工业生产、科学实验和高新技术的研究等领域。电子材料、电子元器件和半导体集成电路的研制和生产与真空技术有着密切的关系。真空单位：1Toor＝133.322Pa1Pa=7.5mTor

5、r1Pa=1N/m21Torr=1mmHg1mmHg=101,325/760N/m2(1大气压=101,325N/m2)专业技术资料word资料下载可编辑维护部分1.1、机械真空泵的维护和保养：（1）泵及其四周环境应经常保持清洁。（2）泵在运转过程中应保持油箱内油量不得低于油标中心。（3）不同种类和牌号的真空泵油不可混合使用。（4）泵在使用中温升不能超过70℃。（5）新泵在使用100h左右应换1～2次油，待换下的油内不再发现含黑色金属粉末后，可加长换油期限。根据说明书规定和使用实际情况来确定换油期

6、限。（6）新泵和修理后的泵应现作运转试验4～6h，检查泵是否符合使用要求。（7）泵使用较长时间以后（2～3年不等），极限真空度下降，应进行一次检修。同时也应对系统、管道、阀门和电动机等加以清洗、检修。（8）泵在使用中，因系统损坏等特殊事故，或进气口突然暴露大气时，应尽快停泵，并切断与系统连接的真空管（关低真空阀或夹真空夹），防止喷油，污染工作场地。（9）泵上所有机件，非绝对必要，切勿自行拆卸。（10）泵不用时，应用橡皮塞（帽）把进气口塞好，以免赃物和硬质东西落入泵内。（11）经常注意真空技术发展动

7、向，尽量及早地引入新技术、新材料（如新泵油等），以改进原有系统的性能。以上数点，可按具体情况，订出相应操作规程，严格施行。1.2、整套设备的日常维护：（1）操作人员要熟悉各种仪表、泵，设备的各部分。阅读并理解各种说明书。（2）冷却水水压应保持0.1～0.2Mpa之间，出水温度≤45℃。（3）压缩空气压力在0.4～0.5Mpa之间。（4）每炉开机前，要检查保护气的气瓶容量，以免气体充不足，更换气瓶。（5）开机后如有异常情况，应立即排除或停机查找原因。（6）经常检查各部分的回水量，工作时应保证各部分有

8、充足的冷却水。（7）设备停止使用时，应将炉内气体抽空，长时间不用，要充入保护性气体，并把设备水冷套内的循环水放掉，并用气压冲洗。（8）机械泵、罗茨泵应定期换油加油，罗茨泵的油杯中要保持一直有油。换油时一定要把废油放干净。（9）扩散泵换油时，内部如有氧化，要把扩散泵内部的氧化层处理干净，然后再换上新油。（10）充入的保护性气体，纯度不应小于99.99%。（11）本设备不允许使用易燃易爆和具有腐蚀性气体作为保护气氛。（12）设备表面及仪表表面要保持清洁，擦拭炉体内壁不允许有带有水份及沾