申报教学科研系列

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1、竞聘教学、科研系列高级岗位业绩审核表所在学部（院、部）：机械工程与材料能源学部（机械工程学院）设岗学科及研究方向：机械工程精密/超精密加工理论与技术竞聘专业技术岗位：副教授（A岗）姓名：周平填表日期：2013年11月25日大连理工大学2013年11月制15一、简况姓名周平性别男出生年月1980-12政治面貌中共党员专业技术职务讲师任职时间2009-12进校时间2010-1出生地浙江余姚最后学历、毕业学校、专业、时间研究生大连理工大学工程力学2009-12最后学位、毕业学校、专业、时间博士大连理工大学工程力学2009-12从事专业精密/超精密加工理论与技术本人所在队

2、伍情况(填写姓名)教授（研究员）副教授（高工）讲师（工程师）其他郭东明、康仁科、高航、金洙吉张振宇、郭晓光董志刚、孙士勇朱祥龙（博士后）王宣平（博士后）学习简历及工作履历（竞聘副教授岗位人员须填写工程实践经历）：1999.09-2003.08大连理工大学工程力学系本科生2003.09-2009.12大连理工大学工程力学系硕博连读2010.01-2011.12大连理工大学机械工程博士后流动站博士后2011.01-至今大连理工大学机械工程与材料能源学部讲师参加工程实践时间：2012年7月至2013年6月工程实践所在企业中国北方车辆研究所工程实践研究项目长寿命高质量非圆

3、密封环结构设计和加工工艺研究15二、主要人才培养和教书育人贡献；重要学术贡献、创新成果、科学价值或社会经济意义；国内外同行专家评价（限两页）申请人自2010年1月参加工作以来，踏实、认真、努力工作，全面开展教学与科研两大工作，同时做好其它本职工作。1、教学与人才培养方面：作为助课教师承担了本科生课程《机械设计》教学工作，共48学时，此外，开设了新的研究生选修课课程《机械加工摩擦学》。在2012-2013学年中指导本科毕业设计（论文）3人，其中一人成绩为优，并被评为校优秀论文。参与校级教改面上项目1项。作为带队老师（组长）于2013年带领机械1004班、机械1005

4、班和机械1006班同学在沈阳机床集团进行生产实习。目前，指导硕士生1人，担任2013级机械1305班班主任。2、科学研究方面：负责和参与总项目数9项，实到款总经费合计1015.63万元，本人承担经费合计177.5万元;其中主持国家自然青年科学基金、博士后面上基金、博士后特别资助等3项纵向课题，总经费40万，其中本人承担40万。作为技术骨干参与国家重点基础研究发展计划（973计划）项目子课题、基金委重大专项“纳米制造的基础问题”重点项目和培育项目等5项纵向课题，总经费1317.63万，其中本人承担137.5万。共计发表和录用11篇论文，其中SCI收录4篇；EI收录1

5、1篇（5篇SCI共同收录，2篇ISTP共同收录）；申请3项国家发明专利。其中申请人负责的纵向项目包括：主持国家自然科学基金青年项目“低应力高效平坦化中的跨尺度接触与流动行为研究(资助号：51105057)”；主持中国博士后基金面上项目一等资助“基于多级粗糙表面软弹流润滑模型的ULSI平坦化机理研究（资助号：20100470069）”；主持中国博士后基金特别资助项目“多级粗糙表面的微观接触行为与固液两相流动（资助号：201104598）”。在科研方面，针对半导体制造和光学零件制造等领域对平面超低应力平坦化加工和复杂曲面零件高效加工等方面的需求，开展精密/超精密加工理

6、论与方法的研究，主要研究工作集中在化学机械平坦化跨尺度多场耦合问题、基于电诱导化学刻蚀的无应力平坦化新原理新方法、核主泵周向波度动压密封环的预变形平面研磨加工新方法等方面。（1）化学机械平坦化跨尺度多场耦合问题研究针对极大规模集成电路制造中的晶圆平坦化工艺与装备的核心问题，开展化学机械平坦化中的跨尺度多场耦合问题的研究，探究平坦化过程的深层机理，并实现数字化表达，为晶圆平坦化由依靠经验的制造转变为基于科学的定量可控制造提供理论依据。针对抛光垫微观结构对平坦化作用机制不清的研究现状，提出了微观流动与接触行为的数值模拟方法和试验研究方法，从微观尺度研究缺陷控制方法和抛

7、光液传输过程。针对目前晶圆尺度CMP流固耦合模型无法合理预测材料去除率分布特点的研究现状，提出了基于层状弹性体理论的CMP软弹流润滑模型，用高效的求解方法合理解释了流固耦合作用条件下的材料去除率分布规律。相关研究成果发表和录用7篇文章，其中SCI检索2篇（录用1篇），EI检索4篇（录用1篇），ISTP检索1篇。该方向研究，作为负责人主持国家青年自然科学基金1项、博士后面上基金1项和特别资助1项，作为技术骨干参与国家自然科学基金委员会重大研究计划“纳米制造的基础问题研究”培育项目1项”。15（2）基于电诱导化学刻蚀的无应力平坦化新方法无论在传统的IC制造领域还是新兴

8、的MEMs