aspex扫描电镜性能及优势

《aspex扫描电镜性能及优势》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在学术论文-天天文库。

1、Aspex扫描电镜性能及优势——Excel独家总代理，代表陈向民（MR.TIMCHEN）13922831896美国ASPEX扫描电镜-能谱仪系统产品的特点：高放大率图像，快速无损元素分析，强大计算机自动控制，使用成本低，样品分析导航。它是世界上分析速度最快的钢铁夹杂物分析仪，2008年获美国研发TOP100大奖。广泛应用于钢铁冶金、生物、制药、汽车、司法、航天、军事等领域。产品在美国、欧洲等地享有盛誉。主要技术性能指标的比较仪器型号AspexeXplorerSSX-550Inspect制造厂商美国Aspex日本岛津SHIMADZU美国FEISEM

2、扫描电镜主机分辨率高真空7nm（WD=8mm）3.5nm（WD=8mm）3.0nm（二次成像）4.0nm（背散射）低真空压力连续可调30nm（WD=8mm）30nm（二次成像）加速电压范围0.2-25kV0.5-30kV200V－30kV调整步宽连续可调10V/步连续可调放大倍数20~250,00020～300,000倍探测器SED,QuadBSED（标配）SED标配BSED选配SED标配，BSED标配真空系统涡轮分子泵+机械泵（无需冷却水及压缩空气）扩散泵+机械泵(需冷却水及压缩空气)涡轮分子泵+机械泵灯丝寿命平均>150小时（高达200-40

3、0小时）>100小时样品台移动（X,Y）80×100mm80×40mm50×50mm（Z）手动40mm最大50mm（手动25mm）(倾斜)-70～45°-30～60°-15～75°样品台驱动方式四轴马达台五轴马达台四轴马达台样品最大尺寸153mmΦ125mm284mmEDX能谱仪EDX装置结构EDX/SEM一体化EDX/SEM一体化Oxford分体探测器SDDED（UTW&BW）UTWEDX选配冷却方式液氮需液氮需液氮电子Peltier效应（无需液氮）EDX取出角35°35°能量分辨率133eV144eV检测元素(5)B~(92)U(5)B~(9

4、2)USEM/EDS控制模式1台PC1台PC2台PC操作软件GSR专用软件.符合国际标准ASTME1588同时分析SEM和EDS.全自动无人值守特征分析通用软件需两套不同软件通用软件显示器20”LCD17”SVGA19”LCD供电方式220V，50Hz无需另配变压器110V，50Hz需另配变压器230V，50hz重量300公斤450公斤综上所述，Aspex扫描电镜的主要优势在于：1、从硬件到软件，真正实现扫描电镜和能谱仪完全一体化。2、采用GSR专用分析软件，符合国际标准ASTME1588，单一软件平台同时分析SEM和EDS，实现全自动无人值守特

5、征分析。3、探测器配置齐全，SED,QuadBSED和SDDEDX均为标准配置。4、能谱仪采用SDD探测器，分析速度快；不需液氮，日常使用成本低。5、高真空系统的压力可调，不需要真空镀膜仪等。6、采用先进的涡轮分子泵实现真空，无需冷却水和压缩空气系统。7、电源适于中国使用，无需另配变压器。8、模块化设计，预封装式灯丝和镜筒（专利技术）可直接更换，无需技术人员上门服务。9、结构紧凑，体积小，重量轻。关于几点数据比较和技术问题的具体说明：1、关于电镜放大倍数扫描电子显微镜（SEM）的放大倍数是仪器各部件指标的叠加，是一个计算值，在实际工作中并无太大的

6、实际意义，原因是这样的：钨灯丝SEM的分辨率目前可达3.0nm，这一指标已经是该类仪器（钨灯丝）的极限值了。但根据钨灯丝SEM分辨率的标准，并不意味着放大倍数越高，分辨率就越好，所以SEM的放大倍数必须与实际条件相结合，选定一个合理的放大倍数。过高的放大倍数，只会导致“空放大”，而且图像会很不清晰。所有钨灯丝SEM的实际使用放大倍数都集中在700-800倍以上至10000-20000倍以下，超出这个范围，都无法充分体现出电镜追求“高真空、低加速电压条件下样品表面的形貌特征观察”的最根本初衷。所以，上述表格中放大倍数的差距仅仅是指标的差距，在实际使

7、用中各公司产品并无明显差异。另外，在实际GSR（射击残余物）分析中，一般弹痕颗粒都大于0.5微米，使用900倍的放大已足够，因此3.5nm的分辨率实际上是不需要的，在GSR分析中，7nm的分辨率都显得过大。2、SEM与EDX的组合Aspex和岛津公司的产品都是SEM和EDX由同一家公司生产，SEM和EDX使用同一套电脑控制。但岛津公司的EDX需要液氮冷却，而Aspex则采用SDD探测器，不需要液氮。3、真空系统的优势Aspex的真空系统采用先进的涡轮分子泵+机械泵，结构简单，性能优越，而岛津公司采用扩散泵则需要复杂的冷却水和压缩空气系统。与传统的

8、SEM正好相反，Aspex采用专利技术，将真空控制置于电子枪处，因此可以获得极其稳定的电子束，从而实现长时间、无人值守的自动化分析。稳定