2018年江苏高端装备研制赶超工程

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1、2018年江苏省高端装备研制赶超工程项目申报指南根据《江苏省高端装备研制赶超工程实施方案》，现制定2018年江苏省高端装备研制赶超工程项目招标指南如下：一、前沿新材料制造装备领域专题一：12英寸半导体硅单晶炉1.总体要求通过自主研发，掌握先进成熟的单晶生长工艺，开发出适用半导体集成电路产业链上游原料生产的设备，形成从设备到单晶生长热场与工艺的整套解决方案。单晶炉拉晶过程要求全自动控制，工艺稳定性好，能耗低。目标产品具有自主知识产权，整体技术达到国际先进水平，并符合行业现行相关标准。2.关键技术指标单晶棒

2、直径：≥12英寸；晶向：100，111，110；晶体直径控制范围：±2mm/1000mm；等径功率：≤65kW；热场：≥32英寸；一次装料量：≥400kg；主要热场部件寿命：180炉次。专题二：硅片智能在线检测分选设备1.总体要求通过自主研发，实现光伏硅片几何尺寸和线痕、翘曲、崩缺、表面瑕疵、隐裂、电性能等的高速检测和分选，可兼容砂浆、金刚线、树脂等不同切割工艺生产的黑硅、多晶硅、单晶硅硅片产品；采用人工智能深度学习技术，对海量产品瑕疵特征实现自动归纳和建模；与MES系统无缝对接，满足智能工厂数字化车间

3、一体化需求，实现数据管理与可视化分析统计功能，支持在线故障诊断与分析。目标产品具有自主知识产权，整体技术达到国际先进水平，本指南未列技术指标应不低于相关国家标准或行业标准要求。2.关键技术指标设备检测分选能力：≥8200片/小时；误判率：≤2%；漏检率：≤0.55%；碎片率：≤0.05%。专题三：高效异质结HIT-PECVD设备1.总体要求自主研发基片损伤低的高效频率匹配系统快速生成稳定等离子体；自主研发可双层生产的真空腔体，保持稳定、清洁的高效沉积成膜环境；腔体间连接传输工艺先进、生产流畅；控制系统的

4、界面友善、操作简单、数据采集方便。目标产品具有自主知识产权，整体技术达到国际先进水平，本指南未列技术指标应不低于相关国家标准或行业标准要求。2.关键技术指标设备产能：≥2800片/小时（生产N型M2单晶硅片时）；HIT电池平均效率：≥22%；HIT电池效率非均匀性：≤3%。专题四：分子束外延生长—扫描隧道显微镜(MBE-STM)集成设备1.总体要求研制兼具STM、MBE产品的所有功能的分子束外延生长—扫描隧道显微镜(MBE-STM)集成设备，通过原位生长、原位显微技术，对薄膜生长过程进行结构和形貌的表征

5、监控，实现在高真空环境下，在MBE内实施样品的制备，并将样品从MBE到STM进行精确传递，应用STM对样品表面进行原子分辨级别的实空间成像。目标产品具有自主知识产权，整体技术达到国际同类产品先进水平。2.关键技术指标1）扫描隧道显微镜（STM）的性能指标本底真空：≤2×10-10mbar；漏率：≤10-12mbar·L/s；X、Y方向分辨率：≤0.1nm（大气环境中、室温下，高定向热解石墨的原子分辨率）；Z方向分辨率：≤0.01nm（大气环境中、室温下，高定向热解石墨的原子分辨率）；X、Y方向最大扫描范

6、围：≥2μm×2μm；Z方向最大扫描范围：≥500nm；进针马达最大移动距离：≥6nm。2）分子束外延生长系统（MBE）的性能指标本底真空：≤2×10-10mbar；漏率：≤10-12mbar·L/s；样品温度：室温至1600℃（选配制冷模块可达-120℃至1600℃）。二、节能环保装备领域专题一：高效三元流煤气压缩机1.总体要求针对煤气介质压缩的防爆、防泄漏、防腐蚀要求，采用新型三元流单级高速离心式压缩机技术研制煤气压缩机，在变工况下实现高效、安全、稳定运行，满足大型煤气系统高效压缩需求。目标产品具有

7、自主知识产权，整体技术达到国际先进水平；同时应满足国家相关标准与法规的要求。2.关键技术指标轴功率：≥650kW；风量：≥65000Nm3/h；压升：≥2100mmAq（毫米水柱）；压缩机多变效率：≥80%；噪声：≤92dB(A)。专题二：磁悬浮离心式鼓风机1.总体要求自主研发大功率高速主动磁悬浮轴承与高效高速离心叶轮等核心零部件与鼓风机整机，有效提高功率重量比，实现节能降耗目的。目标产品具有自主知识产权，整体技术达到国际先进水平，并符合行业现行相关标准。2.关键技术指标功率：≥300kW；额定转速：（

8、12000～18000）r/min；出口压力：（30～140）kPa；效率：≥85％。三、能源与输变电装备领域专题一：新一代直流输电控制保护平台1.总体要求针对电网高压、大容量长途直流传输的实时动态监测、异常辨识、诊断分析、决策控制等控制保护的需求，通过自主研发，突破超高性能计算处理、超高速信号采集及传输、高可靠性硬件冗余设计等技术，提升平台计算能力、控制周期、数据吞吐、传输延时等方面的综合性能。目标产品具有自主知识产权，整体技术达到国际先