现代真空镀膜机电气控制系统的设计与实现_丁雪成

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1、电子测量与仪器学报2008年增刊现代真空镀膜机电气控制系统的设计与实现1222丁雪成冯震宇吴丽颖单允章（1.西南交通大学电气工程学院，成都610031;2.北京北仪创新真空技术有限责任公司，北京102600）摘要:真空镀膜机是在真空条件下制备薄膜于基体表面的设备。论述了真空镀膜机的发展趋势和总体构成。结合镀膜工艺流程，对电气控制系统软、硬件结构进行了论证分析和相应的设计。同时介绍了PLC的选型，最终实现了以欧姆龙PLC为核心的现代真空镀膜机控制系统。该电气控制系统具有手动/自动控制、故障报警等功能。系统经过了实验室和现场的两步调试，解决了潜在问题。最终生产实践证实了该系统的可行性，实

2、现了工艺要求，满足了客户需求。关键词:PLC；真空镀膜机；电气控制中图分类号：TP273；TB43文献标志码：BDesignandImplementationofModernVacuumCoatingMachineElectricControlSystem1222DingXuechengFengZhenyuWuLiyingShanYunzhang(1.SchoolofElectricEngineering，SouthwestJiaotongUniversity,Chengdu610031,China;2.BeijingBeiyiInnovationVacuumTechnologyCO

3、.,LTD.Beijing102600,China)Abstract:Thevacuumcoatingmachineisakindofequipmentwhichcoatsfilmonthesurfaceoftheobjectinthevacuumcondition.Thedevelopmenttrendandoverallconstitutionofvacuumcoatingmachineisintroduced.Combinedwithfilmcoatingtechnologicalprocess,ademonstrationanalyzingandcorrespondingde

4、signtothestructureoftheelectriccontrolsystemsoftwareandhardwarehavebeendiscussed.Atthesametime,theselectionofthePLCisintroduced.ItisrealizedthatOMRONPLCisthecenterofcontrolsystemofmodernvacuumcoatingmachine.Theelectriccontrolsystemhasthefunctionofmanual/automaticcontrol,givinganalarmandprotecti

5、onwhenthesystemisoutofcontrol,andsoon.Somepotentialproblemshavebeensolvedbylabtestingandfielddebugging.Finally,thefeasibilityofthesystemisconfirmedbyproductivepractice,soitcanrealizethetechnologicalrequirementandsatisfycustomerdemand.Keywords：PLC；vacuumcoatingmachine；electriccontrol.真空镀膜是改变物体表面

6、物理化学性质的表程控制器（ProgrammableLogicController，PLC）[1]面处理技术，也属于气相沉积技术。如今，应用为核心的电控系统，抗干扰强，布线简单，更改或领域对真空镀膜机的发展提出更高要求，体现在以增加功能容易，维修和检修都很方便，摆脱了原控下方面：（1）伴随工业的快速发展，更多领域要制系统采用很多的继电器-接触器来满足功能的增[3]求镀膜机大型化、智能化、自动化。（2）不同客加造成的臃肿繁杂、操作麻烦的缺点，达到了镀户要求不同的工作环境，干扰源也多变和复杂，真膜工艺更高要求，满足了不同用户的需求，是现代空镀膜机要适应不同的甚至是恶劣的环境(如高真空镀膜机

7、的发展趋势。这也是本文的研究目的之温、潮湿、多尘、强腐蚀、强电磁、高频干扰等)。所在。（3）客户要求更高的膜层质量，镀膜的种类也越来越多，设备必然要有相应水平的镀膜灵活性和稳1电控系统的硬件部分定性。（4）真空系统越来越复杂，要控制的真空泵和阀门很多，而且它们之间存在着严格的连锁关1.1真空镀膜机的总体组成[2]系，操作错误会引起严重后果。以上这些要求和真空镀膜机主要由镀膜室、真空系统、电控系功能主要由先进的真空镀膜机的电气控制系统来统及辅助设备等部分组成