partical测试操作指南

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1、PQAMonitor组工作手册Particle测试操作指南MSWang09/01/2004PQAMonitor/PQA/MPIE/DGN2一、工作概述尘粒度是无尘室重要因素之一。我们现在采用DAILY的方式监控C/R的空气环境质量,并及时反馈给相关部门,作为改善和提高C/R环境的原始依据.因此,对我们来讲PARTICLE虽小,意义却相当重要!二、测试仪器设备及使用方法1.仪器设备名称：ParticleCounter2400/24082.仪器设备配件：Particlecounter机身、探头、三角架、配套三角电源线、15米220V电源线3.仪器设备操作步骤：(1)检查探头与三角架、气管与S

2、ampleInletSensor(Particle入口)是否连接紧密。(2)将三角电源线一头接于机身，另一头接上220V电源。(3)打开Counter开关至“I”状态(关闭时为“O”状态)。(4)在Display/program面板，按键移至Date/time处，确认当前日期是否正确。否则按Program、更改日期，最后按Enter确认。(5)移动键至Period/Hold处，查看当前测试时间是否为1分钟。否则按Program、更改，应设为：00,01,00状态，最后按Enter确认。(6)在Printer面板，按Enable键，灯亮为可打印状态。(7)在Modes面板，按Mode键选择

3、Manual状态。按CountMode选择Cumulative状态。(8)按Run进行测试，此时Counting灯亮。若中断/停止测试按Stop键，Counting灯灭。否则，Counter会按Period/Hold设置的时间来确定何时停止测试。(9)重复步骤8进行下一个循环的测试。4.仪器设备各功能键解析：(1)Count：灯亮时，按Program可设置报警SPEC。当测试值超过此SPEC时，Counter左上角Limit灯会闪烁报警。(2)Location:灯亮时，显示屏呈现：000状态。操作者可按Program键输入数据表示该测试位置，此数据会同测试数据一同打印出，便于保存DATA

4、。(3)Cycle:设置自动循环测试次数，此功能与Modes面板中Automatic功能键同时使用生效。(4)Date/time：当前时间设置。(5)Period/Hold:测试时间限制。一般设为1分钟。(6)Manual:手动测试。即每测完一次就自动停止，需操作者发出指令再次测试。(7)Automatic:自动循环测试。测试次数以Cycles中设置的数据为准。(8)Concern:集中模式。按Cycles中设置的次数进行自动循环测试。每隔一秒钟更新一次Data集中存为StoredData，可通过Printer面板中Printstoreddata功能打印出。(9)Beep:当测试数据达到

5、Countlimit时，自动发出蜂鸣声，直到测试被停止或中断。(10)Cumulative:累积测试。灯亮时，则显示超过已设置尺寸的Particle总数。若设置有多种尺寸类型，则每种类型都会计算。(如类型0.3/0.5/1.0/5.0……)(11)Differential:灯亮时，显示不同两个尺寸之间的Particle总数。(12)Sensor:灯亮时，表示内部激光二极管元件受损或Sensor(传感器)受污染。(13)Airflow:灯亮时，表示通过传感器的空气流量过高或过低。(14)Run：开始测试。(15)Stop:中断、停止测试。(16)PaperFeed:按此键退出残余纸张。放入

6、新纸卷再按此键，打印机会自动引出纸卷，便于下次打印。5.仪器设备使用注意事项：(1)此Counter的安全操作环境：温度要求：12~29°C湿度要求：0~85%(2)此Counter不适用于在下列环境测试：含氢、氧等毒性物质的环境，可能会有爆炸的危险。没有用降压设备减压过的高压气体，所有Counter只适用于在大气环境下使用。不可在含水气的环境下操作，Counter会误认水气为Particle计数，传感器也会因此而受到损坏。(3)转移测试点时注意保护探头和三角支架，防止从高处跌落。(4)仪器出工场时要用无尘尼龙手套包好探头。(5)每班测试前用棉签沾HI-50清洁探头吸入口。三、Parti

7、cle测试操作程序1.无尘台测试测试桌面上10cm小于100测试灯管下20cmNoYes测试另一边小于2Filter检漏NoYes小于100完成NoYesYesok2.环境点测试根据LAYOUT找准测试点，按照常规方法测试。四、无尘台HEPAFILTER检漏程序(摘自DEI-474)1.将PARTICLE机电源打开，将显示数值设定为0.3um，并将alarm功能打开。2.将PARTICLE机集气口举起至离FILTER表面1英寸左右，