微电子技术--纳米发展论文

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1、510简论微电子技术--------纳米技术的发展摘要：本文以微电子技术发展和摩尔定律或将饱和为前引，对半导体纳米技术和硅材料纳米技术的重要性进行了简要的论述。并提出纳米技术的发展以及成熟将是系统集成芯片技术的核心之一，同时，碳纳米材料获奖代替硅纳米材料，具有更好的集成性，继续维持摩尔定律，推动微电子技术继续向前发展。关键词：微电子技术，摩尔定律，硅材料，纳米技术BriefDiscussiononmicroelectronicstechnology------ThedevelopmentofnanotechnologyBY:WANGJin

2、g’yuHunanUniversityInformationScienceandEngineeringHunanChangsha410000.ChinaAbstract:DevelopmentofmicroelectronictechnologyandMoore'sLaworsaturatedcit,abriefdiscussionontheimportanceofnanotechnologyandsiliconsemiconductormaterials,nano-technology.Andproposeddevelopmentand

3、maturityofnanotechnologywillbeoneofthecoreofthesystemintegrationchiptechnology,andatthesametime,carbonnanomaterialswinninginsteadofsiliconnano-materials,withbetterintegration,thecontinuationofMoore'sLawtopromotethecontinueddevelopmentofmicroelectronictechnology.Keywords:m

4、icro-electronicstechnology,Moore'sLaw,siliconmaterials,nanotechnology正文：自从1947年发明晶体管、1958年第一块半导体集成电路诞生，微电子技术经过近半个世纪的高速发展，向人们显示出微电子无所不在，无所不能。而随着科技的迅猛发展，以微电子技术为基础的信息技术，电子技术，自动化技术及计算机技术日渐融合，成为当今社会科技领域的重要支柱技术，几乎任何领域的研发工作都与这些技术紧密联系，而他们的相互交叉，相互渗透，也越来越密切。然而这些领域的发展又都与微电子技术领域的发展息息

5、相关。随着科技的发展，微电子已成为国民经济和人类不可短缺的“粮食”。手机，电脑，智能家电已越来越成为人类生活的必须品。而这些东西核心便是芯片。而众所周知，自从IC诞生以来，芯片的发展基本上遵循了Intel公司创始人之一的GordonE.Moore1965年预言的摩尔定律。该定律说：芯片上可容纳的晶体管数目每18个月便可增加一倍，即芯片集成度18个月翻一番，这视为引导半导体技术前进的经验法则。换句话说，工艺技术的进展对IC集成度的提高起到乘积的效果，使得每个芯片可以集成的晶体管数急剧增加.。对于21世纪初微电子技术仍将以尺寸不断缩小的硅基C

6、MOS工艺技术为主流，并且随着IC设计与工艺技术水平的不断提高，集成电路规模越来越大，复杂程度越来越高，已经可以将整个系统集成为一个芯片。目前已经可以在一个芯片上集成108~109个晶体管，而且随着集成电路制造技术的发展，21世纪的微电子技术将从目前的3G时代逐步发展到3T时代。正是这种需求牵引和技术推动的双重作用下，出现了将整个系统集成在一个集成电路芯片上的系统芯片概念，当然，需要注意的是系统芯片与集成电路的设计思想是不同的。21实际系统集成芯片将成为发展的重点，它是微电子设计领域的一场革命。而对于电子计算机来说，系统集成芯片的革命更是

7、影响着其命脉的走向。近几十年来，计算机已历经了几代的更迭，而代代更迭都是以存储或处理信息的基本电子学单元的尺度变化为标志的。也由于摩尔定律的终将饱和性，从80年代开始，科学家就开始探索特征尺寸为纳米量级的电子学，纳米电子学主要研究以扫描隧道显微镜为工具的单原子或单分子操纵技术。这些技术都有可能在纳米量级进行加工，目前已形成纳米量级的、信息存储器，存储状态已维持一个月以上，希图用此技术去制作16GB的存储器。德国的福克斯博士等更是制出了原子开关，达到了比现今芯片高100万倍的存储容量，获得了莫里斯奖。不难看出系统集成芯片的革命终其所需，需要

8、基础纳米技术的发展以及成熟。如果说微米尺度的加工和结构材料是当代微电子工业的支柱，那么纳米技术（包括制备和加工等）和纳米材料将成为下一代微电子学器件的基础。在纳米科技发展中，纳米材料是它的前导