毕业论文静电放电（esd）器件的模拟与研究

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1、编号本科生毕业设计（论文）题目：静电放电（ESD）器件的模拟与研究物联网工程学院微电子学专业学号0301100124学生姓名刘素珍指导教师梁海莲二〇一四年六月摘要ESD(静电放电)是影响集成电路可靠性的主要因素之一，存在于生产到使用的每一个环节，已经成为开发新一代工艺技术的难点，对ESD的研究也因而越来越受到重视，仿真工具在ESD领域的应用使得ESD防护设计的研究便得更为便利，大大缩短了研发周期。本文详细阐述ESD的来源、造成的危害以及讨论如何测试集成电路的防静电冲击能力，又基于SentaurusTCAD平台，展开了对ESD防护器件的研究，

2、研究内容包括：1.研究了网格定义在工艺仿真中的重要性。2.深入分析器件仿真中的物理模型及模型函数，并对描述同一物理机制的的各种不同模型展开对比分析。3.深入分析了ESD过程中的物理机制及其ESD仿真中描述这些物理机制所要用到的物理模型。4.分析ESD仿真中各种收敛问题的产生原因，针对每一种不收敛状况提出相应的解决方案。关键词：静电放电，SentaurusTCAD，静电放电模型，网格，器件仿真，双击型晶体管，可控硅目录ABSTRACTESDisoneofthemostimportantreliabilityproblemsofICproduc

3、tswhichliesineveryflowofICproduction，anditisalsooneofthemostdifficultproblemsofdevelopingnewgenerationtechnology，therefore，theresearchonESDprotectiondesignhasattractedmoreandmoreattention.TheapplicationsofsimulationtoolsonESDareamakethedesignofESDprotectiondevicesmoreconve

4、nient,andgreatlyshortenthedevelopmentcycle.ThispaperparticularlyexplainshowESDcomesfrom，whatharmwillbring，howtotesttheintegratedcircuit'sabilitytopreventfromthestatic，alsoconcentratesonthesimulationofESDprotectiondevices,basedontheSentaurusTCADplatform.Andthemaincontentoft

5、hispaperinclude:First,thispaperpointsouttheimportanceofmeshdefinitioninprocesssimulation.Second,physicalmodelsandfunctionsusedindevicesimulationareanalyzed.Third,thephysicalmechanismsrelatedareinvestigatedwhenESDhappens,andtherelevantphysicalmodelswhichshouldbechosenindevi

6、cesimulationarelisted.Forth,convergenceproblemscausedbydifferentreasonsarediscussed,andthesolutionsarepresented.Keyword:ESD；SentaurusTCAD；ESDmodels；Grid；Devicesimulation；BJT；SCR5353目录目录第1章绪论11.1课题的研究背景及意义11.2国内外概况11.3本课题的研究内容21.4课题的研究方法和步骤2第2章总体方案设计及设计软硬件环境概述32.1总体设计方案32.2

7、单片机概述32.3AT89S52单片机简介42.3.1AT89S52单片机概况42.3.2AT89S52引脚功能42.4软件编程环境62.4.1keil软件开发系统介绍62.4.2KeilC51开发系统的主要功能65353目录2.4.3Keil运行界面及操作步骤7第3章GSM模块TC35概述113.1GSM网络介绍113.2TC35模块113.2.1TC35模块概述113.2.2TC35主要技术指标及引脚功能123.2.3TC35数据接口123.2.4TC35系统结构133.3AT指令及PDU工作模式133.3.1AT指令简介133.3.2

8、短消息工作模式143.3.3PDU包协议格式143.3.4短消息的编码方法15第4章系统软件设计174.1程序编写思路174.2程序流程图174.2.1主程序流程图184.2.2