用光电导开关产生稳幅！量级时间晃动超快电脉冲的研究！

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1、第6(卷第’期"$$%年’月物理学报LD:.6(，MD.’，4?/A，"$$%!$$$5("Q$O"$$%O6（($’）O!#!’5$6+HR+GSNIKH+IKMKH+""$$%H<9/.G

2、室，西安#!$$’&）（"$$(年#月"&日收到；"$$(年&月""日收到修改稿）报道了用半绝缘)*+,光电导开关产生电压幅值稳定、-,量级时间晃动超快电脉冲的实验结果.分别用/,，-,和0,激光脉冲触发)*+,光电导开关的结果表明，在低电场偏置下，电极间隙为!11的)*+,光电导开关可以产生触发时间晃动小于!$-,、电压幅值变化小于!2"3、亚/,量级脉冲宽度的稳定超短电脉冲.分析了触发光脉冲能量起伏对光电导开关产生超快电脉冲电压幅值的影响，指出通过控制光电导开关的触发条件和对开关的优化设计，就可以获得电压幅值稳定、

3、时间晃动在-,量级的超快电脉冲.关键词：光电导开关，超快电脉冲，电压幅值稳定性，时间晃动#$%%：$’’$4，#"%$的能量有&3—!63的变化，这将导致光电导开关!2引言输出电压幅值的变化，对精同步控制技术应用带来不利影响.光电导开关芯片材料对触发光的响应速随着雷达、通信、激光核聚变等技术领域的迅速度决定开关的触发时间晃动，触发光脉冲的能量起发展，对超快电脉冲发生系统及其开关技术提出了伏影响着光电导开关输出电脉冲电压幅值的变化幅更高的要求.半导体光电导开关（-

4、幅值稳定的超快,A19CD/B?C@DF,;9@C

5、形等领域有着广泛发下的瞬态特性、特别是开关输出电压幅值的稳定的应用前景.近年来GHIIJ,的研究进展十分迅速，性和时间晃动性进行了实验测试和分析，得到了触光电导开关的芯片材料已由I9改为)*+,或K/G发时间晃动小于!$-,、幅值变化小于!2"3的稳定［!—(］等，我们用半绝缘)*+,材料经过后处理等工艺超短电脉冲，为光电导开关在超快精同步控制技术研制了横向型)*+,超快光电导开关，对开关的线性中的实用化提供了可靠的根据.和非线性工作模式以及工作机理作了细致研究，并进一步分析了开关的瞬态性能和输出超短电脉冲的".开关结

6、构和基本原理［%—!!］功率容量与开关有关参数之间的关系.在高功［!"］率激光快速点火等精同步控制技术应用中，需要用GHIIJ,分横向和纵向两种基本类型.横向开开关输出电压’L且幅值变化小于"3、触发时间晃关易于制作，有较大的光照面积和电导通道.半绝缘#&动小于!$-,的超快电脉冲，由于脉冲激光器、特别)*+,材料（其电阻率可达!$—!$!·C1，击穿场强是MB：N+)激光器本身存在能量涨落，输出光脉冲达"6$PLOC1）具有优良的电、光性能，是制作光电导!国家高技术研究发展计划（批准号：&’(5&$%5"$$"++&

7、%""!!）和国家自然科学基金（批准号：6$$##$!#，!$(#’$"6）资助的课题.7851*9:：,;,<9=1*9:.>*?@.AB?.C/9期施卫等：用光电导开关产生稳幅K%量级时间晃动超快电脉冲的研究-/-/开关的理想材料!本文选用的半绝缘"#$%作为光电材料中产生电子E空穴来实现对材料电导率的调制，导开关芯片材料制作横向&’(()%，其暗态电阻率!在直流偏置条件下，无光照时开关因高阻而呈现关/-234*+,-.!·01，载流子浓度为!!-.01，电子迁断状态，若触发开关的激光脉冲能量适当，则开关受5移率"

8、*++..0167·%，芯片的厚度为.8911，外形到光脉冲作用时其导通阻抗远小于传输线的特征阻尺寸为:8.11,98.11；用电子束蒸发工艺淀积厚抗，"#$%开关处于导通状态!光脉冲每次照射处于度为:..;1的$<6"=6>?合金电极，经退火处理与直流偏置的"#$%开关，开关便输出一个电脉冲!在"#$%晶片形成欧姆接触，电极尺寸