真空蒸发镀膜样品架设计

《真空蒸发镀膜样品架设计》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在学术论文-天天文库。

1、毕业设计论文设计（论文）题目真空蒸发镀膜样品架设计学院名称机械与汽车工程学院专业（班级）机械设计制造及其自动化09-10班姓名（学号）李东霖20090736指导教师方应翠系（教研室）负责人干蜀毅合肥工业大学本科毕业设计：真空蒸发镀膜样品架设计目录1绪论11.1真空镀膜的意义11.2真空镀膜技术在国内外的发展11.3蒸发镀膜31.4课题研究背景41.5设计要解决的问题42设计方案的选择52.1真空镀膜样品架种类52.1.1球面行星传动工件架52.1.2摩擦传动工件架62.1.3齿轮传动工件架62.1.4拨杆传动工件架72.1.5其他类型的工件架82.2膜厚均匀

2、性的计算92.3真空系统方案132.4样品架方案152.4.1多源蒸发162.4.2单源进给162.4.3基片蒸镀时间控制173配置真空系统183.1镀膜室壳体壁厚的确定183.2真空室选泵的计算183.2.1粗算主泵抽速183.2.2流导计算183.2.3精算主泵抽速193.2.4前级泵的计算193.2.5抽气时间的计算20合肥工业大学本科毕业设计：真空蒸发镀膜样品架设计3.2.6计算分子泵的抽气时间213.3电机的选择22结论23谢辞24[参考文献]25合肥工业大学本科毕业设计：真空蒸发镀膜样品架设计真空蒸发镀膜样品架设计摘要：本文的主要内容是对本次真空

3、蒸发镀膜样品架设计的说明。在文中不仅列出了镀膜设备中使用的几种常用样品架，还介绍了几种新型的样品架。本次设计的研究对象是对镀膜产品膜厚的控制，在给出合理的传动结构来保证镀膜均匀性的同时，保持基片架和蒸发源的相对位置，利用可逆同步电机控制各个部位的挡板，来实现控制基片蒸镀的时间，从而得到不同膜厚的基片。关键字：蒸发镀膜样品架相对位置25合肥工业大学本科毕业设计：真空蒸发镀膜样品架设计VacuumevaporationcoatingsampleholderdesignAbstract：Themaincontentisthevacuumevaporationoft

4、hisdescriptionofthesampleholderdesign.Notonlyinthetextlistsseveralcoatingequipmentcommonlyusedinthesampleholder,alsointroducedseveralnewsampleholder.Thedesignofthestudyistocontrolthefilmthicknesscoatingproducts,thetransmissionstructuretogiveareasonableassuranceofuniformityofcoating

5、whileholdingthesubstrateholderandtherelativepositionoftheevaporationsource,areversiblesynchronousmotorcontrolvariouspartsoftheblockboard,toachievecontrolofthesubstratedepositiontime,therebytoobtainasubstratewithdifferentthickness.Keywords:evaporationcoatingspecimenholderRelativepos

6、ition25合肥工业大学本科毕业设计：真空蒸发镀膜样品架设计1绪论1.1真空镀膜的意义真空镀膜技术是真空应用技术的重要组成部分，是一项综合的、应用范围很广的先进技术，是许多前沿学科发展的基础技术之一，同时也是当今信息时代中许多高新技术发展必不可少的手段。这一技术目前之所以得到飞速发展是因为它不仅仅是单一的真空应用技术，而是以真空技术为基础，利用物理或化学的方法，并且吸收了电子束、分子束、离子束、等离子体、射频、磁控等一系列新的技术，从而为科学研究与生产提供了膜层涂覆的新工艺，新技术的结果。用真空镀膜技术代替传统的电镀工艺，不但能节省大量的膜材和降低能耗，而

7、且还会消除湿法镀膜中所产生的环境污染。因此国外在钢铁零件涂覆防腐层和保护膜方面，已采用真空镀膜工艺来替代电镀工艺，在冶金工业中，为钢板和钢带加镀铝防护层已很普遍。在机械制造工业中，真空镀膜工艺用于改变某些加工工艺和节约贵重的原材料，再如汽车制造业中采用塑料制品金属化零件代替各种金属零件，即减轻了汽车的重量又节约了燃油的消耗。在玻璃上镀滤光膜和低辐射膜，可使阳光射入。而作为室内热源的红外辐射又不能通过玻璃辐射出去，这在高纬度地区也可以达到保温节能的目的。真空镀膜技术及设备在当今和未来都拥有十分广阔的应用领域和发展前景特别是在制造大规模集成电路的电学膜：数字式纵

8、向与横向均可磁化的数据纪录储存膜：在能充分展示和应用