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《hgcdte／cdznte液相外延材料的倒易空间图研究》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在教育资源-天天文库。
1、HgCdTe／CdZnTe液相外延材料的倒易空间图研究第11卷第1期2005年3月功能材料与器件JOURNALOFFUNCTIONALMATERIALSANDDEVICESVo1.11,No.1March,2005文章编号:1007—4252(2005)01—0112—05HgCdTe/CdZnTe液相外延材料的倒易空间图研究王庆学,魏彦锋,方维政,杨建荣,何力(中国科学院上海技术物理研究所半导体材料与器件研究中心,上海200083)摘要:采用高分辨x射线衍射的倒易空间图研究了HgC(1Te/CdznTe(一0.044%品格失配)液相外延材
2、料界面处品格结协,结果显示,通常使的l()J导的碲镉汞液相外延材料的晶格相对碲锌镉衬底已处于完全弛豫发态,并且外延层和衬底的品向发生了0.01.的偏离,但是,由于外延层中存在着组分梯度以及衬底和外延层热膨胀系数存在着差异,界面处外延层中仍存在着应力和应变.对称衍射和非对称衍射的实验结果均显示外延材料的例易空间图沿垂直于散射矢量方向有所扩展,这一结果表明晶格失配的弛豫使得界面处外延层的晶体结构呈镶嵌结构.实验也发现,外延层的非对称衍射倒易空间图的扩展偏离散射矢量方向,根据弛豫线模型,这也是由于界面处外延层存在组分梯度和应变梯度所造成的.关键词
3、:HgCdTe/C(1zl1Te;倒易空问图;弛豫线模型中图分类号:TB43文献标识码:AReciprocalspacemapsofHgCdTe/CdZnTeheterostructuresgrownbyliquidphaseepitaxyWANGQing—xue,WEIYah—feng,FANG,ci—zheng,YANGJian—rong.HELi(ResearchCentel't'ol'Ach"n(:edMmerialsand1)evi~'es,ShanghaiInstituteof'TechnicalPhysics.ChineseA
4、cademyof"Sciences,Shanghai200083,China)Abstract:HgCdTe/CdZnTehetel'ostl'uctul'eswith一0.044%latticemismatchgrownbvLiquidPhaseEpitaxywerestudiedbyl'eciprocalspacemapsof'high1.esolutionX—raydiffi?action.TheresuItsshowthatHgCdTeepilaye~'withmorethan10mthicknessisfullyrelaxedan
5、dtheO1?ientationofepilayerhas0.01.tiltcomparedwiththatofthesubstrate.However,duetothecompositiongradientofHgCdTeeDi—layerandthedifferenceof'thecoefl'icientsoftherlnalexpansionbetweenHgCdTeepilayerandCdZnTesubstrate,stressandSll'ainstillexistinHgCdTeepilayel'neal'theinterfa
6、ce.Inaddition.itisobservedthatinthereciprocalspacemapsbotht'ol'thesymmeh'icandasymmetricdiffractionsthemaDsofHgCdTeepilayerhaveabroadeningpel'pendiculartoscattm'ing,,ectol'sofl'eciprocalspacemaDs.Itmeansthatthemosaicstructul'eot'HgCdTeepilaym'is[bl.meddtl1gil1e1.elaxationp
7、rocess.Ontheotherhand.thedeviationofthebroadeningdil'ectionof'reciprocalspa(?emapsinasymmetricdiffractionfromscatteringvectorsisfoundanditcanbeexplainedbythegradientsofcompositionandstraininHgCdTeepilaYerbasedontherelaxationJillem(1r】eJ.—.————.K—.—e——y—.——w———o..r——d——s——:
8、———.H———g——C———d——T——e———/——C———d—Z——n——T———e———h——e——t—e——r——o——s—t—r——u——c——t—u——r——e——
