一次清洗减薄量监控作业流程

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1、浙江元众新能源有限公司一次清洗减薄量监控操作规程文件编号版本号实施日期页次文件修订记录序号修改内容修改人日期版本1首次发行谢超凡浙江元众新能源有限公司一次清洗减薄量监控操作规程文件编号版本号实施日期页次目的：对一次清洗减薄量进行监控，确保制绒质量。1.适用范围：156多晶一次清洗工序2.责任：本工艺说明由工艺部制定修改，生产人员按照要求执行。3.设备：电子天平5.操作步骤：5.1在电脑上打开“一次清洗减薄量监控”表格，找到当日日期及时间，在对应表格中填写硅片厂家、批次、硅片型号信息，为数据记录做好准备。5.2在已拆盒的原硅片中取8片，层叠整齐后置于电子天平内，待数值显示稳定后读取

2、数值，输入到表格“清洗前”一栏中，保存数据。5.3将称重后的硅片按每道一片进行放片，同时通知下料人员注意收片。为了区分出称重片，在放置这8片硅片时要与其他正常生产的硅片隔出一定距离，使下料人员能够区分出这8片。5.4到设备主操作台处读取制绒参数，包括制绒槽设定温度、实际温度、滚轮速度、称重片数的信息，将数据分别填入对应表格中。5.5待8片称重片传出设备后，下料人员收集好，到电脑桌处进行再次称重，将读到的数据填入“清洗后”一栏中，表格会自动算出减薄量。称重作业完成。称重前务必保持电子天平处于水平状态，可观察水平浮泡进行调整。5.6电子天平操作说明：5.6.1电子天平定置后，接通电源

3、，调节水平调节钮，使水平浮泡置于中间圆心处。5.6.2待“OK”指示灯常亮绿色后，按TAREPOWER清零，使界面显示0.00，此时电子天平准备好，可以进行称重操作。6.减薄量SPEC线：6.1控制线：一次清洗工序减薄量控制线CL=4.0μm，控制上限UCL=4.2μm，控制下限LCL=3.8μm。6.2规格线：一次清洗工序减薄量规格上限USL=4.5μm，规格下限LSL=3.5μm。6.3控制要求：6.3.1换班后的第一次称重，减薄量不小于3.6μm时即可上片。6.3.2浙江元众新能源有限公司一次清洗减薄量监控操作规程文件编号版本号实施日期页次生产过程中减薄量测得数据超出控制线

4、，生产继续，并及时通知工艺人员进行确认调整，使减薄量数据符合控制线要求。6.3.3生产过程中减薄量测得数据超出规格线，马上停止生产，并通知工艺人员，待工艺调整正常后方可继续生产。7.监控频率7.1换班次生产前要进行本班第一次称重，生产过程中每隔一个小时进行一次称重。7.2生产中途停产超过半个小时以上，恢复生产后进行称重。7.3换片源厂家时要进行一次称重。8.记录表单一次清洗减薄量监控表