京东方洁净技术培训课件.ppt

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1、京东方集团B3QA洁净间管理目录基本概念洁净技术Cleanroom基本概念洁净室的分级洁净室的类型和高效空气过滤洁净室内的服装要求惰性粒子的来源与传播不同洁净级别的服装选择洁净服的面料洁净服的清洗和更换口罩和手套洁净室的清洁洁净室的清洁方法清洁效果测试Smockroom出入行为规范Smockroom出入的一般规定Smockroom入室/出室顺序无尘服穿戴顺序Cleanroom内禁止事项LinePatrol*LinePatrol概述*LinePatrol中的基本概念*LinePatrolFlow*NCR发行流程*LinePatrol标准基本概念--什么是洁净

2、室技术?洁净室技术洁净室设计与建造洁净室测试与监测洁净室运行标准平面布置图建筑材料动力设施—水、气将洁净室置于工作状态测试新洁净室达到设计要求And测试以确保洁净室仍然达到设计要求监测洁净室的状况人员、设备、材料入场防止产品污染的洁净室纪律洁净服、包括手套、口罩等洁净室的清洁与设备清洁凡是能将空气悬浮粒子(气溶胶)计算浓度保持在一定范围的房间,或在必要时,将空气微生物的数量保持在一定范围内的房间,可称作洁净室或洁净房(如)手术室,制药厂,半导体,电子材料制造厂,LCD制造厂等粒子?粒子是固体、液体、多相物质或微生物,大小为0.005~100微米。现在对洁净

3、室分级时,一般以0.1~0.5微米的下限粒径粒子为准。肉眼可见的粒径大约50µm。基本概念--CleanRoom是什么?原子分子DNA细菌红细胞动植物细胞1nm10nm100nm10µm100µm0.2nm1nm1~10nm60~70nm5µm10~100µm纳米科技微电子、微生物技术随着纳米技术的发展对洁净室等级划分标准有修订的要求。粒子?人发直径100µm可见粒子50µm0.5µm的粒子你看见了吗?基本概念--洁净室分级标准洁净室分级标准1961年美国空军于颁布第一个专为洁净室撰写的标准称为“技术手册(T.O.)00-25-203”。1963年发明单向

4、流理念的圣地亚公司撰写了第一个FS209标准,成为包括ISO14644-1在内的大多数国际标准的基础。1999年国际标准化组织出版了洁净室的系列标准ISO14644-1。美国在2001年废纸FS209E开始实施ISO标准,俄罗斯于2000年开始实施ISO标准。尘埃浓度是衡量洁净效果的最直接、最重要的参数,通常称为洁净度。它是指单位体积的空气中含有大于0.5μm规定为直径的尘埃数量。基本概念--洁净室的分级洁净室内的服装要求区分人员行动粒子大小在0.3μm以上粒子大小为0.5μm以上普通工作服防尘服普通工作过服防尘服站着的时候54,30013,00033,9

5、005,580坐着的时候44,80014,80030,2007,420臂部的上下运动445,00049,000298,00018,600弯曲上体时392,00039,300224,00021,200臂部自由运动347,00052,000224,00020,600头部的上下运动123,00022,10063,10011,000上体扭动时224,00031,40085,00014,900身体弯曲时416,00062,500312,00037,400缓行时424,00092,100280,00044,600步行538,000157,000292,00056,00

6、0跑步时UncountableUncountableUncountableUncountable化妆品产生的灰尘数量(0.05μ以下大小)化妆品的种类备注口红1.100.000.000个*.在湿气重的地方,会有更多的灰尘从人体上落下。粉600.000.000个腮红270.000.000个眼影87.000.000个睫毛膏3.000.000.000个微粒产生的数量微电子工业微污染源工艺过程,25%设备,25%气体化学品,8%空气,8%人员,35%1--惰性粒子的来源与传播途径:人员散发的粒子数量人与人之间差异很大,但人的活动越大散发的粒子就越多;还要看所穿着的

7、服装。散发粒子的范围一般是大于等于0.5µm的粒子几十万(活动状态)~千万(剧烈活动)/分钟。人大约每天脱落6~13g粒子,一年约3.5kg。皮肤粒子来自里面服装的例子来自洁净服表面的粒子来自嘴与鼻子的粒子洁净服下面的粒子经过面料上的孔经过脖子等有开口处经过破损处室内空气人员散发的粒子及带微生物粒子的来源于途径洁净室内的服装要求粒子的来源与释放机制皮肤:人体皮肤每天大约脱落10E9个皮肤细胞,皮肤细胞大小约33µm*44µm,以完整的皮肤细胞或细胞破损碎片形态脱落,大量皮细胞会散布到空气中,构成主要的悬浮污染源。皮肤表面照片,线是细胞边缘轮廓,液滴是汗棉布

8、料显微镜照片(放大100倍)表面有很多天然纤维断裂的片段洁净服下的

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