毕业设计（论文）-太阳能电池片湿刻蚀的应用

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1、苏州市职业大学毕业设计（论文）说明书设计（论文）题目太阳能电池片湿刻蚀的应用系电子信息工程系专业班级08电气2姓名学号指导教师年月日25太阳能电池片湿刻蚀的应用摘要湿刻就是湿法刻蚀，它是一种刻蚀方法，主要在较为平整的膜面上刻出绒面，从而增加光程，减少光的反射，刻蚀可用稀释的盐酸等。湿法刻蚀是将刻蚀材料浸泡在腐蚀液内进行腐蚀的技术。它是一种纯化学刻蚀，具有优良的选择性，刻蚀完当前薄膜就会停止，而不会损坏下面一层其他材料的薄膜。着重研究各种化学品的流量对电池片刻蚀深度的影响。首先查看各种资料，掌握本课题相关的知识:通过对氢氟酸，硝酸，盐酸，氢氧化钠等化学品流量，温度，湿度等对太阳能电池片的影响。

2、通过技术软件分析，优化工艺参数，得到最优参数。关键词：湿法刻蚀；腐蚀；流量；太阳能电池25SolarcellwetetchingapplicationAbstractWetcarvediswetetching,itisakindofetchingmethod,mainlyintherelativelyflatmembranesurface,therebyincreasingsuedecarvingoutprocess,reducelightlightreflection,etchingavailabledilutehydrochloricacidetc.Wetetchingiswilletc

3、hingmaterialssoakedinamordantwithinthecorrosionoftechnology.Itisakindofpurechemicaletching,hasexcellentselectivity,etchingthecurrentfilmwillcease,andwon'tdamagedfollowingalayeroffilmtoothermaterials.Researchonvariouschemicalstotheflowtheinfluenceofbatterypieceetchingdepth.Firstcheckallkindsofmateri

4、al,graspsthistopicrelevantknowledge:byhydrofluoricacid,nitricacid,hydrochloricacid,sodiumhydroxideetcchemicalsflow,temperature,humidityandsoontheinfluenceofsolarcell.Throughtechnologysoftwareanalysis,optimizationofprocessparameters,obtainoptimalparameters.Keyword:wetetching;Corrosion;Flow;Solarbatt

5、ery25目录摘要1目录3第一章前言5第二章湿法刻蚀及成长工艺82.1湿法刻蚀的基本过程82.2主要的化学反应82.3湿法刻蚀的生长工艺82.3.1湿法刻蚀的定义82.3.2湿法刻蚀的原理8第三章刻蚀的应用103.1湿法刻蚀硅103.2湿法刻蚀二氧化硅113.3湿法刻蚀氮化硅113.4湿法刻蚀铝123.5图形生成的LIFT－OFF技术123.5.1Lift-off的原理123.5.2Lift-off的好处133.5.3为lift-off而作的模板层133.5.4lift-off工艺过程13第四章刻蚀的重要参数154.1刻蚀速率154.2刻蚀剖面154.3刻蚀偏差154.4选择比154.5均匀

6、性164.6残留物164.7聚合物174.8等离子体诱导损伤174.9颗粒沾污17第五章湿法刻蚀工艺技术185.1简述185.2湿法刻蚀185.3湿法刻蚀的过程185.4二氧化硅的湿法刻蚀185.4.1影响腐蚀质量的因素195.5硅的刻蚀1925第六章刻蚀技术新进展216.1四甲基氢氧化铵(TMAH)湿法刻蚀216．2软刻蚀216.3终点检测226.3.1光学放射频谱分析226.3.2激光干涉测量226.3.3质谱分析法23参考文献24致谢2525第一章前言湿刻就是湿法刻蚀：是刻蚀的一种方法,其他的有干刻蚀，等离子刻蚀等。湿法刻蚀是利用高能量，极短脉冲的激光，使物质瞬间被汽化，不伤及周围物质

7、，并可精确的控制作用深度。因此，使刻蚀精确。湿法刻蚀是利用合适的化学试剂先将未被光刻胶覆盖的晶片部分分解，然后转成可溶的化合物达到去除的目的。这种刻蚀技术主要是借助腐蚀液和晶片材料的化学反应，因此我们可以借助化学试剂的选取、配比以及温度的控制等来达到合适的刻蚀速率和良好的刻蚀选择比。一般湿法刻蚀是各向同性的(isotropic)，一次再把光刻图形转移到晶片上的同时，腐蚀也会向着横向进行。硅材料中含有大量的杂质