keithley(吉时利)4200A-SCS中文技术手册.pdf

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1、4200A-SCS参数分析仪4200A-SCS参数分析仪产品技术资料主要性能指标I-V源测量单元(SMU)●●±●210●V/100●mA或±●210●V/1●A模块●●100●fA测量分辨率●●选配前端放大器提供了0.1●fA测量分辨率●●10●mHz●-●10●Hz超低频率电容测量●●四象限操作●●2线或4线连接C-V多频率电容单元(CVU)●●AC阻抗测量(C-V,●C-f,●C-t)●●1●kHz●-●10●MHz频率范围●●±●30●V●(60●V差分)内置DC偏置源，可以扩展到±●210●V●亲

2、眼见证创新！4200A-SCS是一种可以量身定制、全面集成(420●V差分)的参数分析仪，可以同步查看电流电压(I-V)、电容电压(C-V)●●选配CVIV多功能开关，在I-V测量和C-V测量之间简和超快速脉冲式I-V特性。作为性能最高的参数分析仪，便切换4200A-SCS加快了半导体、材料和工艺开发速度。脉冲式I-V超快速脉冲测量单元(PMU)TM4200A-SCS●Clarius基于GUI的软件提供了清楚的、不折不●●两个独立的或同步的高速脉冲I-V源和测量通道扣的测量和分析功能。凭借嵌入式测量专业知识

3、和数百项随时●●200●MSa/s，5●ns采样率可以投入使用的应用测试，Clarius●Software可以更深入地挖掘●●±40●V●(80●V●p-p)，±800●mA研究过程，快速而又满怀信心。●●瞬态波形捕获模式4200A-SCS参数分析仪可以根据不同用户需求进行灵活配●●任意波形发生器Segment●ARB®模式，支持多电平脉冲置，不管是现在还是未来，都可以随时对系统进行升级。通过波形，10●ns可编程分辨率4200A-SCS参数分析仪，通往发现之路现在变得异常简便。高压脉冲发生器单元(PGU)

4、●●两个高速脉冲电压源通道●●±40●V●(80●V●p-p)，±●800●mA●●任意波形发生器Segment●ARB®模式，支持多电平脉冲波形，10●ns可编程分辨率I-V/C-V多开关模块(CVIV)●●在I-V测量和C-V测量之间简便切换，无需重新布线或抬起探针●●把C-V测量移动到任意端子，无需重新布线或抬起探针远程前端放大器/开关模块(RPM)●●在I-V测量、C-V测量和超快速脉冲I-V测量之间自动切换●●把4225-PMU的电流灵敏度扩展到数十皮安●●降低电缆电容效应cn.tek.com1产

5、品技术资料4200A-SCS参数分析仪为材料、半导体器件和工艺开发提供最优秀的参数分析仪使用强大的Clarius软件，可以更加快速的完成I-V,C-V和脉冲I-V测试，结果清晰明了ಞॎፇ౞ᮊᄬ᝺ᝠЊ᝵ಖᝮࣳጸጻ฾តፇ౧ၹਗ਼௄ᭊᎄሮԁԻូடξஈ฾តᮋऀSQ@
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6、ᮠଣߘЯᎶଌڡӭЋ᏿఻ଣߘἻஆզ฾᧚ஔߦ᜽ᮠЯᎶᮃᮠЯᎶࣟҰ᜽ᮠἻଢ20..?+QAQԻ̿߷ੴܦ٨Ι฾តូតૉळᜉښ఻౶ʽἻّԻ̿߷ᜉښࢺͻԼʽࠔጪతܳ7˔˗኎ҪဋੋᰴҪဋQKSԻᤥᄊᤊሮҒ඀ஊܸ٨വڱతܳஃે4˔ԥᤰ᥋ATSവڱNKSവڱ2cn.tek.comcn.tek.com3产品技术资料4200A-SCS仪器和模块型号说明主要测量范围测量分辨率4200-SMU中等功率源测量单元-●DC●I-V±100●mA,●±210●V0.5●mV,●100●fA-●超低频率C-V4210-SMU高功率源测量单元

7、-●准静态C-V±1●A,●±210●V0.5●mV,●100●fA4200-PA远程前端放大器模块扩展所有SMU的电流范围0.5●mV,●0.1●fA1●kHz●-●10●MHz-●AC阻抗±30●V内置DC偏置装置(60●V差分)4210-CVU电容电压单元--●C-V,●C-f,●C-t使用SMU扩展直流偏置电压至±210V4200A-CVIVI-V/C-V多开关模块DC●I-V和C-V自动切换--±40●V●(80●V●p-p),●±800●mA-●脉冲式I-V200●MSa/s同时测量电流和电压®

8、-●SegmentARBR多电平4225-PMU超快速脉冲测量单元2048个唯一段75●nA●●●脉冲20●ns脉宽仅输出时-●瞬态波形捕获60●ns●脉宽输出同时测流时远程前段放大器/开关DC●I-V、C-V、脉冲式I-V4225-RPM扩展4225-PMU单元的电流范围200●pA模块间自动切换-●脉冲式电压源±40●V●(80●V●p-p)4220-PGU高压脉冲发生器单元-®-●Segment●ARB多电