固结磨料抛光LiB3O5晶体的抛光液优化-论文.pdf

《固结磨料抛光LiB3O5晶体的抛光液优化-论文.pdf》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在应用文档-天天文库。

1、第41卷第6期硅酸盐学报Vo1．41，No．62013年6月J017IlNALOFTHECHINESECERAMICSOCIETYJune。2013DOI．10．7521~．issn．0454-5648．2013．06．12固结磨料抛光LiB3O5晶体的抛光液优化李军，-，李标1,2胡章贵，朱永伟，一，左敦稳1,2f1．南京航空航天大学机电学院，南京210016；2．江苏省精密与微细制造技术重点实验室，南京210016：3．中国科学院功能晶体与激光技术重点实验室，中国科学院理化技术研究所，北京100190)摘要：LiB3Os(LBO)非线性光学晶体软、脆的特点增加了超精密加工

2、的难度。采用固结磨料抛光技术对LBO晶体(11O)面进行抛光，研究酸性、中性和碱性抛光液pH值调节剂及pH值对晶体抛光材料去除率、表面形貌和表面粗糙度的影响。结果表明：酸性抛光液对LBO晶体表面的腐蚀作用太大，中性抛光液的腐蚀作用太小，不适合抛光LBO晶体；乙二胺配制pH值为11的无磨料碱性抛光液固结磨料抛光LBO晶体(11O)面，获得高的晶体表面质量，表面粗糙度S为1．94nm，表面损伤小。关键词：三硼酸锂晶体；固结磨料抛光；材料去除率；表面形貌；表面粗糙度中图分类号：TG356．28；TG580．692文献标志码：A文章编号：0454-5648(2013)064)789-

3、08网络出版时间：2013-05-2116：36：22网络出版地址：http：／／www．cnki．net／kcms／detail／11．2310．TQ．20130521．1636．012．htmlOptimizationofFixedAbrasivePolishingSlurryforLiB3OsCrystalL／Jun，LIBiao’。，HUZhanggui3，ZHUYongwei，ZUODunwen，2(1．CollegeofMechanicalandElectricalEngineering，NanjingUniversityofAeronauticsandAstro

4、nautics，Nanjing210016，China；2．JiangsuKeyLaboratoryofPrecisionandMicro-ManufacturingTechnology,Nanjing210016，China；3．KeyLaboratoryofFunctionalCrystalsandLaserTechnology,TechnicalInstituteofPhysicsChemistry,ChineseAcademyofSciences，Beijing100190，China)Abstract：ItisratherdifficulttoprocessLiB3

5、05(LBO)nonlinearopticalcrystalbyultraprecisionmachiningduetoitssoftandbrittleproperties．TheLBOcrystal(110)surfacewaspolishedbyusingafixedabrasivepolishingtechnology．Theefectsofacidic，neutralandalkalineslurrypHregulatorandpHvalueontheremovalrateofcrystalpolishing，surfacetopographyandsurfacer

6、oughnessofthematerialwereinvestigated．TheresultsshowthatthecorrosiveefectoftheacidicslurryontheLBOcrystalsurfaceisdominant，andtheefectoftheneutralslurryOlltheLBOcrystalsurfaceisslight，causingtheinappropriatepolishingofLBOcrysta1．However,theabrasive-freealkalineslurrywithethylenediarnineandp

7、Hvalueof11canbeefectiveforfixedabrasivepolishingofLBOcrystal(110)surface，obtainingahighsurfacequalityoft1lecrystalwiththesurfaceroughnessof1．94nnlandtheratherslightsurfacedamage．Keywords：lithiumtriboratecrystal；fixedabrasivepolishing；materialremovalrate；