晶硅切方机工件新型定位方式及分析.pdf

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1、·机械制造·宁烨，等·晶硅切方机工件新型定位方式及分析晶硅切方机工件新型定位方式及分析宁烨．张敏(河海大学机电工程学院，江苏常州213022)摘要：介绍了一种新型的晶硅单线切方机的定位夹具设计，V形块对于回转体零件的定位效果最好，所以在这套夹具中采用双V形块定位。同时将齿条固定在V形块的一边，利用齿轮齿条的啮合来调整V形块的高度，将工件与固定模板进行比对，使工件轴心始终处在同一高度，提高了定位精度．保证了加工品质。关键词：晶硅；切方：V形块；定位中图分类号：TH162文献标志码：B文章编号：1671．5276(2012)05-0044-03NewOrie

2、ntationofWorkpieceforSquarenessCuttingMachineanditsAnalysisNINGYe，ZHANGMin(HohaiUniversityMechanicalandElectricalInstitute，Changzhou213022，China)Abstract：Thispaperintroducesthedesignofaneworientationclampformangelinesquarenesscuttingmachine，theVblockhasthebesteffectontheorientati

3、onofrotatorpart，SOweusetwoVblocksfororientationinthisclamp．Atthesametime，therackisfastenedontheonesideoftheVblock，jogglingoftherackandgearisusedformodulatingtheheightoftheVblocks．Theworkpieceiscomparedwiththefixedmoldingboard，theaxesoftheworkpiecesarealwayskeptinthesameheight．Con

4、sequentlytheaccurayoftheorientationisimprovedandtheprocessingqualityisensured．Keywords：siliconwafers；cuttingsquareness；Vblock；orientation位方式和加工精度进行分析。0引言1定位夹具的定位原理在当今石油、煤炭等资源短缺的情况下，太阳能作为一种新型，清洁能源越来越受到人们的重视，太阳能光伏晶棒是由晶体生长而形成的圆柱状棒料。是回转体零发电在21世纪将会成为能源供应的主题，在能源消费中件。对于回转体的零件，采用v形块定位效果最

5、好，并且占据重要地位。太阳能光伏发电是利用半导体界面产生v形块定位方便简单，成本也比较低，在机械加工中是一的光生伏特效应将太阳的光能直接转换成电能。光伏发种常用的附件。因此在此定位夹具中选择v形块对工件电的关键元件是一种由半导体材料制成的太阳能电池。进行定位。加工的工件长200～500mm，且沿工件长度径通过研究发现由半导体硅制成的太阳能电池具有光电转向尺寸误差较大，若选用一个长v形块进行定位造成的换效率高，性能稳定，使用寿命长等优点，但缺点是晶硅成误差比较大，同时增加了整个夹具的质量，给工人在操作本较高。并且加工过程中容易产生废品。这就要求人们在时带来

6、不便，因此选用两个短v形块进行定位，可精确确加工过程中提高生产效率，提高加工精度，减少废品。定工件的中心位置。晶棒原料直径尺寸有15．24cm和晶硅毛坯是圆柱状晶棒．而太~1：Iit电池板所使用的是20．32cm两种．为保证不同尺寸工件定位时中心高相同，方形硅片，第一步是将晶硅切成方形，即晶硅切方。它是则v形块的高度需要可调，因此在v形块的一端固定一太阳能电池板加工过程的一道重要工序，晶硅切方品质的个齿条。另一端连接一个导向键槽，在装有齿条的一端运好坏将直接影响后续加工晶片的品质，加工的成本和晶片用齿轮齿条啮合传动来调节v形块上下移动，从而调节的光伏性能

7、。晶硅切方机有单线切方机和多线切方机，单工件的中心高。通过工件与模板的比对，保证工件的中心线切方机一次只能加工一根棒料，多线切方机可以有多根高始终保持在一个固定高度。图1为定位夹具示意图，棒料同时进行加工。多线切方机相对于单线切方机虽然效率较高，但由于棒料的尺寸不一，圆度跳动较大，要想一2定位夹具总体分析次对多根棒料进行精确定位比较困难，所以一旦在加工过程中工件的定位出现问题，导致切出的晶棒不能满足后续在晶硅切割时所用的切削液和切割下来的硅粉腐蚀的生产要求．将造成巨大的浪费和财产损失，而单线切方性都比较强。如果夹具长时间与这些物质接触容易被腐机虽然效率相

8、比多线切方机要低些，但对于每根棒料都能蚀，对定位的精度影响较大，因此将定位夹具与