AZO薄膜理想表面形貌的制备与加工工艺优化.pdf

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1、第!"卷!第!期光!学!仪!器5678!"!/68!#$%&年'月()*+,-.+/0*1234/*09:;='!$##$%&$$!>$$"$>$=-N(薄膜理想表面形貌的制备与加工工艺优化李晓东#上海理工大学光电信息与计算机工程学院!上海!#$$$"!$摘要!非晶硅薄膜太阳能电池主要采用掺氟氧化锡&^*('导电玻璃作为基板!但^*(薄膜雾度较低%表面形貌无法优化!导致无法得到较优的陷光结构!从而限制了太阳能电池的转换效率"为了进一步提升太阳能电池的转换效率!探讨了替代型的掺铝氧化锌&-N('薄

2、膜!通过优化前段磁控溅射镀膜工艺和后段湿化学蚀刻工艺!用以平衡-N(薄膜的光电性能和雾度!从而获得具有理想表面形貌的-N(导电玻璃!使其成为理想的非晶硅薄膜太阳能电池的基板材料"实验表明!经工艺优化后制作的-N(导电玻璃可提升光电转换效率"关键词!-N(薄膜#磁控溅射#湿法刻蚀#表面形貌#非晶硅薄膜太阳能电池中图分类号!*2&!!文献标志码!-!!"#"%$8!"'"$D8BFF;8%$$=>='!$8#$%&8$!8$%=F'(3*'*,#".*.!"3,#0#J(")13&,,('(!8]@)#401&')*+(0"'36"4

3、"<7.+gBA6K6;H#0GJ6676S(ECBGA7>47

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6、EJ6C6<7$L>$?作者简介!李晓东#%"L%%$!男!硕士研究生!主要从事光学薄膜

7、材料的研究&4>@AB7"AhALK!%'!8G6@!第!期李晓东"-N(薄膜理想表面形貌的制备与加工工艺优化/"%!/!成本优势!有望替代单晶硅和多晶硅类电池!然而与%=_以上转化效率的晶硅类电池比!非晶硅薄膜电池的转化效率普遍在%$_左右!所以急需提升其转化效率并早日替代晶硅类电池&透明导电玻璃#CTA;FEAT<;CG6;K:GCBU<6VBK

8、因^*(无法改变膜层的表面形貌!而无法匹配后段电池工艺的优化!导致无法持续提升薄膜电池的性能&而掺铝氧化锌#A7:@B;:@K6E