传感器综述及电感式位移传感器分析[指南]

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1、传感器综述测量两类位移：线位移，物位移传感器分类：电涡流式激光式精密电阻式、电容式、电感式小位移变压器式中位移电位器式大位移电容传感器：把位移的变化换作电容的变化进行制作的。适合高频测量。优点：它具有灵敏度高、能实现非接触量的测量，而但可以在恶劣场合下工作。缺点：输出特性的非线性，对绝缘电阻要求比较高。对连接线缆有很高的要求，它要有屏蔽性能；而且最好选用高频电源用来供电。目前状况：现在做的最好的电容式位移传感器可以测量0.001微米的位移，误差非常小。电感传感器：将测量量换作线圈自感或互感的变化的传感器。线位移，角位移都可

2、测。优点：灵敏度高；输出信号比较大，因此有利于信号的传输缺点：频率响应较低，不宜丁高频动态测量。常用的：1、变气隙型屮电感的变化与传感器中活动衔铁的位移相对应。2、变面积型是用铁芯与衔铁之间重合面积的变化来反映位移。3、螺管型是衔铁插入长度的变化导致电感变化的原理。变压器式传感器：线圈中感应电动势随着位移的变化而变化。优点：灵敏度都很高，有时都不用放人器。缺点：在于质量一般比较大，不应用于高频场合。电涡流式传感器：基于电涡流效应，它的感应参数是阻抗的变化，尽量使阻抗是位移的函数，它还与被测物休的形状跟尺寸有关。量程一般在0

3、到80毫米。电阻式传感器：通过测量变化的电阻值来计算位移的变化。电位器式：适合测量位移大、精度要求不高的场合。应变式：利用电阻应变效应，它具有线性度跟分辨率都比较高，失真小的优点。电感式位移传感器分析一、硬件组成电感测微仪的硬件电路主要包括电感式传感器、止弦波振荡器、放大器、相敏检波器及单片机系统。止弦波振荡器为电感式传感器和相敏检波器提供了频率和幅值稳定的激励电压.正弦波振荡器输出的信号加到测量头中。工件的微小位移经电感式传感器的测头带动两线圈内衔铁移动，使两线圈内的电感量发生相对的变化。当衔铁处于两线圈的屮间位置时，两

4、线圈的电感量相等，电桥平衡。当测头带动衔铁上下移动时，若上线圈的电感量增加，下线圈的电感量则减少；若上线圈的电感量减少，下线圈的电感量则增加。交流阻抗相应地变化，电桥失去平衡从而输出了一个幅值与位移成止比，频率与振荡器频率相同，相位与位移方向相对应的调制信号。此信号经放大，由相敏检波器鉴出极性。得到一个与衔铁位移相对应的直流电压信号。A/D转换器输入到单片机。经过数据处理进行显示。误差分析电感式传感器测位移时，由于线圈中的电流不为零，因而衔铁始终承受电磁吸力，会引起附加误差，而且非线性误差较大；另外，外界的干扰（如电源电压

5、频率的变化，温度的变化）也会使输出产生误差。解决方案分析在实际工作中常采用差动形式，这样既可以提高传感器的灵敏度，乂可以减小测量误差。两个完全相同的单个线圈的电感式传感器共用一个活动衔铁就构成了差动式电感传感器。采用差动式结构除了可以改善线性、提高灵敏度外，对外界影响，如温度的变化、电源频率的变化等也基本上可以相互抵消，衔铁承受的电磁吸力也较小，从而减小了测量误差。零点残余电压也是反映差动变压器式传感器性能的重要指标。理想情况是在零点时，两个次级线圈感应电压大小相等方向相反，差动输出电压为零实际情况是两组次级线圈的不对称铁

6、心的B-II曲线的非线性，以及激励电源存在的高次谐波等因素引起零点处UHO知。其数值约为零点几毫伏，有时甚至可达几十毫伏，并且无论怎样调节衔铁的位置均无法消除。零点残余电压的存在，使传感器的灵皱度降低，分辨率变差和测量误差増大。克服办法主要是提高次级两绕组的对称性（包括结构和匝数等），另外输出端用相敏检测和采用电路补偿方法，可以减小零点残余电压影响。二、基本原理根据磁路的基木知识，线圈的自感可按下式计算L二N'/Rm其中N—线圈的匝数，Rm-磁路总磁阻数，在气隙厚度较小的情况下，可以认为磁场是均匀的，其屮L为线圈自感，N为

7、各段导磁体的磁导率线圈的电感跟气隙厚度、气隙的而积、导磁体的长度等冇关。根据改变空气隙的厚度、空气隙的而积、磁体的长度来实现电感的变化,从而实现测量的作原理，自感式电感传感器可分为气隙型、截面型、螺管型。气隙型传感器优点：灵敏度高，对后续测量电路的放大倍数要求低。缺点：非线性严重，为了限制非线性，示值范围只能较小，由丁•衔铁在运动方向上受铁心的限制，故自由行程小。截而型优点：较好的线性，自由行程较大，制造装配比较方便。缺点：灵敏度较低。螺管型优点：结构简单，自由行程可任意安排、制造方便。缺点：由于空气隙大，磁路的磁阻高，因

8、此灵敏度低，但线性范围大。图为螺管型电感式传感器的结构图。螺管型电感传感器的衔铁随被测对象移动，线圈磁力线路径上的磁阻发生变化，线圈电感量也因此而变化。线圈电感量的大小与衔铁插入线圈的深度有关。设线圈长度为人线圈的平均半径为八线圈的匝数为M衔铁进入线圈的长度"、衔铁的半径为眉、铁心的有效磁导率为“规则线