上虞晶盛单晶炉操作说明书

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1、第一章单晶生长条件1.1设备要求1.1.1运行条件（以下以TDR-85A-ZJS炉为例，其余炉型要求参照说明书）（1）冷却水要求水压：炉子进出水压差要求介于2~3公斤之间，真空泵进出水压差要求1.5公斤以上；炉子进水压力不可超过3.5公斤，炉子上冷却水安全阀设置压力6公斤；水流率：炉子和电源要求供水量不低于250升每分钟，单独电源要求供水量不低于20升每分钟；水温：推荐进水温度18~24oC，最大不超过25oC；水质：弱碱性水，PH值6~9；氯离子含量≤10ppm，碳酸钙含量≤50ppm；以纯净软水

2、为好。连接方式：进出水管与炉子之间采用软连接，防止震动传递到炉子。（2）压缩空气要求气压：≥7公斤；推荐在压缩空气入口处使用压力调节器。流率：≥2.5升每秒；汽缸容积：主真空球阀：2升；辅助真空球阀：0.5升。（3）电力要求相制：3相AC380V(±10%)/50Hz；功率：≥192KVA。配电柜应装有500V、400V的空气开关，和380V/400A的隔离开关。（4）炉子真空要求空炉真空度：≤15mTorr；空炉泄漏率：≤30mTorr/hr；带热场泄漏率：≤50mTorr/hr。（热场已经煅烧完

3、全）1.1.2日常维护（1）坩埚轴驱动部件的维护保养a、经常检查坩埚轴的冷却水是否通畅，避免冷却不充分而损坏坩埚轴；b、每个月对下轴丝杠至少清理一次，每次应先清理干净丝杠和导轨上的油污，加上适当（不可太多）润滑油，然后上下快升降两次。（2）提拉头的维护保养a、每次开炉后，检查钢丝绳是否损坏（包括变硬、缠松、有严重毛刺等），如有损坏，立即更换；b、钢丝绳在保管、使用、维修、安装过程中不能造成任何死弯角，否则在运行过程中会引起抖动。（3）水冷系统的维护保养a、每次加热前检查水流量是否充足，确保所有水路没

4、有堵塞，水温传感器运行正常；b、出现水温或水量报警要查找原因及时处理。（4）翻板阀的维护保养每次装炉前检查阀口密封圈是否完好，翻板阀操作是否轻松、无卡滞，底部挥发物是否打扫干净，如发现问题应及时排除。（5）真空系统的维护保养a、经常检查泵油，上下腔油均应浸过小观察窗一半。如上泵腔油不够，应及时补新油；下泵腔油不够，需关闭球阀，打开左侧阀门，使上泵腔油下到下泵腔，然后关闭阀门。注意右侧阀门保持常开；b、每次大清，先彻底放尽泵腔内的废油（用手慢慢拉动传动皮带，盘出下泵腔内的废油），然后打开上泵腔，清除干

5、净沉淀油污。最后换上新油；c、每次拆炉时，拆开真空管道所有盲板和波纹管，彻底清扫管内的粉尘。第-13-页1.2辅料要求1.2.1籽晶要求（1）籽晶必须严格按要求每炉拆下进行检查,要求无伤痕、无裂纹；（2）籽晶使用炉数必须记录清楚，不清楚的，更换，然后重开记录；（3）吊渣使用废旧籽晶，吊渣后换上可使用的籽晶，吊料和拉晶，必须有细颈，拉晶细颈直径要求3-5mm；吊料细颈直径要求5-7mm；（4）拉晶过程，要经常（频率不低于1次/10分钟）观察液面、晶体等炉内状况，确保坩埚边缘没有结晶，防止籽晶被结晶扭断

6、；（5）在籽晶吃重时，升降籽晶转数，要分多次、小幅度（2转/分）进行；（6）籽晶吃重时，快速升、降晶升，不得断断续续地进行，以免籽晶或细颈处被突然的加速重力或失重折断或损伤；（7）剪断籽晶时要在细颈的最细处剪断，要注意用力适当，且不许用钳子扭断籽晶；否则该籽晶必须停用，交工段送抛光处理；（8）每10炉更换新籽晶；真空差的炉子的籽晶要提前2炉更换。1.2.2石英坩埚要求有下列特征之一者，为不合格，不能使用：（1）磕碰损伤（位于坩埚上沿的微小碰损除外）（2）裂纹（3）严重划痕（4）气泡处于内壁，并且已经

7、开裂（5）直径≥3mm的气泡，数量≥1个（6）直径<3mm的气泡，数量≥5个（7）线度尺寸≥3mm的黑点，数量≥1个（8）线度尺寸<3mm的黑点，数量≥5个（9）线度尺寸<3mm的气泡、黑点，合计数量≥5个注黑点：处于坩埚内壁，液面淹没线以下的有色杂质点；气泡：处于坩埚内壁，液面淹没线以下，夹在坩埚壁内的空洞。1.2.3高纯石墨要求（1）外观检查结构致密均匀，无裂纹，无空洞等外观缺陷。（2）纯度要求必须是高纯石墨，纯度>99.99%；（3）灰份含量灰份含量≤300ppm。对于国产高纯石墨，如经试用合

8、格，可以放宽到灰份含量≤500ppm。1.2.4氩气要求（1）气压：炉子氩气入口压力要求介于3.5~5公斤之间；（2）气体流率：≥275slpm；（3）纯度：≥99.999%；推荐在氩气入口处使用压力调节器。第-13-页1.3安全要求1.3.1单晶车间的安全事项（1）装、拆炉时，操作人员要提高安全意识，严禁酒后作业；（2）已安装磁场的单晶炉，要注意不要带磁卡（银行卡、二代身份证等）靠近。一定不能拿铁器等导磁性工具，否则强大的磁场会造成人身伤害和设备损坏；（3）严禁在车