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时间:2019-06-01
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1、双极晶体管制造工艺流程(以NPN管为例)衬底制造制芯片制造造流管芯制造程封装三重扩散衬底制备磨抛三重扩散磷源N+予扩N-N+主扩N+N-氧化层N+氧化N+磨抛磨片N-N+N-抛光N+衬底制备结束后照片管芯制造:基区制造发射区制造终端保护引线孔制造正面电极制备背面电极制备中测裂片基区制造硼源涂布N-硼预扩N+氧化层硼氧化P-N-硼主扩N+发射区制造:磷源P-磷预扩N-N+N+N+P-磷主扩N-N+终端保护:N+P-台面腐蚀N-N+玻璃粉N+P-玻璃电泳N-N+引线孔制造:基区引线孔发射区引线孔N+P-引线孔光刻N-N+正面电极制备:AlN+P-正面蒸铝N-N+基区区铝
2、电极发射区铝电极N+光刻铝、铝合金P-N-N+背面电极制备:N+P-背面蒸金N-N+黄金N+P-N-N+裂片:裂缝N+P-裂片N-N+管芯制造后照片粘片键合芯塑封片封装电镀切筋测试封装后成品照片
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