TiNi合金室温变形、组织结构及薄膜的制备

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1、中文摘要论文题目：TiNi合金室温变形、组织结构及薄膜的制备学科名称：材料学作者姓名：支金花作者(签名)：导师名称：卢正欣副教授导师(签名)：井晓天教授答辩日期：2005.3摘要本文研究了Ti-50.7at％Ni合金在室温时的超弹性及压缩变形形变诱发马氏体，揭示了室温压缩变形形变诱发马氏体演变过程，对比了磁控溅射和离子束溅射方法制备薄膜的显微组织性能，明确了薄膜的制备及晶化处理工艺，并观察了TiNi薄膜在温度作用下的马氏体组织。得出以下结论：（1）Ti-50.7at%Ni合金在拉伸变形应变量约4%、压缩变形名义变形量为30%

2、时产生超弹性。（2）压缩变形可以产生形变诱发马氏体。随着压缩变形量的增加，板条数量逐渐增多并沿压缩变形的方向趋于一致，马氏体变体发生畸变、粗化、甚至交叉，马氏体板条内也引入了位错。（3）离子束溅射制备的TiNi薄膜表面十分致密，薄膜非晶度很高，主要是非晶态团状组织结构；磁控溅射法制备的TiNi薄膜表面均匀致密有气孔，由于基片自然温升，薄膜有一定程度的晶化，并有析出相产生。（4）在本实验条件下优选出来的制膜方法为磁控溅射法，工艺参数为溅射电流0.6A，真空度0.6Pa，氩气流量25SCCM。溅射制备的TiNi薄膜经6001西安

3、理工大学硕士学位论文℃×1h真空退火可充分晶化，而且薄膜表面光滑致密，气孔基本消失，并有Ti2Ni、TiNi3、Ti3Ni4析出相产生。（5）深冷可以使薄膜发生马氏体转变，相变顺序与合金的形变诱发马氏体相变相同，均为：B2→R→M。关键词：超弹性形变诱发马氏体磁控溅射组织性能马氏体转变2英文摘要TOPIC：TiNiALLOYDEFORMATIONATROOM-TEMPERATURE、STRUCTUREANDTHESPUTTEREDTHINFILMSAuthor：ZhiJinHuaSpecialty：MaterialScien

4、ceSupervisor：Prof.LuZhengXinABSTRACTThepaperdealswiththesuper-elasticityandcompresseddeformation-inducedmartensiteatroomtemperature，indicatesthechangingtrendsofthemartensite，contraststhemicrostructureandpropertiesoftwosputteringfilms(magnetronsputteringandionbeamsp

5、uttering)，confirmsthepreparationmethodandtheannealtechnics，furthermore，observesthemartensiteatlowtemperature.Theresultsshowedthat：(1)Ti-50.7at%Nialloyhassuper-elasticityat4%intensiletestandat30%incompressedtest.(2)Compresscanproducedeformation-inducedmartensite.Wit

6、htheincreaseofvalue，themartensiteincreasetoo，whichdeveloptotheappliedstressdirection，highlydeformed，becomelarger，evenintersect，thereisalsodislocationinthemartensite.(3)Thefilmspreparedbyionbeamsputteringhavecompactarmorphousdumpling3西安理工大学硕士学位论文microstructuresurfac

7、e，thenpreparedbymagnetronsputteringhavecompactsurfacewithporeandsomeprecipitatedphases.(4)TheoptimummethodforpreparingTiNithinfilmsismagnetronsputtering(theparameteris：electricalcurrent0.6A、vacuum0.6Pa、Arflux25SCCM).Afterthenealingof600℃for1hour，thefilmscanbecomple

8、telycrystallized，whichhassmoothcompactsurfacewithlittleporeandhasTi2Ni、TiNi3、Ti3Ni4phasedeposited.(5)Deeplycooledcanmakefilmsproducemartensitetra