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1、扫描电子显微术ScanningElectronMicroscopy电子显微的一个粗略年表1930年末：第一台透射电子显微镜1935年：德国的Knoll提出了扫描电镜的概念(STEM的概念,100mm分辩率)1938年：VonArdenne开始进行实验室研究，SEM--50mm分辨率1942：Zworykin.Hillier,制成了第一台实验室用的扫描电镜-今天扫描电镜的全部基本原理-50nm分辨率-问题:贵,照相（曝光）时间长,电子干扰（噪声）结论:SEM不实用!1948：C.W.Oatley,剑桥大学SEM的历史19
2、38年Ardenne用一个透射电镜(TEM)的光栅电子束第一次推断了SEM1942年,Zworkin等人第一次为块状样品发展了SEM.ß1965年，第一台商品SEM.ßSEM的分辨率被不断地提高从1942年的50nm到今天的0.5nm.ßSEM检测信号用于确定成分信息,如特征X-射线,背散射电子,阴极发光,俄歇电子和样品电流等。第一个扫描电镜装置剑桥大学，1951年第一台商用扫描电镜HighResolutionFieldEmissionSEMSEMimageshaveanatural3DlookAndnowalooki
3、nsidetheSEM….SEM-ScanningElectronMicroscope(ormicroscopy)TEM-TransmissionElectronMicroscopeAEM-AnalyticalElectronMicroscopeSTEM-ScanningTransmissionElectronMicroscopeEPMA-ElectronProbeMicroAnalyzerSPM-ScannedProbeMicroscope(STM,AFM)ToseeaVIRTUALSEM,gotothefollow
4、inglink:http://www.micro.magnet.fsu.edu/primer/java/electronmicroscopy/magnify1/index.htmlSEM的构造气动保险阀扫描线圈SignalsavailablefromSEMSignalsSEM的主要性能：1，分辨率二次电子和俄歇电子的分辨率高，特征X射线调制成显微图像的分辨率最低。电子束进入轻元素样品滴状作用体积电子束进入重元素样品半球状作用体积SEM的分辨率即二次电子相的分辨率电子束进入重元素样品后，立即向横向扩展，因此在分析重元素时
5、，即使电子束的束斑很细小，也不能达到较高的分辨率，此时二次电子和背散射电子之间的分辨率的差距明显变小。影响SEM分辨率的三大因素：电子束的束斑大小，检测信号的类型以及检测部位的原子序数SEM分辨率的测定方法：在已知的放大倍数（一般在10万倍）的条件下，把在图像上测到的最小间距除以放大倍数所得数值就是分辨率。Whentheoreticallyconsideringtheelectronprobediameteralone,thehighertheacceleratingvoltage,thesmalleristheele
6、ctronprobe.However,therearesomeunnegligibledemeritsinincreasingtheacceleratingvoltage.Theyaremainlyasfollows:1)Lackofdetailedstructuresofspecimensurfaces.2)Remarkableedgeeffect.3)Higherpossibilityofcharge-up.4)Higherpossibilityofspecimendamage.InSEM,finersurface
7、structureimagescangenerallybeobtainedwithloweracceleratingvoltages.Athigheracceleratingvoltages,thebeampenetrationanddiffusionareabecomelarger,resultinginunnecessarysignals(e.g.,backscatteredelectrons)beinggeneratedfromwithinthespecimen.Andthesesignalsreducethei
8、magecontrastandveilsfinesurfacestructures.Itisespeciallydesirabletouselowacceleratingvoltageforobservationoflow-concentrationsubstances.加速电压对SEM像的影响AlwaysconsiderInte
